尹志堯：讓中國芯走向世界

2004年，一位60歲的老人從美國硅谷飛抵上海浦東。在出租車上，他打趣地讓司機猜猜他多大。出租車司機打量他后笑道：“您看起來只有38歲！”老人聞言爽朗大笑：“太好了，以后我就是38歲的人！”

這位老人，正是被譽為“中國芯片刻蝕機之父”的尹志堯。此刻，他正把人生刻度重置到了中國芯的起跑線。

從北大學子到硅谷精英

對于國人來說，“刻蝕機”是一個無比陌生的詞匯。但在高科技領域，它是半導體制造中不可或缺的核心設備之一，更是我國制造“中國芯”的基石。

正是在尹志堯及其團隊的努力下，中國才得以自主生產(chǎn)出刻蝕機，并迫使美國取消了對我國刻蝕機出口的禁令。如今，中微公司的刻蝕設備，在實驗室達到0.02納米的精準度，而國外刻蝕機巨頭目前量產(chǎn)能力尚在5納米到3納米階段。

正因如此，很多人說，尹志堯這個名字，注定會載入史冊。

1944年，祖籍安徽的尹志堯出生于北京一個知識分子家庭。由于祖父和父親都曾在國外留學，尹志堯在濃厚的文化氛圍中長大，接受了良好的教育。高中畢業(yè)后，尹志堯考入中國科技大學化學物理系，后在蘭州煉油廠和中科院系統(tǒng)工作。1978年，尹志堯考入北京大學化學系讀碩士。

1980年，36歲的尹志堯在親戚的幫助下赴美留學。4年后，他以優(yōu)異的成績拿到美國加利福尼亞大學洛杉磯分校的物理化學博士學位。畢業(yè)后的尹志堯，進入美國硅谷半導體巨頭英特爾公司，開啟了他傳奇般的科技人生。

工作2年后，他跳槽到華人林杰屏創(chuàng)建的泛林集團（LAM）。在泛林的5年中，尹志堯從研發(fā)部資深工程師做到了資深經(jīng)理，還開發(fā)出了彩虹號等離子體刻蝕機。有了尹志堯這員干將，泛林得以快速發(fā)展，從一個岌岌可危的小公司，蝶變成為市場占有率40%的行業(yè)第一。在硅谷，尹志堯成了香餑餑，各大半導體公司爭相拉攏，欲將其招至麾下。

1991年，尹志堯接受了美國應用材料（AMAT）公司的邀請，擔任總部首席技術官。在他的牽頭下，AMAT公司相繼研發(fā)出多款新型刻蝕機，再次回到了刻蝕機全球龍頭的位置。

在半導體行業(yè)深耕20年，尹志堯一共擁有280多項多國專利，行業(yè)有一半企業(yè)都用過他參與研發(fā)的設備?；谒某删秃蛯MAT的貢獻，尹志堯被任命為公司副總裁。

在國內民眾月收入僅有千元左右的時代，尹志堯就已經(jīng)過上了年薪百萬、財富自由的生活。在硅谷打拼的華人雖然為數(shù)不少，但有如此成就者實屬鳳毛麟角，堪稱硅谷傳奇。

2004年，即將60歲的尹志堯面臨退休。在世人看來，他在異國他鄉(xiāng)辛苦打拼半生，如今優(yōu)渥清閑的退休生活觸手可及，是到了該享受人生的時候了。然而，命運卻在這時給了尹志堯新的選擇。

60歲的“豪賭”

這一年，在一次國際半導體設備展覽會上，尹志堯邂逅了上海經(jīng)委副主任江上舟。正是這次見面，改變了他的人生軌跡。

江上舟是尹志堯在北京四中的校友，畢業(yè)于清華無線電專業(yè)的他，很早就意識到集成電路領域發(fā)展的重要性。當時，我國的芯片來源主要靠進口，而以美國為首的西方國家，動不動就把芯片納入管制范疇。江上舟深知，要打破這個局面，變被動為主動，最好的辦法就是實現(xiàn)自主生產(chǎn)芯片。

當時中芯國際已經(jīng)落戶上海，如果刻蝕機也能實現(xiàn)國產(chǎn)化，那對“中國芯”的制造必將如虎添翼。于是，江上舟向刻蝕機專家尹志堯發(fā)出了邀請，他誠懇地說道：“回來吧，我們一起干，我已經(jīng)是癌癥晚期，哪怕豁出這條命，也要造出中國自己的刻蝕機，這樣就再也不怕外國人卡我們的脖子了?！?/p>

聽到老同學的肺腑之言，尹志堯身為中國人的血液在燃燒。想到自己的父輩，不管面對多少誘惑，都堅定地選擇回國，積極投身國家建設，而自己這20年來一直在為美國人作嫁衣，為美國做貢獻，卻唯獨沒有用自己的學識來回報祖國。

在美國生活多年的尹志堯，心里很清楚，即便美國再發(fā)達，也無法給他帶來歸屬感。只有中國才是他的根，這一點永遠也不會變。現(xiàn)在，是時候回去為國效力了。盡管沒有任何創(chuàng)業(yè)經(jīng)驗，可60歲的尹志堯，毅然帶領15人的團隊飛抵上海，在浦東創(chuàng)辦了中微半導體設備公司。

那時，我國的集成電路剛剛起步，資金、人才、設備方面都存在較大缺口，加上刻蝕機研制生產(chǎn)的復雜程度，不亞于兩彈一星，這就使得尹志堯的創(chuàng)業(yè)之路，無比坎坷艱辛?？蔁o論有任何困難，都阻礙不了他為祖國研制刻蝕機的激情和決心。政府部門投入的資金消耗殆盡后，那就跑回美國拉融資。沒有做微觀設備所需幾十個領域的專業(yè)技術人才，就從各大院校招些相關專業(yè)學生來培養(yǎng)。

2007年，中微公司第一臺CCP刻蝕機交付成功，這可是中國自己制造的大國重器啊！這也標志著我國“中國芯”的進程，取得了巨大突破。

對于刻蝕機，尹志堯有過一個比喻。他說芯片制造，好比在人的頭發(fā)絲的幾千分之一甚至幾萬分之一的尺度上，蓋一個50到60層的大樓。這是需要多部門多設備協(xié)同作戰(zhàn)的。其中最關鍵的幾種設備里，薄膜機負責鋪好材料，光刻機在上面畫好花紋，然后刻蝕機再把多余的地方剪掉，像剪窗花一樣。

隨著科技的發(fā)展，芯片的體積越來越小，精度也越來越高，加工步驟也越來越多，刻蝕機的作用也就越來越大。

芯片飛天，從追趕者到領跑者

隨后數(shù)年，尹志堯帶著他的團隊攻克了一個個難關，刻蝕機從14納米到7納米，再到5納米，締造了一個個中國傳奇。然而，這份亮眼的成績單，卻讓尹志堯的幾個前東家不淡定了。最先跳出來的是AMAT。2007年10月，他們向美國法院提請訴訟，狀告尹志堯和中微公司商業(yè)秘密侵權。理由是，中微公司的核心技術人員，都曾在硅谷的相關公司服務過。

作為美國芯片制造裝備研發(fā)領域的專家，尹志堯深知專利技術的堡壘，又怎會犯這種原則性的錯誤？從研發(fā)的第一天，他就要求團隊成員不光要避開行業(yè)內的幾百個專利技術，還要避開原公司的所有設計方案。這樣做既能避免糾紛，也保護了中微公司的知識產(chǎn)權。

這場官司打了兩年半，美國律師在徹查了中微公司內部600多萬份文件后，證實中微公司的刻蝕機技術全部是自發(fā)研制。鐵證如山，AMAT只得鎩羽而歸。

而在中微公司與AMAT的官司還未了結前，前前東家泛林也向臺灣法院起訴中微公司侵權。當起訴被駁回后，中微公司以侵犯商業(yè)機密為由，向泛林提起了反訴訟。泛林萬萬沒想到，這回旋鏢最終還是扎到了自己身上。法院不僅判決侵權成立，還勒令泛林銷毀與中微公司刻蝕機技術相關的所有文件和照片，此事才算塵埃落定。

然而，一波未平一波又起。中微公司在半導體行業(yè)的崛起，早已驚動了美國商務部和國防部。2015年，美國商務部識時務地撤銷了對中國出口等離子刻蝕機的禁令?？擅绹鴩啦繀s兩次無理由地，將中微公司列入軍事企業(yè)清單。中微公司據(jù)理力爭，并于2024年8月狀告美國國防部。

最終，美國國防部低下了高傲的頭。

2024年12月，他們將中微公司移除出了清單，并撤銷了對我國低端芯片的制裁。至此，在中美這場曠日持久的芯片大戰(zhàn)中，中國大獲全勝。

都說對手是最好的老師，多年來，美國在芯片技術方面的“卡脖子”，極大地推動了我國集成電路產(chǎn)業(yè)自主研制的進程。如今，我國芯片制造的幾大關鍵設備，都已經(jīng)實現(xiàn)國產(chǎn)化。特別是中微公司生產(chǎn)的刻蝕機設備，不僅精度達到全球最高水平，并且全部由國內供應商替代。

這意味著，我國的芯片技術已經(jīng)一飛沖天，從行業(yè)追趕者變成了領跑者。中微公司經(jīng)過短短20年的時間，就成為全球頂尖的半導體設備供應商，被譽為“華人半導體之光”。

從硅谷精英到民族工業(yè)脊梁，尹志堯用20年詮釋了什么是不忘初心。從花甲之年歸國創(chuàng)業(yè)，到帶領中微公司打破國際壟斷，他的故事不僅是中國芯片崛起的縮影，更是一曲永不言敗的科技戰(zhàn)歌。

“芯片戰(zhàn)爭”未有終局，但尹志堯的信念始終如一，哪怕我們起步晚了30年，只要咬牙堅持下去，就一定能做到世界前沿。中國科技的崛起無法阻擋。正如尹志堯凍齡永駐的“38歲”青春，“中國芯”將永遠年輕，永遠熱血沸騰！

（楊樂摘自“大蝸牛閱讀”微信公眾號）