• <tr id="yyy80"></tr>
  • <sup id="yyy80"></sup>
  • <tfoot id="yyy80"><noscript id="yyy80"></noscript></tfoot>
  • 99热精品在线国产_美女午夜性视频免费_国产精品国产高清国产av_av欧美777_自拍偷自拍亚洲精品老妇_亚洲熟女精品中文字幕_www日本黄色视频网_国产精品野战在线观看 ?

    基于鎖定放大技術(shù)的真空度檢測(cè)系統(tǒng)

    2024-10-17 00:00:00譚金博于占東
    現(xiàn)代電子技術(shù) 2024年20期

    摘" 要: 針對(duì)中低真空環(huán)境真空度測(cè)量精度低的問題,在定溫電橋再平衡法的基礎(chǔ)上,提出一種交流定溫鎖定放大真空度檢測(cè)方法。定溫電橋的失調(diào)電壓信號(hào)經(jīng)過前置放大、帶通濾波后進(jìn)入相敏檢測(cè)環(huán)節(jié),利用鎖定放大技術(shù)對(duì)采集到的失調(diào)電壓信號(hào)進(jìn)行處理。該方法能夠提高檢測(cè)系統(tǒng)的信噪比,使失調(diào)電壓的測(cè)量精度獲得提升。電橋的定溫控制在XC866單片機(jī)中實(shí)現(xiàn),采用繼電反饋臨界比例度法完成控制參數(shù)的自整定。最后,搭建了交流定溫鎖定放大真空度測(cè)試實(shí)驗(yàn)平臺(tái),并對(duì)真空檢測(cè)的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和標(biāo)定。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,交流定溫鎖定放大真空檢測(cè)系統(tǒng)在10-1~103 Pa范圍內(nèi),真空度測(cè)量誤差不超過15%,驗(yàn)證了所設(shè)計(jì)方案的有效性和可行性。

    關(guān)鍵詞: 電阻真空計(jì); 真空度檢測(cè); 鎖定放大技術(shù); 交流定溫電橋; XC866單片機(jī); 參數(shù)自整定

    中圖分類號(hào): TN107?34; TP23" " " " " " " " " " "文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼: A" " " " " " " " " " " 文章編號(hào): 1004?373X(2024)20?0033?06

    Vacuum degree detection system based on locking amplification technology

    TAN Jinbo, YU Zhandong

    (College of Control Science and Engineering, Bohai University, Jinzhou 121013, China)

    Abstract: In allusion to the low accuracy of vacuum degree measurement in medium and low vacuum environment, an AC fixed temperature locking amplification vacuum degree measurement method is proposed based on the fixed temperature bridge rebalancing method. The offset voltage signal of the fixed temperature bridge enters the phase sensitive detection after pre?amplification and bandpass filtering, and the collected offset voltage signal is processed by means of the locking amplification technology. This method can improve the signal?to?noise ratio of the detection system and enhance the measurement accuracy of the offset voltage. The constant temperature control of the bridge is implemented in the XC866 microcontroller, and the relay feedback critical proportionality method is used to realize the self?tuning of control parameters. An experimental platform for AC temperature locking amplification vacuum degree testing is constructed, and the obtained vacuum detection data is processed and calibrated. The experimental results show that the AC temperature locking amplification vacuum detection system can realize a vacuum measurement error within 15% in the range from 10-1 Pa to 103 Pa, which verifies the effectiveness and feasibility of the designed scheme.

    Keywords: resistance vacuum gauge; vacuum degree detection; locking amplification technology; AC fixed temperature bridge; XC866 microcontroller; parameter self?tuning

    0" 引" 言

    根據(jù)傳感器的不同,目前常見的真空計(jì)有電阻真空計(jì)、液態(tài)式真空計(jì)、電容真空計(jì)、熱傳導(dǎo)真空計(jì)等[1]。對(duì)于檢測(cè)儀表來說,測(cè)量精度至關(guān)重要,不同的傳感器能夠影響測(cè)量精度,而提取電信號(hào)的測(cè)量電路也是影響測(cè)量精度的一個(gè)重要原因。中低真空狀態(tài)真空度測(cè)量通常應(yīng)用電阻真空計(jì),利用定溫電橋再平衡法,在電橋溫度保持動(dòng)態(tài)平衡的基礎(chǔ)上,根據(jù)電橋失調(diào)電壓調(diào)整電橋供電,再以兩次電橋供電電壓的平方差與被測(cè)環(huán)境壓強(qiáng)呈線性關(guān)系,確定真空度[2]。影響定溫法真空測(cè)量精度的因素有兩個(gè):電橋失調(diào)電壓的測(cè)量、真空規(guī)管定溫控制。

    目前,電阻式真空儀表多采用直流定溫電橋通過差分放大電路測(cè)量失調(diào)電壓,真空規(guī)管的定溫控制采用運(yùn)放電路實(shí)現(xiàn)滯后超前校正。該方案結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉。但是當(dāng)環(huán)境壓強(qiáng)變化較小時(shí),電橋失調(diào)電壓信號(hào)通常是μV級(jí)別,很容易湮沒在器件熱噪聲和零漂噪聲中而無法測(cè)量。電阻真空計(jì)的定溫控制多采用模擬電路,利用運(yùn)放實(shí)現(xiàn),該控制方案缺少參數(shù)自適應(yīng)能力,僅在某一工況下具有較好性能。

    針對(duì)目前電阻真空計(jì)存在的問題,本文在定溫電橋再平衡法的基礎(chǔ)上,提出了一種交流定溫鎖定放大真空度檢測(cè)方法。利用鎖定放大技術(shù)對(duì)采集失調(diào)電壓信號(hào)進(jìn)行處理,交流定溫電橋的失調(diào)電壓信號(hào)經(jīng)過前置放大、帶通濾波、相敏檢測(cè)及低通濾波處理后被精確提取。該方法提高了檢測(cè)系統(tǒng)的信噪比,使失調(diào)電壓的測(cè)量精度獲得提升。電橋的定溫控制在XC866單片機(jī)中實(shí)現(xiàn),采用繼電反饋臨界比例度法完成控制參數(shù)的自整定,使定溫控制具有較強(qiáng)的自適應(yīng)性。

    1" 系統(tǒng)總體方案

    交流定溫電橋鎖定放大真空計(jì)由微控制器單元、交流激勵(lì)及方波參考信號(hào)發(fā)生器單元、交流定溫電橋檢測(cè)單元、鎖定放大單元四個(gè)部分構(gòu)成,總體方案見圖1。

    系統(tǒng)采用Infineon公司XC866芯片作為主控制器,由XC866通過控制D/A轉(zhuǎn)換器得到正弦信號(hào),正弦信號(hào)通過功率放大后,得到可以驅(qū)動(dòng)定溫電橋的交流激勵(lì)。真空規(guī)管作為定溫電橋的橋臂,當(dāng)真空度變化時(shí),熱絲熱傳導(dǎo)量變化將引起熱絲溫度變化[3],進(jìn)而改變熱絲電阻,電橋失衡,輸出失調(diào)電壓信號(hào)。失調(diào)電壓信號(hào)是微弱信號(hào),易湮沒于器件熱噪聲和零漂噪聲中。為完成對(duì)失調(diào)電壓的提取,采用鎖定放大技術(shù)。失調(diào)電壓信號(hào)經(jīng)前置放大、帶通濾波、相敏檢測(cè)、低通濾波環(huán)節(jié)后,經(jīng)XC866的A/D轉(zhuǎn)換返回處理器中。定溫控制在單片機(jī)中由軟件程序完成,控制器參數(shù)通過繼電反饋臨界比例度法獲得。失調(diào)電壓信號(hào)經(jīng)定溫控制器處理后,以交流激勵(lì)電壓調(diào)幅控制方式輸出,實(shí)現(xiàn)真空規(guī)管的定溫控制。搭建測(cè)試平臺(tái),使用經(jīng)過出廠檢定并進(jìn)行零點(diǎn)、滿度修正后的同類電阻真空計(jì)產(chǎn)品作為測(cè)試參照的標(biāo)準(zhǔn)儀器,對(duì)交流定溫鎖定放大真空度檢測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行標(biāo)定,測(cè)試時(shí)將待測(cè)真空計(jì)與參考真空計(jì)接入同一真空系統(tǒng)進(jìn)行對(duì)比。對(duì)所得數(shù)據(jù)進(jìn)行曲線擬合,依據(jù)交流激勵(lì)電壓的幅值與真空度的變化關(guān)系,顯示真空度,完成標(biāo)定。

    2" 系統(tǒng)設(shè)計(jì)

    2.1" 信號(hào)發(fā)生

    惠斯通電橋產(chǎn)生失調(diào)電壓是電阻式真空檢測(cè)的前提。這里采用交流信號(hào)對(duì)電橋激勵(lì)。為避開50 Hz的工頻干擾,選用200 Hz正弦信號(hào)作為激勵(lì)源。激勵(lì)源的信號(hào)由XC866控制D/A轉(zhuǎn)換器DAC128S085實(shí)現(xiàn)。此外,檢測(cè)失調(diào)信號(hào)的鎖定放大單元,需要方波同步信號(hào)作為參考,因此考慮正弦信號(hào)與方波參考信號(hào)一并產(chǎn)生。

    信號(hào)發(fā)生單元電路如圖2所示。由XC866通過SPI串口控制12位D/A轉(zhuǎn)換芯片DAC128S085產(chǎn)生0~5 V之間200 Hz正弦信號(hào)S1。利用DAC128S085的同步輸出特性,可以生成與之同步的方波參考信號(hào)S2。D/A轉(zhuǎn)換器輸出的正弦信號(hào)的頻率fout與XC866的T12定時(shí)器的定時(shí)周期Td和正弦表數(shù)據(jù)量N滿足:

    [fout=1TdN]" " " " " (1)

    當(dāng)Td=0.1 ms,N=50,輸出正弦信號(hào)頻率為200 Hz。

    DAC128S085生成正弦信號(hào)S1及參考信號(hào)S2的具體時(shí)序如圖3所示。SCLK、[SYNC]、DIN分別為同步串行通信的時(shí)鐘信號(hào)、同步信號(hào)、數(shù)據(jù)輸入端。選用DAC128S085的A通道輸出作為S1信號(hào),方波輸出S2選用B通道,利用DAC128S085的同步發(fā)送控制模式(0xA×××)完成A、B通道的同步。由于DA芯片具有輸出保持功能,可在0°和180°相位處,同步更新A、B兩通道數(shù)據(jù);在其他相位處只發(fā)送A通道的輸出數(shù)據(jù)即可。

    DA芯片輸出的正弦信號(hào)S1為單極性信號(hào),該信號(hào)經(jīng)偏移(IC1A、IC1B)處理和功率放大(LM1875)后,轉(zhuǎn)換為幅值在±12.5 V之間的雙極性信號(hào)Vin,該信號(hào)可作為定溫電橋交流激勵(lì)電壓。

    利用鎖定放大技術(shù)對(duì)失調(diào)電壓ΔV進(jìn)行測(cè)量時(shí),需要將參考信號(hào)S2調(diào)整到與失調(diào)電壓同相位[4],故加入RC移相電路。S2經(jīng)過RC濾波后產(chǎn)生相位滯后,再通過LM311比較器,使滯后的波形變?yōu)榉讲⊿3。該過程波形如圖4所示。

    2.2" 交流定溫鎖定放大單元

    交流定溫電橋應(yīng)用惠斯通電橋結(jié)構(gòu),如圖5所示,由200 Hz交流激勵(lì)Vin驅(qū)動(dòng),真空規(guī)管RW為電橋的一個(gè)橋臂,RV為調(diào)零電阻,RC為電橋配比電阻。

    真空規(guī)管選用ZJ?52T,燈絲材料為鎢絲,在常溫((23±3)℃)常壓下的阻值為(86.5±1.7) Ω,規(guī)管內(nèi)的燈絲溫度范圍為40~300 ℃。應(yīng)用惠斯通電橋結(jié)構(gòu)進(jìn)行檢測(cè),各橋臂的電阻值取相同數(shù)值時(shí),電橋的靈敏度最高[5]。根據(jù)電阻規(guī)在工作范圍內(nèi)的變化區(qū)間,選定配比電阻RC的阻值為100 Ω。

    應(yīng)用定溫法測(cè)量真空度,氣壓變化時(shí),氣體導(dǎo)熱量會(huì)發(fā)生改變,處于真空腔內(nèi)的熱絲會(huì)改變自身溫度,進(jìn)而改變阻值,電橋失去平衡并產(chǎn)生失調(diào)電壓ΔV,根據(jù)ΔV的變化,控制交流激勵(lì)的幅值Vin使電橋重新達(dá)到平衡。在平衡態(tài)下,交流激勵(lì)的幅值Vin與真空度P的變化在一定范圍內(nèi)呈線性關(guān)系,可以通過曲線擬合獲得真空度P。

    熱絲的溫度變化對(duì)應(yīng)ΔV變化,ΔV通常比較微弱,易湮沒于噪聲中,通過鎖定放大技術(shù)對(duì)其進(jìn)行檢測(cè),可以提高檢測(cè)的測(cè)量精度。

    鎖定放大單元由前置放大電路、帶通濾波器、相敏檢測(cè)器、低通濾波電路組成[6],其電路如圖5所示。

    鎖定放大單元的前置放大環(huán)節(jié)采用三運(yùn)放儀表放大器(IC2A、IC2B、IC3A)。儀表放大器輸出為:

    [V1=RfR91+2R7R8ΔV]" " " " (2)

    在鎖定放大器的信號(hào)通道需要加入中心頻率為載波頻率的帶通濾波器,這里采用三運(yùn)放狀態(tài)可調(diào)濾波器[7],設(shè)定其中心頻率f=200 Hz,品質(zhì)因數(shù)Q為20,其參數(shù)滿足如下關(guān)系:

    [f=12πR12C1," "Q=1+R102R11]" " " "(3)

    相敏檢測(cè)器是鎖定放大的核心。使用數(shù)字控制模擬開關(guān)CD4053,以電子開關(guān)切換的方式完成待處理信號(hào)的同步檢波,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)了信號(hào)與同步信號(hào)的乘法運(yùn)算[8]。該過程需要失調(diào)電壓ΔV的同相及反相輸出[9],故在電路加入反相放大器(IC5B)。經(jīng)過帶通濾波處理的同相及反相失調(diào)電壓信號(hào)輸入到CD4053的Ax和Ay端,通過移相參考信號(hào)S3對(duì)模擬開關(guān)的控制來實(shí)現(xiàn)待測(cè)信號(hào)與參考方波的乘法運(yùn)算。圖6顯示了相敏檢波的過程。

    相敏檢波后的信號(hào),還需經(jīng)3階RC濾波器去除高次諧波分量,再由運(yùn)放構(gòu)成的信號(hào)調(diào)理電路將雙極性信號(hào)進(jìn)行單極化處理,最終接入XC866的A/D轉(zhuǎn)換接口,完成失調(diào)電壓信號(hào)鎖定放大的信號(hào)采集。

    3" 定溫控制的參數(shù)自整定

    電橋平衡是真空檢測(cè)系統(tǒng)的關(guān)鍵。真空規(guī)管作為電橋的一個(gè)橋臂,規(guī)管內(nèi)氣壓變化會(huì)改變熱絲的導(dǎo)熱量,影響熱絲的溫度,從而改變熱絲電阻。電橋平衡被打破后,輸出失調(diào)電壓信號(hào)。定溫控制器以失調(diào)電壓為偏差信號(hào),調(diào)節(jié)激勵(lì)電壓使電橋恢復(fù)平衡態(tài)。因此,維持電橋平衡的操作量——電橋激勵(lì)電壓,即是真空度的表征量。

    從自動(dòng)控制角度看,電橋失調(diào)電壓表征了定溫閉環(huán)控制偏差;熱絲的熱損耗是閉環(huán)系統(tǒng)的前向通道干擾;幅值可調(diào)的交流激勵(lì)是定溫系統(tǒng)的執(zhí)行單元,激勵(lì)電壓決定熱絲加熱功率。定溫控制系統(tǒng)通過電橋激勵(lì)電壓的調(diào)幅控制動(dòng)態(tài)消除不同真空度下真空腔內(nèi)氣體導(dǎo)熱量的波動(dòng)。由上述分析可知,定溫控制是不確定參數(shù)的電阻加熱對(duì)象的溫度控制,其控制屬性為慣性+滯后對(duì)象的過程控制。此類對(duì)象控制設(shè)計(jì)的基本思想是低增益窄帶寬控制策略。窄帶寬使系統(tǒng)的閉環(huán)響應(yīng)速度慢,但避免了純滯后環(huán)節(jié)在高頻段對(duì)系統(tǒng)穩(wěn)定裕度造成的負(fù)面影響。低增益控制雖然會(huì)造成系統(tǒng)穩(wěn)態(tài)誤差的增加,但只需在串聯(lián)校正中加入積分環(huán)節(jié),并使其作用在開環(huán)傳遞函數(shù)的低頻段,就可以通過提高系統(tǒng)型別的方式[10],使得系統(tǒng)穩(wěn)態(tài)精度提升[11]。因此,采用PI調(diào)節(jié)規(guī)律的控制器結(jié)構(gòu)。

    對(duì)于PI控制器[Gc(s)=KP+KIs],決定其控制性能的關(guān)鍵是比例系數(shù)KP和積分系數(shù)KI的選取。根據(jù)臨界比例度原理,要求幅值裕度≥2,即系統(tǒng)的開環(huán)傳遞函數(shù)Gc(jω)·G0(jω)的幅相特性與復(fù)實(shí)軸的交點(diǎn)在(-0.5,0),如圖7a)所示。由于定溫控制對(duì)象G0(jω)的不確定性,較難用期望開環(huán)頻率特性法直接確定Gc(jω)。問題的關(guān)鍵在于確定圖7a)中G0(jω)與負(fù)實(shí)軸的交點(diǎn)位置。

    由于理想繼電器描述函數(shù)的負(fù)倒特性與負(fù)實(shí)軸重合,在G0(jω)回路中引入繼電反饋,理想繼電特性的負(fù)倒特性-N-1(X)一定與G0(jω)相交,產(chǎn)生自激振蕩,如圖7b)所示。

    通過對(duì)輸出振蕩波形周期TC和振幅X的測(cè)量,由奈奎斯特穩(wěn)定判據(jù),可求出臨界增益KPC:

    [KPC=1G0(jωc)=N(X)=4MπX]" " "(4)

    式中:M為理想繼電器的幅值;X為輸出的振幅。由KPC與TC,根據(jù)Z?N表的PI型調(diào)節(jié)器參數(shù)整定規(guī)律,計(jì)算獲得所需的PI控制器參數(shù):

    [KP=0.45KPC," "KI=KP0.83TC]" " " " "(5)

    系統(tǒng)在整定PI調(diào)節(jié)器參數(shù)時(shí),開關(guān)切換至繼電特性,系統(tǒng)進(jìn)入?yún)?shù)自整定狀態(tài)。自整定完成后,將PI調(diào)節(jié)器參數(shù)自動(dòng)替換為自整定參數(shù)[12]。繼電反饋?zhàn)哉ㄜ浖鞒倘鐖D8所示。

    繼電反饋?zhàn)哉ň唧w流程如下。

    1) 繼電反饋輸出。根據(jù)失調(diào)電壓信號(hào)切換繼電反饋輸出值,當(dāng)失調(diào)電壓信號(hào)小于期望時(shí),輸出最大幅值信號(hào)激勵(lì)交流電橋;當(dāng)失調(diào)電壓信號(hào)大于期望時(shí),輸出最小幅值電橋激勵(lì)信號(hào),系統(tǒng)將產(chǎn)生自激振蕩,表現(xiàn)在失調(diào)電壓信號(hào)上。

    2) 等待自激振蕩穩(wěn)定。根據(jù)頻率特性,當(dāng)?shù)却龝r(shí)間tgt;5TC時(shí),自激振蕩穩(wěn)定輸出。

    3) 自激振蕩輸出測(cè)量。利用單片機(jī)內(nèi)的信號(hào)A/D轉(zhuǎn)換和信號(hào)捕捉功能,測(cè)量失調(diào)電壓信號(hào)的振幅X和振蕩周期TC。

    4) 根據(jù)式(4)計(jì)算臨界增益KPC,根據(jù)式(5)計(jì)算控制器參數(shù)KP和KI,并更新定溫控制參數(shù)。

    4" 實(shí)驗(yàn)結(jié)果

    4.1" 測(cè)試平臺(tái)

    搭建的交流定溫鎖定放大真空計(jì)測(cè)試環(huán)境如圖9所示,其主要由測(cè)試真空計(jì)、參照真空計(jì)、測(cè)試規(guī)管、參照規(guī)管、真空腔、真空泵等組成。

    將測(cè)試真空計(jì)與作為參照的經(jīng)過出產(chǎn)檢定的真空計(jì)標(biāo)準(zhǔn)儀器比較進(jìn)行標(biāo)定,標(biāo)定過程如下。

    1) 在保持真空腔的密封條件下,打開真空泵抽吸真空腔內(nèi)的氣體,當(dāng)真空度達(dá)到10-1 Pa以下,調(diào)節(jié)調(diào)零電阻RV,使電橋在選定的初始電壓下達(dá)到平衡。

    2) 調(diào)節(jié)放氣閥,逐漸放氣,記錄過程中交流激勵(lì)的幅值Vin以及參照真空計(jì)顯示的真空度P。

    3) 反復(fù)記錄,取數(shù)據(jù)的平均值,對(duì)得到的數(shù)據(jù)進(jìn)行曲線擬合,將擬合得到的曲線寫入軟件程序中,完成標(biāo)定。

    4.2" 測(cè)試結(jié)果和參數(shù)標(biāo)定

    經(jīng)過測(cè)試采集數(shù)據(jù),得到不同壓強(qiáng)P下,與使定溫電橋平衡的激勵(lì)電壓幅值Vin的關(guān)系,如圖10a)所示。在Pgt;103 Pa的測(cè)量區(qū)間內(nèi),Vin的變化相對(duì)較??;而在Plt;103 Pa區(qū)間時(shí),Vin的變化較大。因此,這兩段測(cè)量區(qū)間需要通過不同的函數(shù)進(jìn)行分段擬合。

    在主測(cè)量區(qū)間10-1~103 Pa進(jìn)行指數(shù)函數(shù)擬合,得到如圖10b)所示曲線,其擬合表達(dá)式為:

    [P=10Vin+2.0514.585-10.71," P∈(10-1,102)10Vin-5.0631.772+105.2," P∈(102,103)]" "(6)

    在103~105 Pa的測(cè)量區(qū)間,采用線性函數(shù)進(jìn)行擬合,其表達(dá)式為:

    [P=30 000Vin-308 000," " " " P∈(103,104)180 000Vin-1 898 000," P∈(104,105)]" " (7)

    4.3" 結(jié)果分析

    將測(cè)試值與標(biāo)定所用真空計(jì)的數(shù)據(jù)進(jìn)行比對(duì),得到系統(tǒng)誤差范圍如表1所示。

    由表1可知:在10-1~103 Pa主測(cè)量區(qū)間內(nèi),測(cè)量誤差最大為15%;103 Pa以上的測(cè)量區(qū)間內(nèi),測(cè)量誤差最大為25%。根據(jù)GB/T 30434—2013《電阻真空計(jì)通用技術(shù)條件》要求[13],在電阻規(guī)主測(cè)區(qū)0.5~2 500 Pa內(nèi),示值誤差不超過±50%,符合國(guó)標(biāo)要求。

    5" 結(jié)" 論

    針對(duì)中低真空環(huán)境真空度測(cè)量精度的問題,本文提出了一種基于XC866的交流定溫鎖定放大真空度檢測(cè)方案。首先采用XC866作為主控制器芯片,控制DAC128S085產(chǎn)生正弦信號(hào),經(jīng)功放后驅(qū)動(dòng)電橋,產(chǎn)生失調(diào)電壓,并采用鎖定放大技術(shù)完成對(duì)失調(diào)電壓的微弱信號(hào)檢測(cè);然后,定溫控制中,采用繼電反饋臨界比例度法完成控制參數(shù)的自整定,使系統(tǒng)控制器具有較強(qiáng)的適應(yīng)性;最后,完成了定溫控制下的交流激勵(lì)幅值Vin與真空度P的標(biāo)定實(shí)驗(yàn),獲得了擬合曲線和解析表達(dá)式。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:交流定溫鎖定放大真空度檢測(cè)系統(tǒng)在10-1~103 Pa范圍內(nèi),真空度測(cè)量誤差不超過15%,符合國(guó)標(biāo)規(guī)定,滿足實(shí)際真空度測(cè)試要求。測(cè)量誤差均來自于參數(shù)標(biāo)定的不準(zhǔn)確性,未來可針對(duì)標(biāo)定方法進(jìn)行改進(jìn),進(jìn)一步減小測(cè)量誤差。

    注:本文通訊作者為于占東。

    參考文獻(xiàn)

    [1] 李黨娟,王順錄,王娜,等.石英晶振真空度檢測(cè)系統(tǒng)[J].真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào),2018,38(4):290?295.

    [2] 朱武,干蜀毅.真空測(cè)量與控制[M].合肥:合肥工業(yè)大學(xué)出版社,2008.

    [3] 田虎林,余榮,劉文異,等.真空試驗(yàn)設(shè)備真空溫度參數(shù)合檢測(cè)的自動(dòng)化實(shí)現(xiàn)[J].真空,2022,59(1):59?63.

    [4] BIN S M K K, XING D L, KEITA Y, et al. A CMOS double?demodulation lock?in amplifier for stimulated Raman scattering signal detection [J]. Electronics, 2022, 12(1): 4.

    [5] 代國(guó)紅,許藝鏵,吳慶豐,等.基于惠斯通電橋的彎曲應(yīng)變測(cè)量靈敏度研究[J].南昌大學(xué)學(xué)報(bào)(理科版),2022,46(1):66?71.

    [6] 楊耀,任尚坤,李忠基.鎖定放大技術(shù)在ACFM檢測(cè)電路設(shè)計(jì)中的應(yīng)用[J].儀表技術(shù)與傳感器,2011(2):102?105.

    [7] 韓永光,李大宇.基于正交分解的自適應(yīng)實(shí)時(shí)濾波器的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)[J].電子世界,2019(13):114?116.

    [8] 高晉占.微弱信號(hào)檢測(cè)[M].北京:清華大學(xué)出版社,2011.

    [9] 鄒庭浪,孫偉達(dá),謝建軍,等.低場(chǎng)核磁共振信號(hào)檢測(cè)電路設(shè)計(jì)[J].寧波大學(xué)學(xué)報(bào)(理工版),2022,35(6):1?8.

    [10] 姚立平,劉偉章,吳文明,等.一種引入濾波的PID控制算法在溫控系統(tǒng)的應(yīng)用[J].電子技術(shù)應(yīng)用,2022,48(6):79?83.

    [11] 李毅.基于PID控制技術(shù)的工業(yè)自動(dòng)控制研究[J].現(xiàn)代工業(yè)經(jīng)濟(jì)和信息化,2022,12(8):102?104.

    [12] 趙博文,梁西銀,顏昌林,等.基于虛擬儀器的真空計(jì)參數(shù)自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)[J].儀表技術(shù)與傳感器,2020(6):63?67.

    [13] 全國(guó)實(shí)驗(yàn)室儀器和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì).電阻真空計(jì)通用技術(shù)條件:GB/T 30434—2013[S].北京:中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社,2013.

    作者簡(jiǎn)介:譚金博(1999—),男,黑龍江齊齊哈爾人,碩士研究生,研究方向?yàn)槲⑷跣盘?hào)檢測(cè)。

    于占東(1976—),男,黑龍江雙鴨山人,博士研究生,教授,研究方向?yàn)殡娏﹄娮蛹夹g(shù)、復(fù)雜系統(tǒng)控制、魯棒控制等。

    收稿日期:2024?01?10" " " " " "修回日期:2024?02?28

    基金項(xiàng)目:國(guó)家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目(61673071);2023 年遼寧省教育廳高等學(xué)?;究蒲忻嫔享?xiàng)目(JYTMS20231630)

    DOI:10.16652/j.issn.1004?373x.2024.20.006

    引用格式:譚金博,于占東.基于鎖定放大技術(shù)的真空度檢測(cè)系統(tǒng)[J].現(xiàn)代電子技術(shù),2024,47(20):33?38.

    人人妻人人澡人人看| 亚洲人成网站在线观看播放| 欧美成人精品欧美一级黄| 亚洲国产成人一精品久久久| 日韩视频在线欧美| 国产xxxxx性猛交| 一区二区日韩欧美中文字幕| 日韩一本色道免费dvd| 久久久精品国产亚洲av高清涩受| 一级片'在线观看视频| av电影中文网址| 日韩 亚洲 欧美在线| 巨乳人妻的诱惑在线观看| 精品国产一区二区三区久久久樱花| 又大又黄又爽视频免费| 在线观看免费高清a一片| 亚洲av综合色区一区| 在线观看一区二区三区激情| 亚洲男人天堂网一区| 视频在线观看一区二区三区| 精品第一国产精品| 亚洲成人一二三区av| 日韩在线高清观看一区二区三区| 中文欧美无线码| 久久ye,这里只有精品| 下体分泌物呈黄色| 另类亚洲欧美激情| 2022亚洲国产成人精品| 精品第一国产精品| 另类精品久久| 国产探花极品一区二区| 国产黄频视频在线观看| 久久精品久久精品一区二区三区| 久久久久久人妻| 成年人免费黄色播放视频| 一级片免费观看大全| 电影成人av| 久久99精品国语久久久| 成人18禁高潮啪啪吃奶动态图| 最近2019中文字幕mv第一页| 午夜免费观看性视频| 满18在线观看网站| 激情五月婷婷亚洲| 国产无遮挡羞羞视频在线观看| 欧美激情 高清一区二区三区| 亚洲激情五月婷婷啪啪| 一级毛片电影观看| 国产 精品1| 纯流量卡能插随身wifi吗| 亚洲精品久久成人aⅴ小说| 欧美激情高清一区二区三区 | 欧美激情高清一区二区三区 | 五月开心婷婷网| tube8黄色片| 曰老女人黄片| 亚洲精品国产av蜜桃| 国产av一区二区精品久久| 欧美日韩一区二区视频在线观看视频在线| 日韩中文字幕视频在线看片| 日韩免费高清中文字幕av| 亚洲伊人色综图| 波野结衣二区三区在线| 亚洲伊人久久精品综合| 在现免费观看毛片| 国产免费又黄又爽又色| 日本免费在线观看一区| 欧美中文综合在线视频| 一级黄片播放器| 18+在线观看网站| 免费女性裸体啪啪无遮挡网站| 国产成人精品久久二区二区91 | 精品一区二区三区四区五区乱码 | 欧美人与性动交α欧美精品济南到 | 日本猛色少妇xxxxx猛交久久| 美女国产高潮福利片在线看| 亚洲国产精品999| 黄片无遮挡物在线观看| 亚洲成人手机| 国产色婷婷99| 中文天堂在线官网| 自拍欧美九色日韩亚洲蝌蚪91| 久久综合国产亚洲精品| 精品国产一区二区久久| xxxhd国产人妻xxx| 国产精品免费视频内射| 老熟女久久久| 精品99又大又爽又粗少妇毛片| 少妇精品久久久久久久| 99re6热这里在线精品视频| 欧美xxⅹ黑人| 日日撸夜夜添| av天堂久久9| 国产精品熟女久久久久浪| 亚洲伊人色综图| 成人午夜精彩视频在线观看| 午夜福利在线免费观看网站| av免费观看日本| 亚洲成国产人片在线观看| 久久影院123| 精品久久久精品久久久| 妹子高潮喷水视频| 欧美精品高潮呻吟av久久| 黄色配什么色好看| 日本免费在线观看一区| 99热国产这里只有精品6| 黄色怎么调成土黄色| 国产老妇伦熟女老妇高清| 最近的中文字幕免费完整| 日韩中文字幕欧美一区二区 | 丝袜美足系列| 男人添女人高潮全过程视频| 久久99精品国语久久久| 性色avwww在线观看| 欧美97在线视频| 久久免费观看电影| 久久青草综合色| 999久久久国产精品视频| 欧美最新免费一区二区三区| 亚洲内射少妇av| 欧美成人午夜精品| 波野结衣二区三区在线| 久久久精品94久久精品| 国产精品久久久久久精品古装| 欧美日本中文国产一区发布| 99热网站在线观看| 国产精品国产三级国产专区5o| 亚洲在久久综合| 99热国产这里只有精品6| 一本久久精品| 国产精品不卡视频一区二区| 成人黄色视频免费在线看| 久久午夜综合久久蜜桃| 欧美日韩亚洲高清精品| 叶爱在线成人免费视频播放| 男女国产视频网站| 国产精品蜜桃在线观看| 香蕉丝袜av| www.精华液| 国产精品一二三区在线看| 伦理电影大哥的女人| 成人国产av品久久久| 自线自在国产av| 色网站视频免费| 中文精品一卡2卡3卡4更新| 2021少妇久久久久久久久久久| 少妇的逼水好多| 午夜av观看不卡| 一区二区三区四区激情视频| av在线老鸭窝| 国产 一区精品| 9191精品国产免费久久| 成年女人在线观看亚洲视频| 日韩不卡一区二区三区视频在线| a 毛片基地| 免费看不卡的av| 如日韩欧美国产精品一区二区三区| 啦啦啦在线免费观看视频4| 精品人妻一区二区三区麻豆| 黄片无遮挡物在线观看| 女性被躁到高潮视频| 欧美激情 高清一区二区三区| 亚洲欧洲国产日韩| 少妇 在线观看| 日本黄色日本黄色录像| 精品午夜福利在线看| 亚洲精品成人av观看孕妇| 黄色一级大片看看| 熟女少妇亚洲综合色aaa.| 国产乱来视频区| 亚洲精华国产精华液的使用体验| 丝袜美腿诱惑在线| 国产人伦9x9x在线观看 | 国产女主播在线喷水免费视频网站| 欧美少妇被猛烈插入视频| 国产精品久久久久久久久免| 亚洲av日韩在线播放| 久久热在线av| 国产又爽黄色视频| 欧美日韩一级在线毛片| 最近2019中文字幕mv第一页| 热99久久久久精品小说推荐| 免费不卡的大黄色大毛片视频在线观看| 日产精品乱码卡一卡2卡三| 天堂8中文在线网| 飞空精品影院首页| 母亲3免费完整高清在线观看 | 另类亚洲欧美激情| 爱豆传媒免费全集在线观看| 如何舔出高潮| 男女免费视频国产| av卡一久久| 久久国产精品男人的天堂亚洲| 只有这里有精品99| 丝袜美足系列| 一级爰片在线观看| av在线观看视频网站免费| 91精品伊人久久大香线蕉| 在线观看一区二区三区激情| 日本av免费视频播放| 高清欧美精品videossex| 亚洲,欧美精品.| 美女国产视频在线观看| 婷婷成人精品国产| 美女大奶头黄色视频| 国精品久久久久久国模美| 男女无遮挡免费网站观看| 亚洲熟女精品中文字幕| 午夜福利影视在线免费观看| 蜜桃在线观看..| 91午夜精品亚洲一区二区三区| 高清不卡的av网站| av线在线观看网站| 国产男女超爽视频在线观看| tube8黄色片| 久久精品国产亚洲av天美| 美女中出高潮动态图| 巨乳人妻的诱惑在线观看| 久久久久久久久久久免费av| 婷婷色麻豆天堂久久| 久久久久国产一级毛片高清牌| 亚洲国产最新在线播放| 老熟女久久久| 久久国产精品大桥未久av| 亚洲av男天堂| 日韩欧美精品免费久久| 新久久久久国产一级毛片| 中文字幕另类日韩欧美亚洲嫩草| 国产成人91sexporn| 美国免费a级毛片| 老女人水多毛片| 最近最新中文字幕大全免费视频 | 黑人巨大精品欧美一区二区蜜桃| 精品国产露脸久久av麻豆| 中国三级夫妇交换| 欧美 亚洲 国产 日韩一| 国产成人一区二区在线| 欧美国产精品一级二级三级| 一个人免费看片子| 日韩伦理黄色片| 亚洲欧美清纯卡通| 成年动漫av网址| 69精品国产乱码久久久| 中文乱码字字幕精品一区二区三区| tube8黄色片| 街头女战士在线观看网站| 欧美国产精品va在线观看不卡| 国产伦理片在线播放av一区| 多毛熟女@视频| 极品少妇高潮喷水抽搐| 国产欧美日韩综合在线一区二区| 久久精品夜色国产| 亚洲第一区二区三区不卡| 日日爽夜夜爽网站| 99re6热这里在线精品视频| 熟女少妇亚洲综合色aaa.| 国产深夜福利视频在线观看| 观看av在线不卡| 国产 精品1| 国产精品av久久久久免费| 久久99热这里只频精品6学生| 一区福利在线观看| 日韩三级伦理在线观看| videos熟女内射| 国产熟女午夜一区二区三区| 麻豆精品久久久久久蜜桃| 高清黄色对白视频在线免费看| 9色porny在线观看| 亚洲精华国产精华液的使用体验| 国产精品三级大全| 日本欧美视频一区| 一本—道久久a久久精品蜜桃钙片| 国产亚洲一区二区精品| 91午夜精品亚洲一区二区三区| 日韩免费高清中文字幕av| 黄色配什么色好看| 久久99热这里只频精品6学生| 考比视频在线观看| 欧美日韩亚洲国产一区二区在线观看 | 亚洲av.av天堂| 婷婷色av中文字幕| 免费人妻精品一区二区三区视频| 亚洲欧美一区二区三区国产| 亚洲第一区二区三区不卡| 男男h啪啪无遮挡| 欧美+日韩+精品| 熟女少妇亚洲综合色aaa.| 国产日韩欧美亚洲二区| 少妇人妻 视频| 国产亚洲一区二区精品| 国产黄色免费在线视频| 亚洲欧美精品综合一区二区三区 | 亚洲成人手机| 女性生殖器流出的白浆| 日日爽夜夜爽网站| 九草在线视频观看| 校园人妻丝袜中文字幕| 在线精品无人区一区二区三| 在线观看美女被高潮喷水网站| 成年女人在线观看亚洲视频| 一边亲一边摸免费视频| 国产日韩欧美在线精品| 一本色道久久久久久精品综合| 九九爱精品视频在线观看| 亚洲精品,欧美精品| 日韩 亚洲 欧美在线| 亚洲欧美一区二区三区黑人 | 男女边摸边吃奶| 99久久精品国产国产毛片| 美女高潮到喷水免费观看| 9色porny在线观看| 深夜精品福利| 美女xxoo啪啪120秒动态图| 在线观看免费视频网站a站| 日韩三级伦理在线观看| 新久久久久国产一级毛片| 又大又黄又爽视频免费| 男人舔女人的私密视频| 最新中文字幕久久久久| 亚洲国产成人一精品久久久| 免费在线观看黄色视频的| 亚洲精品在线美女| 91aial.com中文字幕在线观看| 少妇 在线观看| 成人毛片a级毛片在线播放| 一本久久精品| 日本-黄色视频高清免费观看| 好男人视频免费观看在线| www.av在线官网国产| 人人澡人人妻人| 国产不卡av网站在线观看| 久久久国产一区二区| 欧美精品高潮呻吟av久久| 一级毛片 在线播放| www.自偷自拍.com| 久久这里只有精品19| 97精品久久久久久久久久精品| 中文天堂在线官网| 国产精品免费视频内射| 制服丝袜香蕉在线| 日韩精品免费视频一区二区三区| 国产麻豆69| 熟妇人妻不卡中文字幕| 国产精品秋霞免费鲁丝片| 女的被弄到高潮叫床怎么办| 日韩中字成人| 日韩制服丝袜自拍偷拍| 日韩制服骚丝袜av| av在线app专区| 国产一区二区在线观看av| 成年av动漫网址| av福利片在线| 亚洲图色成人| 亚洲国产av新网站| av在线app专区| 亚洲综合色惰| 亚洲美女搞黄在线观看| 国产极品粉嫩免费观看在线| www.自偷自拍.com| 七月丁香在线播放| 一个人免费看片子| 久久久国产一区二区| 欧美97在线视频| 亚洲国产欧美在线一区| 一区福利在线观看| 中文字幕最新亚洲高清| 亚洲第一青青草原| 久久青草综合色| 亚洲国产日韩一区二区| av卡一久久| 国产精品一区二区在线观看99| 啦啦啦视频在线资源免费观看| 九草在线视频观看| 国产免费一区二区三区四区乱码| 最近中文字幕2019免费版| 亚洲国产欧美网| 老司机影院毛片| 亚洲国产欧美网| 亚洲成人av在线免费| 一级毛片我不卡| 精品国产乱码久久久久久男人| 婷婷色综合www| 午夜福利在线观看免费完整高清在| 高清欧美精品videossex| 天堂中文最新版在线下载| 99久久精品国产国产毛片| 欧美xxⅹ黑人| 日韩 亚洲 欧美在线| 亚洲精品视频女| 日韩 亚洲 欧美在线| 久久免费观看电影| 久久久久久免费高清国产稀缺| 国产精品一国产av| www.自偷自拍.com| 爱豆传媒免费全集在线观看| 秋霞伦理黄片| 在线观看国产h片| 亚洲,欧美精品.| 我的亚洲天堂| 亚洲中文av在线| 亚洲成人手机| 亚洲欧美精品自产自拍| 国产精品免费视频内射| 两性夫妻黄色片| 女人被躁到高潮嗷嗷叫费观| 久久精品久久久久久噜噜老黄| 熟妇人妻不卡中文字幕| 亚洲美女视频黄频| 亚洲国产欧美日韩在线播放| 最新的欧美精品一区二区| 久久久精品区二区三区| 亚洲精品久久久久久婷婷小说| 一本久久精品| 狠狠婷婷综合久久久久久88av| 欧美人与性动交α欧美软件| 边亲边吃奶的免费视频| 一级黄片播放器| 日本av免费视频播放| 在线亚洲精品国产二区图片欧美| 国产成人免费观看mmmm| 欧美在线黄色| 国产人伦9x9x在线观看 | 人妻人人澡人人爽人人| 纵有疾风起免费观看全集完整版| 在线免费观看不下载黄p国产| 2022亚洲国产成人精品| 纯流量卡能插随身wifi吗| 日韩一卡2卡3卡4卡2021年| 涩涩av久久男人的天堂| av网站在线播放免费| 少妇被粗大的猛进出69影院| 校园人妻丝袜中文字幕| 色网站视频免费| 国产精品嫩草影院av在线观看| 成人毛片a级毛片在线播放| 麻豆乱淫一区二区| 国产欧美日韩综合在线一区二区| 丝袜喷水一区| 欧美另类一区| 91精品三级在线观看| av卡一久久| 欧美xxⅹ黑人| 欧美成人午夜精品| 成人国产麻豆网| 亚洲国产毛片av蜜桃av| 国产人伦9x9x在线观看 | 亚洲av免费高清在线观看| av网站免费在线观看视频| 国产成人aa在线观看| 亚洲美女黄色视频免费看| 18禁观看日本| 免费不卡的大黄色大毛片视频在线观看| 日韩电影二区| 青青草视频在线视频观看| 国产白丝娇喘喷水9色精品| 亚洲综合精品二区| 交换朋友夫妻互换小说| 成人二区视频| av免费在线看不卡| 两个人免费观看高清视频| 黑人欧美特级aaaaaa片| 夫妻性生交免费视频一级片| 9热在线视频观看99| 亚洲精品,欧美精品| 久久久久久人妻| 国产一区亚洲一区在线观看| 久久毛片免费看一区二区三区| 国产综合精华液| 亚洲成色77777| 日本欧美国产在线视频| 超色免费av| 18禁观看日本| 欧美日韩亚洲国产一区二区在线观看 | 国产人伦9x9x在线观看 | 好男人视频免费观看在线| 在线看a的网站| 99热全是精品| 最黄视频免费看| 久久久久久久亚洲中文字幕| 伦理电影免费视频| videosex国产| 在线 av 中文字幕| 91aial.com中文字幕在线观看| 老熟女久久久| 欧美另类一区| 日韩熟女老妇一区二区性免费视频| 不卡av一区二区三区| freevideosex欧美| 老熟女久久久| 成人国产av品久久久| 狂野欧美激情性bbbbbb| 波多野结衣一区麻豆| 国产亚洲av片在线观看秒播厂| www.精华液| 亚洲精品美女久久av网站| 最近手机中文字幕大全| 亚洲人成电影观看| 亚洲少妇的诱惑av| 久久ye,这里只有精品| 成人免费观看视频高清| 9热在线视频观看99| 哪个播放器可以免费观看大片| 新久久久久国产一级毛片| 精品一区在线观看国产| 成人亚洲精品一区在线观看| 欧美人与性动交α欧美软件| 国产精品成人在线| av在线app专区| 亚洲精品国产色婷婷电影| 五月开心婷婷网| 99久国产av精品国产电影| 亚洲av国产av综合av卡| 亚洲国产精品国产精品| 午夜激情久久久久久久| 美女午夜性视频免费| 有码 亚洲区| h视频一区二区三区| 黄色怎么调成土黄色| 免费女性裸体啪啪无遮挡网站| 精品少妇一区二区三区视频日本电影 | 国产一区二区三区综合在线观看| 久久久久视频综合| 日韩成人av中文字幕在线观看| 久久精品aⅴ一区二区三区四区 | 久久久久久久久久久久大奶| 国产在视频线精品| 大香蕉久久网| xxxhd国产人妻xxx| 看免费成人av毛片| 一二三四中文在线观看免费高清| 90打野战视频偷拍视频| 啦啦啦视频在线资源免费观看| 午夜福利,免费看| 欧美少妇被猛烈插入视频| 午夜福利乱码中文字幕| 丰满乱子伦码专区| 亚洲第一青青草原| 国产一区二区 视频在线| 人妻一区二区av| 青青草视频在线视频观看| 亚洲在久久综合| 亚洲精品av麻豆狂野| 亚洲经典国产精华液单| 好男人视频免费观看在线| 国产熟女欧美一区二区| 亚洲四区av| 人成视频在线观看免费观看| 水蜜桃什么品种好| 日产精品乱码卡一卡2卡三| 免费看av在线观看网站| 欧美日韩视频精品一区| 久久久久久人人人人人| 搡女人真爽免费视频火全软件| 乱人伦中国视频| 亚洲精品乱久久久久久| 美女中出高潮动态图| 国产精品欧美亚洲77777| 欧美变态另类bdsm刘玥| 亚洲欧洲日产国产| 欧美激情 高清一区二区三区| 日本爱情动作片www.在线观看| 欧美激情极品国产一区二区三区| 啦啦啦视频在线资源免费观看| 国产在线一区二区三区精| 国产一区二区激情短视频 | 欧美精品国产亚洲| 80岁老熟妇乱子伦牲交| 搡老乐熟女国产| 亚洲视频免费观看视频| 亚洲内射少妇av| 国产又色又爽无遮挡免| xxxhd国产人妻xxx| 久久久久久久久久久免费av| 一级毛片我不卡| 天天操日日干夜夜撸| 一级黄片播放器| 青草久久国产| 国产精品久久久久久精品电影小说| 在线天堂最新版资源| av女优亚洲男人天堂| 纵有疾风起免费观看全集完整版| 一区二区三区乱码不卡18| 亚洲经典国产精华液单| 不卡av一区二区三区| 麻豆av在线久日| 婷婷成人精品国产| 国产精品秋霞免费鲁丝片| 欧美老熟妇乱子伦牲交| 免费日韩欧美在线观看| 看非洲黑人一级黄片| 热99久久久久精品小说推荐| 高清欧美精品videossex| 看非洲黑人一级黄片| 国产成人午夜福利电影在线观看| 我要看黄色一级片免费的| 久久精品国产自在天天线| 蜜桃在线观看..| 国产精品熟女久久久久浪| 亚洲欧洲国产日韩| 午夜福利,免费看| 亚洲国产精品成人久久小说| 久久这里只有精品19| 伦精品一区二区三区| 下体分泌物呈黄色| 国产成人免费观看mmmm| 日韩,欧美,国产一区二区三区| 国产精品免费视频内射| 各种免费的搞黄视频| 国产精品.久久久| 韩国高清视频一区二区三区| 一边亲一边摸免费视频| 欧美日韩综合久久久久久| 欧美 日韩 精品 国产| 欧美少妇被猛烈插入视频| 黄频高清免费视频| 精品99又大又爽又粗少妇毛片|