電子特種氣體何時才能不被卡脖子？

顏媛媛

中國工業(yè)氣體市場巨無霸誕生

中國工業(yè)氣體市場兩大巨頭攜手

位居中國工業(yè)氣體市場第一和第五的兩大公司，將強強聯(lián)合，進而開啟中國工業(yè)氣體市場新的競爭格局。

前不久，位居國內第五的工業(yè)氣體公司杭氧股份公告，其間接控股股東杭州資本近日和其他投資人及盈德香港、氣體動力，簽署《股權出售與購買（主）協(xié)議》，約定杭州資本擬與其他投資人共同投資設立買方SPV，收購盈德香港持有的目標公司100% 股權。交易完成后，杭州資本持有買方SPV30% 股權，是買方SPV 第一大股東（非控股股東），將在3 年內推動杭氧股份與買方SPV簽署資產重組協(xié)議。

公開資料顯示，氣體動力是中國最大的工業(yè)氣體公司，于2017 年被太盟投資集團（PAG）收購，并私有化退市。而杭氧股份的主營業(yè)務為工業(yè)氣體和空分設備制造，是國內工業(yè)氣體業(yè)務方面僅次于氣體動力的工業(yè)氣體公司。

對于這次合并，外界認為會是一次里程碑事件。從全球工業(yè)氣體行業(yè)發(fā)展歷史來看，20 世紀90 年代，全球市場呈現(xiàn)八大跨國氣體公司以及多個區(qū)域性氣體公司并存的格局，市場集中度較低，之后林德氣體開展了對瑞典AGA、英國BOC 的收購，并與美國普萊克斯合并，成為全球最大的工業(yè)氣體公司；法國液化空氣也進行了對美國Airgas 的收購。由此，全球工業(yè)氣體市場集中度明顯提升，2021 年CR2達到41%，由無序競爭逐漸向寡頭壟斷發(fā)展。

而參考海外經驗，國內工業(yè)氣體市場也有望在并購整合中迎來市場集中度的提升，競爭格局將得到改善。

爭奪工業(yè)氣體市場話語權

兩家企業(yè)牽手后，我國工業(yè)氣體“巨無霸”也漸漸浮出水面，進而有了與國際巨頭一較高低的基礎。

工業(yè)氣體是現(xiàn)代工業(yè)重要的基礎原料，被廣泛應用于鋼鐵、冶金、石油、化工、電子、醫(yī)療等國民經濟的重要行業(yè)，但我國工業(yè)氣體起步晚，市場主要被外資企業(yè)占據(jù)，根據(jù)億渡數(shù)據(jù)顯示，林德、液化空氣兩家國外頭部企業(yè)合起來拿走了我國近五成的工業(yè)氣體市場份額，而空氣化工、氣體動力、杭氧股份三大企業(yè)經過多年發(fā)展，也努力拿下了近三成的市場份額。

工業(yè)氣體按制備方式可以進一步劃分為大宗氣體、特種氣體。大宗氣體方面，一般采用管道運輸，對資金、設備需求較高。國內企業(yè)氣體動力、杭氧股份具有一定的規(guī)模性，但大部分市場仍被國外企業(yè)占據(jù)。特種氣體方面，根據(jù)億渡數(shù)據(jù)顯示，美國空氣化工、普萊克斯、法液空、太陽日酸、林德共占據(jù)國內特氣 85% 市場份額，而我國國內企業(yè)實力逐漸增強，但產品品種相對單一，氣體純度相較于國外企業(yè)仍有一定差距，尤其是在電子特氣領域。

電子制造的“血液”

現(xiàn)代工業(yè)之基石，晶圓制造之“血液”——從電子特氣的別稱可以看出其在現(xiàn)代半導體制造中的地位。

具體到集成電路領域，電子特氣應用的種類超過110 種，用于光刻、刻蝕、清洗等工藝環(huán)節(jié)，本身是半導體行業(yè)必需的支撐性材料。半導體行業(yè)對于氣源及其供應系統(tǒng)有著嚴苛的要求，電子氣體的深度提純難度大，而純度是氣體質量最重要的指標。在芯片加工過程中，微小的氣體純凈度差異將導致整個產品性能的降低甚至報廢。電子氣體純度往往要求5N 以上級別，還要將金屬元素凈化到9-10 級至10-12 級。而氣體純度每提高一個層次對純化技術就提出了更高的要求，技術難度也將顯著上升。高純、超純氣體的生產制備首先要對上游原料工業(yè)氣進行成分分析，其次根據(jù)雜質成分的復雜程度來設計生產工藝和設備，最后分析設備需采用在線自動監(jiān)控，分析精度要求很高。

此外，氣體行業(yè)的下游絕大部分客戶是專業(yè)生產廠家，并非終端消費產品，因此難以通過廣告等常規(guī)營銷手段在短期內建立市場品牌，供應商的服務一旦得到認可，客戶考慮質量、服務等因素通常不會變更供應商，客戶黏性較強。

這樣的大背景讓整個全球電子氣體行業(yè)呈寡頭壟斷格局，電子氣體前十大企業(yè)共占據(jù)全球電子氣體 90% 以上市場份額。而國內半導體用電子特氣市場超過八成的市場份額被外資企業(yè)壟斷，特別是高端電子特氣國內自給率非常低，嚴重制約了我國半導體產業(yè)的健康穩(wěn)定發(fā)展。國際貿易摩擦、地緣政治沖突以及全球性疫情等因素更是加劇了我國半導體供應鏈的不穩(wěn)定性，實現(xiàn)半導體領域的電子特氣自給自足的重要性愈發(fā)凸顯。

國內特種氣體發(fā)展的初期由于技術、工藝、設備等多方面差距明顯，產品大多依賴進口。但我國特種氣體行業(yè)經過多年的發(fā)展和沉淀，目前集成電路生產用的特種氣體，我國能生產約 20%的品種，而品類齊全是海外寡頭的競爭優(yōu)勢，也是國內電子特氣企業(yè)未來發(fā)展路徑。隨著國產氣體企業(yè)品類擴充加速，未來三年，集成電路國產化的常用氣體，有望進一步實現(xiàn)多元產品覆蓋。

電子特氣在半導體行業(yè)應用極廣