微電子工廠涉及的呼吸防護(hù)用品的標(biāo)準(zhǔn)

朱震宇　楊一　王振　何基康

摘 要：從事芯片生產(chǎn)的微電子工廠，常使用多種危險(xiǎn)化學(xué)品，并有使用以上危險(xiǎn)物質(zhì)的工藝操作，涉及到呼吸防護(hù)用品的合適選擇和正確使用。另外，存在對(duì)呼吸防護(hù)用品的配置和管理的相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)和法律法規(guī)制度。在微電子工廠安全管理中必須合法、正確、有效地選型和使用呼吸防護(hù)用品。本文從4個(gè)方面歸納相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)中重要條款，供呼吸防護(hù)用品選型和使用時(shí)比較參考。

關(guān)鍵詞：呼吸防護(hù)用品，標(biāo)準(zhǔn)，微電子工廠

DOI編碼：10.3969/j.issn.1002-5944.2023.16.013

0 引言

從事芯片生產(chǎn)的微電子工廠，會(huì)使用較多種類(lèi)的危險(xiǎn)化學(xué)品，包括有毒有害特種氣體和窒息性氣體，也有使用以上危險(xiǎn)物質(zhì)的工藝操作，會(huì)涉及到呼吸防護(hù)用品的適用選擇和正確使用。另外，涉及建設(shè)項(xiàng)目的安全評(píng)價(jià)和職業(yè)衛(wèi)生評(píng)價(jià)，環(huán)境安全和職業(yè)健康體系審核，安全生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)化評(píng)審，政府應(yīng)急管理部門(mén)針對(duì)危險(xiǎn)化學(xué)品倉(cāng)庫(kù)的消防和安全檢查，都會(huì)對(duì)呼吸防護(hù)用品的配置和管理有相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)和法律法規(guī)制度要求。本文研究了40多份涉及到呼吸防護(hù)用品配置、使用、生產(chǎn)技術(shù)相關(guān)的國(guó)內(nèi)現(xiàn)行有效的標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)其中重要條款進(jìn)行歸納對(duì)比，供在微電子工廠生產(chǎn)安全管理工作中合法、正確、有效地選型及使用呼吸防護(hù)用品提供參考。

1 呼吸防護(hù)用品分類(lèi)和涉及標(biāo)準(zhǔn)說(shuō)明

呼吸防護(hù)用品按防護(hù)原理分類(lèi)，分過(guò)濾式和隔絕式2類(lèi)。按供氣原理和供氣方式分類(lèi)，分為自吸式、自給式、動(dòng)力送風(fēng)式3類(lèi)。按防護(hù)部位及氣源與呼吸器官的連接方式分類(lèi)，分為口罩式、口具式、面具式3類(lèi)。按人員吸氣環(huán)境分類(lèi)，分為正壓式、負(fù)壓式2類(lèi)。按氣源攜帶方式分類(lèi)，分為攜氣式和長(zhǎng)管式2類(lèi)。按呼出氣體是否排放到外界分類(lèi)，分為閉路式、開(kāi)路式2類(lèi)。

涉及微電子工廠呼吸防護(hù)用品有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，大致分為3類(lèi)，第1類(lèi)是關(guān)于微電子廠有毒有害工藝操作、有毒有害物質(zhì)庫(kù)房?jī)?chǔ)存、微電子廠使用到的有毒有害物質(zhì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，這些標(biāo)準(zhǔn)中有一些個(gè)體防護(hù)配備要求的說(shuō)明條款。第2類(lèi)是有關(guān)綜合性應(yīng)急救援物資配備、個(gè)體防護(hù)裝備配置規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)[1]，第3類(lèi)是具體各類(lèi)呼吸防護(hù)用品的標(biāo)準(zhǔn)[2- 4]。以上標(biāo)準(zhǔn)包括國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

不僅呼吸防護(hù)用品分類(lèi)有很多種，有關(guān)生產(chǎn)作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)急物資配備選用和個(gè)人防護(hù)裝備配備的標(biāo)準(zhǔn)也有多種，而且國(guó)內(nèi)外呼吸防護(hù)用品生產(chǎn)商在技術(shù)資料中給出的規(guī)格等級(jí)劃分也各有差異，有必要對(duì)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行梳理歸納，以利于在微電子工廠的生產(chǎn)安全管理工作中合法、正確、有效地選型及使用呼吸防護(hù)用品，保障員工的安全健康和應(yīng)急救援需求，并滿足相關(guān)管理體系和各方面的管理規(guī)定。另外，對(duì)員工進(jìn)行安全和職業(yè)衛(wèi)生教育培訓(xùn)時(shí)，也可以引用相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)條款，作為培訓(xùn)課件內(nèi)容。

2 相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)中重要條款歸納比較

本文作者多年從事職業(yè)健康安全體系和環(huán)境管理體系（EHS體系）工作，參與過(guò)多項(xiàng)微電子廠房建設(shè)，參與過(guò)多項(xiàng)新建及改擴(kuò)建建設(shè)項(xiàng)目的環(huán)評(píng)、安評(píng)和衛(wèi)評(píng)，在歷年工作中積累較多涉及到呼吸防護(hù)用品的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，現(xiàn)從以下4個(gè)方面歸納相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)中重要條款，供呼吸防護(hù)用品選型和使用時(shí)比較參考。

第一方面，涉及庫(kù)房?jī)?chǔ)存，有毒有害工藝操作，有毒有害物質(zhì)，高毒作業(yè)崗位職業(yè)病危害等標(biāo)準(zhǔn)，歸納了標(biāo)準(zhǔn)中要求的呼吸防護(hù)用品配置要求條款。如表1所示。

第二方面，涉及應(yīng)急物資配置，個(gè)體防護(hù)裝備配置，消防物資配置有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，歸納了標(biāo)準(zhǔn)中要求的呼吸防護(hù)用品配置要求條款，重點(diǎn)是相關(guān)要求的匯總表格。如表2所示。

第三方面，涉及具體種類(lèi)的呼吸防護(hù)用品國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，歸納了一些需要重點(diǎn)關(guān)注的技術(shù)說(shuō)明條款，主要涉及氣瓶貯氣量，供氣時(shí)間，過(guò)濾件的標(biāo)色及防護(hù)時(shí)間，標(biāo)記組成說(shuō)明。如表3所示。

第四方面，歸納了呼吸防護(hù)用品的儲(chǔ)存、檢查、使用、報(bào)廢等管理要求有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)條款。如表4所示。

3 其它注意事項(xiàng)

微電子企業(yè)產(chǎn)品、技術(shù)、設(shè)備有差異，使用的有毒有害化學(xué)品和原材料有差異，廠房和動(dòng)力保障設(shè)施有差異，員工數(shù)量和受教育程度有差異，應(yīng)根據(jù)實(shí)際需要，并仔細(xì)閱讀理解廠家的技術(shù)資料，考慮具體作業(yè)環(huán)境的毒害等級(jí)，留有安全余量，合理選擇呼吸防護(hù)用品和應(yīng)急救援所需要個(gè)體防護(hù)裝備，使用前應(yīng)仔細(xì)閱讀使用說(shuō)明書(shū)，按規(guī)范操作。

另外有一些注意事項(xiàng)。

（1）自吸式過(guò)濾元件（過(guò)濾盒）一定要與防護(hù)氣體類(lèi)型相匹配。注意過(guò)濾元件是有使用壽命的，優(yōu)先選擇有壽命（失效）指示器的過(guò)濾元件。過(guò)濾元件的更換計(jì)劃應(yīng)由專(zhuān)業(yè)人員來(lái)制定實(shí)施。

（2）使用自吸式過(guò)濾器具時(shí)，不要在包含未知種類(lèi)或濃度不明的毒氣及蒸氣的空氣中使用。不要在立即對(duì)人的生命和健康產(chǎn)生危險(xiǎn)的空氣中使用。

（3）正壓式呼吸器，平時(shí)就要試用，保證使用人員的臉型與面罩匹配。當(dāng)面部胡須毛發(fā)或其它情形影響面部與呼吸器密封墊之間密合時(shí)，不得使用過(guò)濾式呼吸器具。每次使用時(shí)都要進(jìn)行氣密性檢查。如果使用可重復(fù)填充氣瓶，配在呼吸器具上的氣瓶要保持在充滿可用狀態(tài)。

（4）應(yīng)經(jīng)常訓(xùn)練，保證使用人能夠熟練使用相關(guān)器具。

（5）呼吸防護(hù)用品的配置數(shù)量，可以對(duì)照相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)的要求配置。

（6）不同類(lèi)型的呼吸防護(hù)用品，價(jià)格差異很大，使用有效期不同，可根據(jù)需要合理選擇。

（7）有些防護(hù)服是正壓通風(fēng)氣衣，配全長(zhǎng)管供應(yīng)潔凈呼吸空氣，也可起到呼吸防護(hù)器具的功能。

（8）針對(duì)有毒有害氣體氣瓶意外泄漏，可以配置應(yīng)急救援容器，用于危險(xiǎn)氣體泄漏鋼瓶的緊急處理，泄漏鋼瓶可以安全放置于應(yīng)急救援容器內(nèi)（一般適用于充裝壓力不超過(guò)163 MPa、容積不超過(guò)50L的毒性、腐蝕性類(lèi)等氣體鋼瓶），便于轉(zhuǎn)移至安全區(qū)域或原廠，待妥善后續(xù)處理。這種處置方式可以防止事故發(fā)生場(chǎng)所有毒有害氣體濃度繼續(xù)上升，防止事故擴(kuò)大。

參考文獻(xiàn)

[1]張希文，劉琳，呂歡，等.解讀GB39800.2-2020《個(gè)體防護(hù)裝備配備規(guī)范 第2部分：石油、化工、天然氣》標(biāo)準(zhǔn)[J]. 中國(guó)個(gè)體防護(hù)裝備，2021（5）：34-37.

[2]中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社.個(gè)體防護(hù)裝備標(biāo)準(zhǔn)匯編（上）（第3版）[M].北京：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社，2021.

[3]中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社.個(gè)體防護(hù)裝備標(biāo)準(zhǔn)匯編（中）（第3版）[M].北京：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社，2021.

[4]中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社.個(gè)體防護(hù)裝備標(biāo)準(zhǔn)匯編（下）（第3版）[M].北京：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社，2021.

作者簡(jiǎn)介

朱震宇，通信作者，碩士，高級(jí)工程師，注冊(cè)安全工程師，研究方向?yàn)槲㈦娮訌S房建設(shè)、設(shè)備儀表安全管理。

楊一，碩士，注冊(cè)安全工程師，研究方向?yàn)槁殬I(yè)健康安全管理體系和環(huán)境管理體系。

王振，碩士，注冊(cè)安全工程師，安評(píng)師，研究方向?yàn)榘踩u(píng)價(jià)。

何基康，本科，研究方向?yàn)槲㈦娮訌S房消防管理和應(yīng)急救援。

（責(zé)任編輯：張佩玉）