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    TFT-LCD設備內(nèi)Particle分析改善方法研究

    2017-09-30 02:58:10合肥京東方光電科技有限公司李林杰劉園園徐鋒剛郭興奎
    電子世界 2017年18期
    關鍵詞:部件粒子部位

    合肥京東方光電科技有限公司 李林杰 劉園園 王 鵬 徐鋒剛 郭興奎

    TFT-LCD設備內(nèi)Particle分析改善方法研究

    合肥京東方光電科技有限公司 李林杰 劉園園 王 鵬 徐鋒剛 郭興奎

    本文研究了一種快速尋找TFT-LCD制程設備內(nèi)particle源并改善的方法,研究表明利用5W1H及相關性的科學分析方法建立粒子的分布模型-Particle Map,可快速定位particle源,使得Particle尋找及改善的過程大大縮短,快速降低異物不良,提升產(chǎn)品品質。

    TFT-LCD;Particle Source;Particle Map;Particle Source消除

    引言

    TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,薄膜晶體管-液晶顯示器)作為一種平板顯示裝置,因其具有體積小、功耗低、無輻射以及制作成本相對較低等特點,而越來越多地被應用于高性能顯示領域當中。同時市場對Particle的要求越來越高,PPI也越做越高,品牌客戶目前均要求0 DOT亮點出貨,而異物size大小也從0.4μm收嚴至0.1μm,工藝制程設備內(nèi)particle的管理日益凸顯,particle類不良隨著客戶規(guī)格的加嚴同步升高。在本文中,我們通過對particle類不良分析及生產(chǎn)設備內(nèi)Process環(huán)境的改善,收集了大量的數(shù)據(jù),建立了一種可以方便快捷準確的改善方法。

    一、Particle Map分析方法及工具概述

    (一)Particle Map的概念

    Particle Map是設備內(nèi)Particle源分析的一種方法,通過5W1H及相關性方法研究確定動作與Particle的對應關系,最終確定真因子(產(chǎn)塵部件)。

    我們希望在生產(chǎn)過程中能“看”到Particle粒子分布的大小和多少,這樣就可以有針對性的改善了。如圖1,Particle的分布一目了然。

    圖1

    (二)Particle counter

    Particle counter是一種粒子計數(shù)器,是在particle改善過程中用到的重要工具。主要用于無塵室的Class等級測試,以及無塵室生產(chǎn)工藝質量監(jiān)測。主要是潔凈廠房內(nèi)微粒大小和數(shù)量的測試。通過粒子計數(shù)器可以將無形的粒子轉化為可見的數(shù)字(見圖2)。

    圖2

    二、Particle Map分析步驟研究

    Particle Map分析步驟:

    Particle Map的分析步驟按照5W1H工作法劃分為5條,如下表一為具體的操作步驟。

    Step Item操作Step 1確定分析參照位置(Where Particle高發(fā)?)因設備內(nèi)各位置Particle存在差異,需要確定分析基準位置?;鶞剩哼x取設備內(nèi)Particle均值最高的機臺Pass-line Step 2篩選異常動作(When Particle高發(fā)?)利用量產(chǎn)動作與Particle相關系數(shù)計算,篩選掉非異常動作。利用部件-動作 矩陣(C-E) ,排定各設備動作排查順序Step 3篩選異常動作所對應的磨損部件(What Particle高發(fā)?)單動測試將各個動作(因子)區(qū)分開,單獨排查其動作機構部位Particle是否異常Step 4確定異常動作及磨損部件之后,通過相關性計算,Particle均值比較,Particle Size占比 分析各異常因子與超標相關性Step 5異常Event出現(xiàn)氣流&Particle分析異常磨損部件與超標相關性分析 (Why Particle高發(fā)?)(人料法環(huán))因子排查,生產(chǎn)過程中Event出現(xiàn)(人員換料、Down機處理)異常氣流&Particle影響分析改善。

    三、Particle Map應用分析研究

    (一)改善背景

    下面以一個運用particle map方法來鎖定particle source并降低particle水平的實例來說明具體的操作。選定的異常部位為Cell工序的PI Coater設備。衡量設備內(nèi)Paritcle水平的異常按照潔凈室國際標準ISO14644-1來衡量,這里不再贅述(見圖3)。

    圖3

    (二)確定高發(fā)位置–Where Particle高發(fā)?

    圖4

    圖5

    Particle高發(fā)位置確認,設備內(nèi)部選取流片高度布置多個測試點,在設備穩(wěn)定量產(chǎn)時,同步連續(xù)測試Particle值,選取Particle均值最高的點作為分析參照位置。

    (三)確定高發(fā)動作–When Particle高發(fā)?

    高發(fā)位置確定后,下面確定什么時候高發(fā)的。將高發(fā)部位的動作按照動作時序圖,確認哪個部位的particle高發(fā),并將各機構動作與Particle相關性系數(shù)匹配(如圖7)?Pin下降,PI液轉印,Table上升與Particle相關性較高。

    圖6

    圖7

    圖8

    Particle高發(fā)動作確認,利用設備Time Chart(動作時序圖),計算量產(chǎn)動作與Particle值相關性系數(shù),篩選掉非異常動作

    (四)確定高發(fā)動作–When Particle高發(fā)?(見圖8)

    高發(fā)動作確認后,依據(jù)Particle源分析改善經(jīng)驗,列舉設備常見易產(chǎn)塵部件,通過制作設備動作魚骨圖和動作-部件C&E矩陣,排定設備動作排查順序。

    (五)確定高發(fā)動作機構–What Particle高發(fā)?

    異常部位速度加大或者減少再次驗證哪個部位Particle高發(fā):Pin升降速度 Vs. Pin傳動部位Particle。

    圖9

    圖10

    Pin升降傳動機構部位Particle與Pin升降的速度高度相關。

    (六)驗證高發(fā)動作機構相關性–Why Particle高發(fā)?

    圖11

    圖12

    絲杠未定期清潔或者清潔周期太長均會影響particle的高發(fā)。在此例中,絲桿就是particle source,需按照PM sheet定期清潔、注油、保養(yǎng)。防止particle再次高發(fā)。

    (七)措施導入&改善效果

    圖13

    驗證Particle source摘除后,不良率下降相關性。從上圖可以看出,執(zhí)行定期清潔后,PI的相關不良改善明顯。

    五、總結

    本文通過一個實際案例的應用,詳細闡述了Particle source查找的步驟,通過“5W1H”的理論逐步測試推導,通過各步驟數(shù)據(jù)分析驗證,最終確定產(chǎn)塵源。然后通過統(tǒng)計學相關性的分析,科學定位particle source,再通過C&E矩陣篩選出Particle高發(fā)異常動作,最后采用相應的措施(不同的原因對應不同的措施)使得particle維持在一個較低的水平(particle不可完全消除,只可維持在一個較低的水平),并制定相應的作業(yè)指導書及文件,防止問題再發(fā)生??偨Yparticle改善的經(jīng)驗,目前已形成從現(xiàn)狀分析→高發(fā)動作確認→單動測試→驗證相關性的方法,形成系統(tǒng)化分析流程,應用范圍廣,隨著客戶基準的加嚴,異物不良的升高,這種快速尋找particle的方式將為企業(yè)降低大量的LOSS。

    [1]元榮載,張小松,鄭秀一.基于氣流場變化的潔凈室內(nèi)部潔凈研究[J].潔凈與空調技術,2005年03期.

    [2]朱小龍,謝志江,劉長春,佟瑩.超潔凈過渡間內(nèi)微粒污染物濃度及擴散模型[J].重慶大學學報,2008年12期.

    [3]齊鵬,施園,劉子源.TFT-LCD Touch Mura不良的研究與改善[J].液晶與顯示,2013,28 (2): 204-209.

    Research on Particle analysis and improvement method in TFT-LCD equipment

    LilinjieLiuyuanyuanWangpengXufenggangGuoxingkui
    (Hefei BOE Display Technology Co,Ltd, Hefei230012,CHN)

    This paperstudies a method for fast searching and improving particle source in TFT-LCD process equipment,The research shows that the distribution model of particles is established by using the scientif i c analysis methods of 5W1H and correlation -Particle Map,that means Particle source can be quickly located, the Particle search and improvement time can greatly shortened, Can quickly reduce particle defect and Enhance product quality.

    TFT-LCD;Particle Source;Particle Map;Particle Source Reduce

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