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    伺服電缸加壓系統(tǒng)的壓力控制方法

    2022-10-08 12:40:02張文琪
    電子工業(yè)專用設(shè)備 2022年4期
    關(guān)鍵詞:示意圖高精度偏差

    韋 杰,張文琪,溫 巖,田 芳

    (中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第二研究所,山西 太原030024)

    伺服電缸是伺服電機(jī)與機(jī)械傳動(dòng)裝置集成于一體的模塊化產(chǎn)品設(shè)計(jì),具有結(jié)構(gòu)緊湊、響應(yīng)速度快、抗過載能力強(qiáng)、占用空間小等特點(diǎn),在工程機(jī)械、壓力實(shí)驗(yàn)設(shè)備、航空航天等領(lǐng)域中被廣泛應(yīng)用。隨著工業(yè)應(yīng)用需求的不斷提高,伺服電缸正在向大推力、智能化、數(shù)字化的方向發(fā)展。液壓伺服系統(tǒng)在100 kN以上的加壓場(chǎng)景下被廣泛使用,但是液壓伺服系統(tǒng)的組成復(fù)雜、體積大,在空間有限的凈化間內(nèi)很難安置。相比之下,電動(dòng)加壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,操作方便,控制精確,適用于空間有限、潔凈度和噪聲要求高的場(chǎng)所[1]。另外,電動(dòng)伺服加壓系統(tǒng)中執(zhí)行器同步性好,電缸控制精度高,更容易實(shí)現(xiàn)同步協(xié)調(diào)。隨著伺服電缸控制技術(shù)的不斷完善,伺服電缸加壓系統(tǒng)在高精度、大壓力場(chǎng)景中的推廣應(yīng)用成為一種必然趨勢(shì)[2]。

    針對(duì)大尺寸芯片倒裝工藝過程的加壓需求,伺服電缸提供了一種大壓力、高精度的加壓方法,其結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示。

    圖1 伺服電缸結(jié)構(gòu)示意圖

    1 工作原理

    在伺服加壓系統(tǒng)中,電缸裝有旋轉(zhuǎn)編碼器和直線編碼器,利用雙編碼器反饋實(shí)現(xiàn)了電缸的高精度位移,其步進(jìn)精度可達(dá)到0.5 μm;然后,在推力的輸出部分設(shè)置了碟簧,在同樣的輸出力矩下,增加了電缸的行程,提高了系統(tǒng)整體的加壓分辨率。通過PLC對(duì)電缸進(jìn)行控制,利用增量式PID控制方法對(duì)電缸的輸出力進(jìn)行調(diào)節(jié),達(dá)到高精度、寬范圍的輸出效果。

    加壓系統(tǒng)的壓力控制原理為:上位機(jī)進(jìn)行壓力參數(shù)編輯、壓力曲線監(jiān)測(cè)和設(shè)備狀態(tài)監(jiān)測(cè);通過OPCUA協(xié)議下位機(jī)與上位機(jī)進(jìn)行實(shí)時(shí)通訊,并執(zhí)行上位機(jī)的指令和回傳相關(guān)數(shù)據(jù),根據(jù)接收的加壓指令,按給定參數(shù)命令伺服電機(jī)運(yùn)動(dòng),同時(shí)獲取壓力反饋、運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)位移和I/O等數(shù)據(jù),利用壓力控制算法實(shí)時(shí)處理數(shù)據(jù),并糾正壓力偏差,實(shí)現(xiàn)伺服加壓系統(tǒng)的壓力實(shí)時(shí)閉環(huán)控制,其控制原理如圖2所示。

    圖2 壓力閉環(huán)控制原理圖

    2 壓力實(shí)現(xiàn)方式

    壓力實(shí)現(xiàn)方式為伺服電缸推動(dòng)加壓機(jī)構(gòu)進(jìn)行產(chǎn)品壓合,其控制方式是力矩模式或位置模式。力矩模式的本質(zhì)是控制電流,在大推力情況下需要有持續(xù)的大電流,長(zhǎng)時(shí)間保持大推力對(duì)電機(jī)和控制器的要求較高,且有安全風(fēng)險(xiǎn)。而位置模式在位移結(jié)束后電流會(huì)明顯減小,且能持續(xù)保持加壓狀態(tài)。要保持2 h以上的大壓力,控制方式采用位置模式,將壓力轉(zhuǎn)換成位移。

    該加壓系統(tǒng)使用表面平整的不銹鋼片作為試驗(yàn)樣片,加壓時(shí)記錄位移與壓力的變化量,位移與壓力的關(guān)系如圖3所示。因此,位移與壓力變化的傳遞函數(shù)可近似為比例環(huán)節(jié)[3],其計(jì)算式為:

    圖3 位移-壓力曲線圖

    式(1)中,GL(s)為壓力與位移的傳遞函數(shù),KA為比例系數(shù),s為加壓機(jī)構(gòu)位移量。

    在上位機(jī)操作界面預(yù)先設(shè)置加壓工藝曲線,如圖4所示。在加壓過程中實(shí)時(shí)參照壓力傳感器的反饋進(jìn)行調(diào)節(jié),使過程中讀取的壓力曲線與預(yù)設(shè)加壓工藝曲線一致。

    圖4 預(yù)設(shè)加壓曲線示意圖

    采用增量式PID控制進(jìn)行壓力控制,PLC進(jìn)行運(yùn)算處理,并按照設(shè)置值與反饋值的偏差進(jìn)行調(diào)節(jié)[4]。

    式(2)中,u(k)為PID計(jì)算的輸出值,Kp為比例系數(shù),Ki為積分系數(shù),Kd為微分系數(shù),e為偏差。取得計(jì)算結(jié)果后,PLC將位移指令下達(dá)給驅(qū)動(dòng)器,執(zhí)行機(jī)構(gòu)移動(dòng)相應(yīng)的距離實(shí)現(xiàn)壓力的控制。采用碟簧設(shè)計(jì)提高了系統(tǒng)加壓的分辨率,在最大壓力100 kN的情況下,該加壓系統(tǒng)的最高分辨率可以達(dá)到20 N,即0.2‰。

    3 仿真與試驗(yàn)研究

    3.1 測(cè)試平臺(tái)搭建

    為驗(yàn)證該伺服電缸加壓系統(tǒng)的各項(xiàng)參數(shù)指標(biāo)及性能,在大理石平臺(tái)上搭建了三梁四柱結(jié)構(gòu)的加壓系統(tǒng)進(jìn)行試驗(yàn),測(cè)試平臺(tái)示意圖如圖5所示。該加壓系統(tǒng)能實(shí)現(xiàn)100 kN的最大壓力,測(cè)試儀器為2個(gè)外置壓力傳感器,量程分別為5 kN和100 kN,保證寬范圍、高精度的壓力輸出效果。

    圖5 三梁四柱結(jié)構(gòu)測(cè)試平臺(tái)示意圖

    3.2 仿真與測(cè)試

    該系統(tǒng)壓力控制時(shí)的給定值按照預(yù)設(shè)壓力曲線更新,且加壓過程長(zhǎng),如果采樣時(shí)間過短,離散后的給定值相差較小,產(chǎn)生過多無意義的給定值,增大計(jì)算負(fù)擔(dān)。因此,采樣時(shí)間設(shè)為200 ms,給定值間隔時(shí)間為1 000 ms,理想控制曲線為階梯狀上升(或下降),采樣時(shí)間小于給定值間隔的PID測(cè)試結(jié)果如圖6所示。結(jié)果表明,該算法能夠滿足實(shí)際的壓力控制要求。

    圖6 PID算法測(cè)試

    實(shí)測(cè)的壓力曲線如圖7所示,從圖7可以看出,實(shí)際測(cè)量值與設(shè)置值吻合,加壓過程中的壓力偏差不超過0.3%,且在加壓過程中上下臺(tái)面的平行度保持良好,最大偏差不超過1.8 μm,結(jié)果符合設(shè)計(jì)要求。

    最大偏差:1.8 μm長(zhǎng)度計(jì)最大值:8.8 μm長(zhǎng)度平均值:7.8 μm

    圖7 實(shí)測(cè)的壓力曲線

    4 結(jié)束語

    本文介紹了一種伺服電缸加壓系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)方式及控制策略,通過位移控制實(shí)現(xiàn)了壓力的精確控制,在PLC中應(yīng)用PID算法對(duì)偏差值進(jìn)行計(jì)算并驅(qū)動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)進(jìn)行壓力修正。通過搭建測(cè)試平臺(tái)進(jìn)行驗(yàn)證,驗(yàn)證結(jié)果表明,伺服電缸加壓系統(tǒng)設(shè)計(jì)及其控制方法可以實(shí)現(xiàn)精確的加壓控制,而且壓力控制范圍大,在芯片的大壓力互連工藝應(yīng)用中具有一定的推廣意義。

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