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    一種具有自適應(yīng)優(yōu)化電源抑制比的低靜態(tài)電流無片外電容LDO

    2022-08-13 08:22:42張培勇黃開天
    電子學報 2022年7期
    關(guān)鍵詞:功率管柵極增益

    徐 葉,張培勇,李 豪,黃開天

    (1.浙江大學超大規(guī)模集成電路研究所,浙江杭州 310027;2.南方電網(wǎng)科學研究院有限責任公司信息安全中心,廣東廣州 510663)

    1 引言

    穩(wěn)壓器作為電源管理的關(guān)鍵組件,提供了可調(diào)節(jié)的、穩(wěn)定的和低噪聲的電壓[1],廣泛應(yīng)用于片上系統(tǒng)(System on Chip,SoC).線性低 壓差穩(wěn)壓器(Low-DropOut regulator,LDO)是穩(wěn)壓器的一種,相比開關(guān)電容或開關(guān)穩(wěn)壓器來說,具有更好的抗電源噪聲能力.根據(jù)主極點位置,LDO分為外部補償和內(nèi)部補償兩類.前者主極點位于LDO輸出端,后者主極點位于LDO內(nèi)部.內(nèi)部補償LDO,也可稱為CL-LDO(Capacitor-Less LDO),由于輸出端無須負載大電容,因而具有小面積、高集成度的優(yōu)勢.但是,CL-LDO面臨著瞬態(tài)響應(yīng)差、穩(wěn)定性差及低電源抑制比(Power Supply Rejection,PSR)的問題[1,2].

    CL-LDO 一般有以下2 種PSR 優(yōu)化方案.第一種是預調(diào)電源電壓[3~5].在功率管與電源之間插入一個NMOS 作為共柵(cascode)管,增大電源與LDO 輸出之間的阻抗.但這種方式既提高了壓差,又增加了面積.第二種是前饋電源噪聲消除(FeedForward Ripple Canceller,F(xiàn)FRC)[6~9].在電源和功率管柵極之間提供一條具有適當增益的前饋通路,令功率管柵極電壓跟隨電源電壓,使得輸出噪聲電流約等于0.該方法不但不會提高壓差,而且結(jié)構(gòu)相對簡單,可行性強.但PSR 優(yōu)化效果依賴前饋增益,增益最優(yōu)值對壓差和負載電流以及PVT 變化十分敏感,難以成為一個可靠的PSR 優(yōu)化方案.

    基于傳統(tǒng)的FFRC,文獻[10]提出一種電流模式的FFRC(Current-mode FFRC,CFFRC),不使用額外的電壓加法電路,因此降低了功耗,減小了復雜度.但功率管柵極阻抗極小,其主極點位于LDO 輸出端,不適用于CL-LDO.文獻[11]提出一種負電容電路(Negative Capacitance Circuit,NCC),使得在功率管柵極因寄生電容耦合的電源噪聲與電源噪聲一致,從而消除LDO 輸出端的噪聲電流.但其負電容最優(yōu)反饋增益依賴數(shù)字調(diào)節(jié),靈活性不夠,同時片上電容為10 pF,面積不夠理想.

    FFRC 前饋通路最優(yōu)增益與NCC 負電容最優(yōu)反饋增益會受功率管工作狀態(tài)影響,針對該問題,有學者提出一些自適應(yīng)增益機制.文獻[12]提出一種面向CLLDO的一種可適應(yīng)電源噪聲消除方式(Adaptive Supply-Ripple Cancellation,ASRC).ASRC將電源噪聲自適應(yīng)地注入功率管襯底中,不需要像FFRC 那樣添加額外的加法電路.但其自適應(yīng)電路較為復雜,并且由于ASRC 中有個比例縮小的功率管拷貝管,靜態(tài)電流與負載電流成正比.文獻[13]同樣利用比例縮小的功率管拷貝管,生成一個比例縮小的柵漏寄生電容(Cgd)補償電流,經(jīng)過電流放大器等比例放大后注入功率管柵極.由于電路中存在許多中高頻極點,所以該補償電流只在中低頻段(<4 MHz)有效.另外,該方式忽略了功率管的漏體寄生電容與漏源電導,由后續(xù)的PSR 分析可知,當功率管處于線性區(qū)時,該參數(shù)對PSR 的優(yōu)化起到了關(guān)鍵性作用.上述自適應(yīng)增益方案均使用了比例縮小的功率管拷貝管,當負載大電流時,存在靜態(tài)電流過大的問題.

    針對上述PSR 優(yōu)化方案存在的面積大、功耗高、結(jié)構(gòu)復雜等問題,本文提出一種適用于CL-LDO 的PSR 自適應(yīng)優(yōu)化方案.該方案無需功率管拷貝管,具有低靜態(tài)電流的優(yōu)勢;通過監(jiān)測功率管工作狀態(tài),對前饋補償電流進行動態(tài)調(diào)節(jié),更具靈活性.本文基于此方案,采用0.11 μm CMOS工藝實現(xiàn)了一種高PSR的CL-LDO,具有面積小、功耗低、PSR自適應(yīng)調(diào)節(jié)等優(yōu)點.

    2 PSR分析與優(yōu)化

    電源與LDO 輸出之間有多條路徑,使得電源噪聲耦合到輸出端,從而限制PSR.圖1 為以PMOS 為功率管(Mpass)的LDO 電源-輸出噪聲耦合路徑圖,一共有3條主路徑[13]:(1)誤差放大器(Error Amplifier,EA);(2)功率管柵源寄生電容(Cgs);(3)功率管的漏體寄生電容(Cdb)與漏源電導(gds).前2 條路徑的電源噪聲先耦合到Mpass柵極,再被Mpass跨導(gm)放大并轉(zhuǎn)化成噪聲電流.為方便小信號分析,將寄生電容拆分為2個對地分電容和2 個壓控電流源,并畫出LDO 小信號等價模型,如圖2所示.

    圖2 LDO小信號等價模型

    暫不考慮虛線框中的PSR 優(yōu)化模塊(PSR Enhancer),得到PSR方程如下所示:

    為優(yōu)化PSR,電源噪聲通過各路經(jīng)耦合到LDO 輸出端的噪聲電流應(yīng)盡量小.現(xiàn)考慮PSR 優(yōu)化模塊(圖2虛線框),即在Mpass柵極添加一個與頻率相關(guān)的補償電流,即壓控電流源為補償電容.補償后的電源-Mpass柵極噪聲電壓公式如下是局部反饋,其影響體現(xiàn)在環(huán)路增益中;考慮路徑2,忽略路徑1 對PSR 的影響[13];RG足夠大,可忽略;CP相對Cgs和Cgd來說過小,可忽略[13]):

    補償后的路徑2電源-輸出噪聲電流公式如下:

    路徑3 電源-輸出噪聲電流公式如下(該噪聲電流存在一個零點,處于1 GHz 以上,中低頻段為gds主導,故忽略sCdb):

    如令Ccomp滿足(8)式,PSR 將進一步優(yōu)化.圖3 為Mpass的Cgd,Vdsat,Vds,Vgs與Ccomp隨負載電流變化曲線圖.當Mpass在亞閾值(Subthreshold)區(qū)和飽和(Saturation)區(qū)時,Ccomp變化不大;當Mpass進入線性(Linear)區(qū)后,Ccomp增長速率變快.圖4 為Mpass在不同Vdrop下,Ccomp隨負載電流變化曲線圖.由圖4 可知,Vdrop越大,Mpass越容易趨向于飽和,Ccomp變化越小.因此,Ccomp與Mpass工作狀態(tài)有關(guān).假如能夠判斷Mpass的工作狀態(tài),再對Ccomp進行動態(tài)調(diào)節(jié),使其接近于理想值,就能進一步優(yōu)化PSR.

    圖3 Mpass 的Cgd,Vdsat,Vds,Vgs 與Ccomp 隨負載電流變化曲線圖(Vdrop=200 mV,Vth=-640 mV)

    圖4 Mpass在不同Vdrop下,Ccomp隨負載電流變化曲線圖

    3 結(jié)構(gòu)與實現(xiàn)

    LDO 主要由主模塊(Core)、PSR 優(yōu)化模塊(PSR Enhancer)和瞬態(tài)響應(yīng)優(yōu)化模塊構(gòu)成.

    3.1 主模塊

    圖5 為LDO 主模塊原理圖,包括push-pull 放大器(Push-Pull Amplifier)、功率管以及基準源緩沖器(Reference Buffer).本設(shè)計采用push-pull 放大器作為LDO的反饋放大器.該結(jié)構(gòu)具有靜態(tài)電流小、壓擺率高,以及穩(wěn)定性高(輸出阻抗?。┑膬?yōu)點[14,15].但在文獻[14]的結(jié)構(gòu)中,存在最小負載電流限制和低環(huán)路增益的問題,后者限制了PSR.文獻[16]在文獻[14]的基礎(chǔ)上,增加一對復制的差分共柵MOS 管,以提高放大器的跨導,從而增加LDO 的環(huán)路增益.本設(shè)計以文獻[16]的結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ),做了一些修改,旨在提高環(huán)路增益.

    圖5 LDO主模塊原理圖

    為驅(qū)動80 mA 負載電流,同時考慮到面積,且功率管一般允許大電流下工作在線性區(qū),將Mpass的寬長比設(shè)置為9 600 μm/0.3 μm.綜合上述分析,push-pull 放大器MOS管的比例如表1所示.

    表1 push-pull放大器MOS管比例表

    圖6 為LDO 主模塊開環(huán)交流響應(yīng).當負載電流為100 μA(最差情況)、1 mA、20 mA、40 mA和80 mA時,相位裕度分別為42°,72°,81°,85°,88°.

    圖6 LDO主模塊開環(huán)交流響應(yīng)圖(Cload=100 pF)

    3.2 PSR優(yōu)化模塊

    如第2 節(jié)所述,Mpass柵極添加一個頻率相關(guān)的補償電流sCcompVIN,可優(yōu)化LDO 中頻PSR.為實現(xiàn)該補償電流,有2點需要解決的問題.

    (1)精確可靠的電流放大電路(Current Amplifier Circuit,CAC).從第2 節(jié)可知,在最壞情況下,Ccomp最優(yōu)值大于10 pF.大電容不僅意味著大面積,而且會產(chǎn)生更低頻的極點,衰減優(yōu)化性能.因此,需要一個精確可靠的無低頻極點的CAC,既能放大中低頻電流,又不會引入過大的誤差電流.文獻[13]中CAC 由放大器與電阻組成,雖可精確控制放大倍數(shù),但額外的電阻也增加了電路噪聲和面積成本.

    (2)自適應(yīng)動態(tài)調(diào)節(jié)的電流增益.最優(yōu)Ccomp與Mpass工作狀態(tài)有關(guān),所以其電流增益需要依據(jù)Mpass工作狀態(tài),并做出動態(tài)調(diào)節(jié).在文獻[13]中,PSR 的優(yōu)化只考慮了Mpass的Cgd,所以采用等比例縮小的功率管拷貝管來生成動態(tài)可調(diào)的前饋補償電流.但上下偏置電流的失配,會產(chǎn)生較大的直流偏移和交流失配,限制放大精度.這將引入額外的小信號噪聲,且該噪聲經(jīng)過電流放大器放大之后,將嚴重影響LDO 直流工作點和PSR 優(yōu)化效果.

    3.2.1 電流放大電路

    設(shè)Ccomp=kCvar,其中k為電流放大增益.Ccomp最大值為13 pF(負載電流80 mA).考慮面積、精度以及極點問題,設(shè)k值為50倍,Cvar可調(diào),最大值為260 fF.

    CAC 共分為2 級(Stage1 和Stage2),分別放大20 倍和2.5 倍,共放大50 倍.兩級放大結(jié)構(gòu)均采用差分對稱[17,18]的結(jié)構(gòu).圖7、圖8 分別為電流放大電路Stage1和Stage2 原理圖.Stage2 采用了對稱的電流鏡結(jié)構(gòu),以減小直流失配.

    圖7 電流放大電路Stage1原理圖

    圖8 電流放大電路Stage2原理圖

    為在達到指定放大倍數(shù)的同時,不增加靜態(tài)電流,Stage1 使用了電流轉(zhuǎn)電壓(Current-to-Voltage,I-V)轉(zhuǎn)換器和電壓轉(zhuǎn)電流(Voltage-to-Current,V-I)轉(zhuǎn)換器[18]來替代電流鏡[17].電源噪聲通過跨導增益增強電路(Transconductance Gain Enhancer,TGE)耦合到NX2點,再通過作為MBN6耦合到NX3點(MBP6和MBP7柵端).接著從N1點注入,經(jīng)過工作在線性區(qū)的MBN6,轉(zhuǎn)換成電壓vN2(s)=ro,BN6(sCvarvin),ro,BN6為MBN6等效電阻.然后vN2(s)被作為共源極的MBP9放大轉(zhuǎn)換成電流istg1(s)=gm,BP9ro,BN6(sCvarvin),gm,BP9為MBP9跨導.最終Stage1 電流的放大倍數(shù)k1=gm,BP9ro,BN6.

    不考慮TGE,右側(cè)電路N1和N2處有兩個極點:

    其中,ZN1為N1處的輸入阻抗,gm,BP7為MBP7的跨導,ro,BP7和ro,BP5分別為MBP7和MBP5的等效電阻,CP,N2為N2處的寄生電容.為使得補償電流在中頻有效,ωP,N1和ωP,N2必須位于10 MHz 及以上頻率處.令MBN6工作在線性區(qū),減小ro,BN6,可使ωP,N2推至高頻.對于ωP,N1來說,最簡單的方式是提高偏置電流以提高gm,BP7,但會增加功耗[17].因此需要一個TGE,提高跨導,減小ZN1,將ωP,N1推向更高頻.與文獻[17]不同,本設(shè)計將Cvar放在與NX2對稱的N1處,由于NX3與MBP7的柵極相連,所以TGE 效果是相同的.同時TGE 環(huán)路穩(wěn)定性不受Cvar大小影響.圖7 左側(cè)虛線藍框為所設(shè)計的TGE 電路.為避免產(chǎn)生低頻極點,運算跨導放大器(Operational Transconductance Amplifier,OTA)采用以NMOS 作為輸入對管,差分輸入單端輸出的一級運放.

    在OTA和MBP6之間,插入一級SF作為緩沖級,目的是為了降低NX1處的電位,以滿足MBP6的輸入共模范圍.從NX1,NX2到NX3形成一個環(huán)路,共有3 個極點如下所示:其中,CX1和RX1分別為NX1點的頻率補償電容和電阻.圖9 為PSR 跨導增益增強電路的開環(huán)交流響應(yīng)圖.頻率補償前相位裕度為12°,頻率補償后相位裕度為76°.式(16)為跨導增益放大之后得到的zN1.其中,gOΤA為放大器跨導.在低頻下,zN1縮小了倍.為在高頻處保持低阻抗,RX1與CX1應(yīng)盡可能小.

    取Cvar=300 fF(最壞情況Ccomp=15 pF),對CAC 進行交流仿真.圖10 為電流放大電路的交流仿真圖.CAC在10 Hz到10 MHz下可以正常放大,放大倍數(shù)為49.在低頻直流處有小的直流偏移誤差,極高頻處由于ZN1增大,CAC失效.

    圖10 電流放大電路交流仿真圖(Cvar=300 fF)

    3.2.2 PSR動態(tài)調(diào)節(jié)電路

    由圖3 可知,Ccomp最優(yōu)值在亞閾值與飽和區(qū)變化小,在線性區(qū)增長速率加快.設(shè)Mpass工作在線性區(qū)與飽和區(qū)邊緣,臨界點如下所示:

    由式(17),易推得式(18)~(20):

    其中,VSD,P,VSG,P和|VΤH,P|分別代表Mpass的源漏電壓、源柵電壓和閾值電壓絕對值;ΔVΤRIG,G表示VTRIG與VG,P之間的差值,差值越大,說明Mpass偏離飽和區(qū)越遠.但在集成電路設(shè)計中,電壓差比電流差更難獲得.所以,本設(shè)計利用單級共源放大器,實現(xiàn)簡單的電壓轉(zhuǎn)電流功能,降低設(shè)計復雜度.圖11 為PSR 動態(tài)調(diào)節(jié)電路原理圖.將Part2 和Part3 作為整體進行多組并聯(lián),可實現(xiàn)Mpass的多段工作區(qū)間.本設(shè)計中并聯(lián)數(shù)為4,i表示并聯(lián)序號.

    圖11 PSR動態(tài)調(diào)節(jié)電路原理圖

    (1)Part1:提取VTRIG

    MDP1源端接LDO 的輸出端VOUT,其溝道長度與Mpass相同,工作在線性區(qū)與飽和區(qū)臨界點,令VGS,DP1≈VΤH,DP1≈VΤH,P.最 終MDP1輸出電壓為VOUΤ-|VΤH,DP1|≈VΤRIG.

    (2)Part2:生成臨界開關(guān)信號VSWBi

    MDP2和MDP3i作為共源級,MDP2和MDP3i柵極輸入分別為VG,P與VTRIG,流過MDP2與MDP3i的電流如下式所示:

    表2 PSR動態(tài)調(diào)節(jié)電路部分MOS管比例表

    圖12 Ccomp,VG,P和f(KMDi)隨負載電流變化曲線圖(VIN=2 V,VOUT=1.8 V)

    (3)Part3:Cvar可調(diào)電路

    圖11 中MDP4i為PMOS 開關(guān),MDN5i為MOS 電容,4 組拷貝陣列共同構(gòu)成Cvar,VCAP為CAC 的輸入端.采用MOS 電容,一方面因為優(yōu)化PSR 對Cvar精度要求不高,另一方面可節(jié)省面積.當Mpass進入新的狀態(tài)區(qū)間時,VSWBi會轉(zhuǎn)變高低電平,開啟或關(guān)閉MDP4i,動態(tài)調(diào)節(jié)Cvar.經(jīng)過計算及仿真,MDP5i寄生電容值如下表3 所示,其中MDN50為初始Cvar.

    表3 MDP5i寄生電容值表

    設(shè)Mpass進入第四區(qū)間(Phase4),即VSWB1,2,3=0,50Cvar=9 pF.實際設(shè)計的Ccomp比圖12中的7.5 pF要大,因為考慮到要優(yōu)化整個區(qū)間,所以接近于Phase 4 中間點的Ccomp值.

    3.3 瞬態(tài)響應(yīng)優(yōu)化模塊

    CL-LDO 采用push-pull 放大器結(jié)構(gòu),雖具有低功耗的優(yōu)點,但瞬態(tài)響應(yīng)依然較差.本模塊結(jié)合輔助電路[19](Assistant Push-pull Output Stage,APPOS)和基于反相器的動態(tài)單元[20](Inverter-based Dynamic Unit,IDU),旨在提高響應(yīng)速度,減小過沖或下沖電壓.圖13 為瞬態(tài)響應(yīng)優(yōu)化模塊的原理圖.其中VP,VN,VG,P與圖5 主模塊各輸出端口對應(yīng).

    圖13 瞬態(tài)響應(yīng)優(yōu)化模塊原理圖

    左側(cè)為APPOS.一般情況下,VUP為低電平,VDOWN為高電平.以負載電流減小為例,LDO 輸出電壓VOUT上升,經(jīng)過LDO 環(huán)路,VP下降,使得Mpass柵極電容充電電流增加.APPOS 檢測到VP下降,拉高VUP,開啟MSW1,使MEP4柵極與VP短接,增大Mpass柵極電容充電電流,提高Mpass柵極電壓,減小其漏電流.待VOUT穩(wěn)定后,MSW1再次關(guān)閉,不耗靜態(tài)電流.

    右側(cè)為IDU.與文獻[20]不同,僅用一級放大器,減小VOUT的下沖電壓.耦合電容CE作為小信號高通通路,RE用來隔離MEP5與MEP6的柵極信號.IDU 通過CE將VOUT的下降信號耦合到NE1,接著經(jīng)由MEP6與MEN6反向放大后輸入到MEN7的柵極,從而動態(tài)增加Mpass柵極電容放電電流.

    4 測試結(jié)果與分析

    本文所提出的CL-LDO 采用0.11 μm 的CMOS 工藝設(shè)計與實現(xiàn).CL-LDO 芯片封裝照片如圖14 所示.芯片總面積為0.026 mm2,不包括負載電容、PAD 及測試電路.CL-LDO 輸出電壓為1.8 V,輸入電壓范圍為2~3.3 V.

    圖14 CL-LDO芯片封裝照片

    圖15(a)和(b)分別為LDO 的PSR 和瞬態(tài)響應(yīng)測試設(shè)置.對于PSR 測試,采用Bias Tee 注入電源噪聲.輸入正弦信號峰峰值為100 mV,頻率范圍為1 kHz~10 MHz,由信號發(fā)生器(型號33500B)產(chǎn)生,注入到Bias Tee 的AC 端;輸入直流偏置為2 V,由電壓源(型號PWS2185)提供.其中負載電流由NPN 電流鏡提供;Cload為100 pF 負載電容.輸入和輸出信號皆由頻譜儀(型號SSA 2032X)測量.對于瞬態(tài)響應(yīng)測試,CS被添加到LDO 輸入端,用于濾去輸入信號的噪聲.輸入輸出信號由示波器(MSO-X 3024A)測量.

    圖15 LDO測試設(shè)置

    圖16展示了在不同壓差下靜態(tài)電流隨負載電流的變化曲線.在測試中,LDO的靜態(tài)電流為輸入端總電流減去負載電流.由圖可見,當壓差為200 mV 時,負載電流從0變化到80 mA,最大靜態(tài)電流為55 μA.曲線上存在尖峰電流,這與PSR 優(yōu)化電路中動態(tài)調(diào)節(jié)電路有關(guān)(見圖12).尖峰意味著此時IMDP2=IMDP3i,兩管均處于飽和態(tài),消耗電流增加.

    圖16 CL-LDO在不同壓差下靜態(tài)電流隨負載電流變化的曲線

    圖17 為CL-LDO 有 無PSR Enhancer 的PSR 測試對比圖.由17(a)可知,在0.1~60 mA 的寬負載電流范圍下,使用本文所提出的PSR 優(yōu)化方案后,PSR 在8 kHz到1 MHz頻率范圍內(nèi)均有所優(yōu)化.在不同負載電流下,PSR 最大優(yōu)化值為21~37 dB.圖17(b)也驗證了本設(shè)計在不同壓差下保持同樣的優(yōu)化效果.CL-LDO瞬態(tài)響應(yīng)如圖18所示.圖18(a)為負載瞬態(tài)響應(yīng).負載電流上升時間和下降時間均為500 ns,電流變化為0.1~80 mA;最大過沖與下沖電壓分別為200 mV 與245 mV;過沖與下沖回復時間約為3 μs.圖18(b)為線性瞬態(tài)響應(yīng),輸入電壓為2~3.3 V,上升和下降時間均為1 μs.最大過沖電壓為263 mV,恢復時間為1.6 μs;最大下沖電壓為240 mV,恢復時間為1.7 μs.

    圖17 CL-LDO有無PSR Enhancer的PSR測試對比圖(Cload=100 pF)

    圖18 CL-LDO 瞬態(tài)響應(yīng)(Cload=100 pF)圖

    表4 總結(jié)了近年來針對CL-LDO PSR 的優(yōu)化論文.本文方案可實現(xiàn)中頻段的PSR 動態(tài)優(yōu)化.同時,在0.1~80 mA 的寬負載電流范圍內(nèi),保持較低的靜態(tài)電流,因此FOM值較優(yōu).

    表4 CL-LDO主要性能比較表

    5 總結(jié)

    本文采用自適應(yīng)前饋補償電流技術(shù),設(shè)計并實現(xiàn)了一種具有自適應(yīng)優(yōu)化PSR 的小靜態(tài)電流CL-LDO.其中反饋放大器采用低功耗、高穩(wěn)定性的push-pull 放大器,避免了復雜的頻率補償電路與片外大電容,減小了面積.此外,在PSR 優(yōu)化模塊中采用無大電阻的差分對稱結(jié)構(gòu)的電流放大電路,減小直流偏移誤差和面積.而且,在PSR 動態(tài)調(diào)節(jié)模塊中未使用傳統(tǒng)動態(tài)優(yōu)化的功率管拷貝管,而是通過判斷功率管的工作狀態(tài)對MOS補償電容做出動態(tài)調(diào)節(jié),進一步減小了靜態(tài)電流.電路基于0.11 μm CMOS 工藝,芯片面積為0.026 mm2.流片測試結(jié)果表明,當負載電流從0.1 mA 變化到80 mA,最大靜態(tài)電流為55 μA.PSR 在8 kHz~1 MHz 頻率范圍內(nèi)均有所優(yōu)化.在不同壓差和負載電流下,PSR 最大優(yōu)化值為21~37 dB.得益于瞬態(tài)響應(yīng)優(yōu)化模塊,負載瞬態(tài)響應(yīng)恢復時間為3 μs.最終FOM 值為0.21 m,與同類研究相比有一定優(yōu)勢.實測結(jié)果驗證了其性能與可靠性,非常適用于低功耗SoC應(yīng)用.

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