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    聯(lián)動(dòng)薄膜電容式壓力敏感芯片研制

    2022-07-02 02:17:04揣榮巖楊宇新
    儀表技術(shù)與傳感器 2022年5期
    關(guān)鍵詞:電容式極板腔體

    張 冰,揣榮巖,楊宇新,張 賀,李 新

    (沈陽工業(yè)大學(xué)信息科學(xué)與工程學(xué)院,遼寧沈陽 110870)

    0 引言

    隨著信息技術(shù)和物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的快速發(fā)展,對微型傳感器的需求不斷增加[1],相較于壓阻式壓力傳感器,MEMS電容式壓力傳感器具有靈敏度高、功耗低、溫度特性好等優(yōu)勢[2-4],因此在電子、航空航天、生物醫(yī)療等領(lǐng)域得以廣泛應(yīng)用[5-6]。這些領(lǐng)域的待測壓力值通常都比較小,均在一個(gè)大氣壓(101.325 kPa) 以下,要對如此微小的壓力實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確測量,不僅需要保證傳感器具有很高的靈敏度,還對其線性度和線性范圍有著很高的要求。

    MEMS電容式壓力傳感器通常采用平行板電容器結(jié)構(gòu),主要由可動(dòng)極板,固定極板和介質(zhì)層組成,可以工作在非接觸模式和接觸模式下[7-8]。工作在非接觸模式下的電容式壓力傳感器,可動(dòng)極板受力發(fā)生形變使得2個(gè)極板間有效間隙發(fā)生改變,但可動(dòng)極板與固定極板始終保持一定距離,這種非接觸式的電容式壓力傳感器的靈敏度不高,且線性范圍小,具有嚴(yán)重的非線性[9]。而接觸式電容壓力傳感器,在工作范圍內(nèi),允許可動(dòng)極板與固定極板上的絕緣層接觸,通過接觸面積的改變來實(shí)現(xiàn)對壓力的測量,由接觸面積引起電容值的變化要遠(yuǎn)大于由極板間隙對電容值的影響,因此相較于非接觸電容式壓力傳感器,接觸電容式壓力傳感器具有更高的靈敏度和更好的線性[7-10]。但受結(jié)構(gòu)尺寸的影響,接觸電容式傳感器隨加載壓力產(chǎn)生線性形變對應(yīng)的壓力范圍比較小,存在線性度與靈敏度矛盾突出的缺點(diǎn),限制了其應(yīng)用與開發(fā)。

    在接觸式電容壓力敏感結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上,為提高電容式壓力傳感器的性能,研究人員提出了一些新型結(jié)構(gòu),如雙凹槽結(jié)構(gòu)的接觸式壓力傳感結(jié)構(gòu)[11],基于緩沖塊的電容傳感結(jié)構(gòu)[12]和底部電極凸球冠形狀的接觸電容壓力傳感結(jié)構(gòu)[13],但這些結(jié)構(gòu)復(fù)雜,工藝難度大,很難實(shí)現(xiàn)批量化生產(chǎn)。

    為此,針對目前MEMS電容式壓力敏感結(jié)構(gòu)中存在的一些問題,本文對聯(lián)動(dòng)薄膜電容式壓力敏感結(jié)構(gòu)[14](capacitive pressure sensitive structure with linkage film,CPSSLF)進(jìn)行研究和實(shí)驗(yàn)試制,在結(jié)構(gòu)中利用可動(dòng)的下極板來替代接觸電容式壓力敏感結(jié)構(gòu)中不可動(dòng)的下極板,同時(shí)采用帶有殘余壓應(yīng)力的感壓上極板,有效擴(kuò)大線性響應(yīng)范圍并提高線性度,并且通過將7個(gè)壓力敏感結(jié)構(gòu)并聯(lián)的方式,解決壓力傳感器靈敏度和線性度之間的矛盾。

    1 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和理論分析

    1.1 結(jié)構(gòu)和工作原理

    圖1為聯(lián)動(dòng)薄膜電容式壓力敏感結(jié)構(gòu)示意圖,主要由襯底、一對可動(dòng)的電極板、密封腔體、介質(zhì)層和鈍化層構(gòu)成。當(dāng)有壓力作用于上極板時(shí),上極板因受力發(fā)生彎曲形變,隨著壓力的增大,上極板會與下極板上的介質(zhì)層接觸,當(dāng)壓力繼續(xù)增大時(shí),由于下極板也是可動(dòng)的感壓結(jié)構(gòu),極板間的接觸實(shí)現(xiàn)力的傳遞,使得下極板也發(fā)生彎曲形變,并隨著上極板的運(yùn)動(dòng)而運(yùn)動(dòng),從而調(diào)節(jié)上極板的形變狀態(tài),形成聯(lián)動(dòng)的效果,如圖1(b)所示。這種聯(lián)動(dòng)薄膜電容式壓力敏感結(jié)構(gòu)可使電容值的增長速率變得穩(wěn)定,因此可以擴(kuò)大傳感器的線性工作區(qū)域范圍,提高線性度。

    (a)無壓力作用時(shí),CPSSLF示意圖

    由圖1可知,整個(gè)感壓上極板是一個(gè)由3層薄膜復(fù)合而成的多層膜結(jié)構(gòu),其中鈍化層位于上電極的上方,用于對整個(gè)結(jié)構(gòu)進(jìn)行保護(hù),以此來提高傳感芯片的可靠性能;介質(zhì)層位于上電極的下方,以確保在接觸模式下2個(gè)電極板始終絕緣。當(dāng)加工這種多層膜時(shí),由于生長環(huán)境和后處理工藝的影響,導(dǎo)致薄膜中不可避免地會存在殘余應(yīng)力[15],而殘余應(yīng)力不僅會使得薄膜的機(jī)械性能發(fā)生改變,薄膜彎曲程度變化,還會導(dǎo)致壓力敏感結(jié)構(gòu)的輸出存在差異。相較于無應(yīng)力的感壓上極板,當(dāng)感壓上極板中存在壓縮的殘余應(yīng)力時(shí),具有更好的線性響應(yīng),可進(jìn)一步擴(kuò)大線性工作范圍[16]。

    為提高靈敏度,實(shí)際試制的壓力敏感芯片采用圖2中的設(shè)計(jì),為7個(gè)半徑為110 μm的基本單元并聯(lián)在同一塊芯片區(qū)域內(nèi)。

    圖2 聯(lián)動(dòng)薄膜電容式壓力敏感芯片示意圖

    1.2 理論分析

    對于圖1所示的壓力敏感結(jié)構(gòu),總電容(C)由可動(dòng)極板構(gòu)成的腔體電容(Ccavity)、腔體外圍的邊緣電容(Cedge)和寄生電容(Cpara)并聯(lián)而成。寄生電容主要由上下極板邊緣之外分布的電場引起的電容,由于兩平行極板的間距遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于極板直徑,極板間電容值要遠(yuǎn)大于寄生電容值,因此寄生電容可以忽略。則電容滿足下式:

    C=Ccavity+Cedge

    (1)

    根據(jù)高斯數(shù)值積分,可以得到當(dāng)感壓上極板受到壓力作用時(shí),2個(gè)電極之間的電容Ccavity如式(2)所示[14]:

    (2)

    式中:ε0為真空介電常數(shù);εa為真空的相對介電常數(shù);εi為介質(zhì)層的相對介電常數(shù);g1為上腔體高度;t1為介質(zhì)層厚度;w1(r)為位于上極板半徑為r的圓周(0

    由于在極板邊緣存在支撐結(jié)構(gòu),邊緣電容對加載壓力為非敏感電容,在整個(gè)受力過程中始終保持恒定,因此:

    (3)

    式中:A為邊緣極板間覆蓋的有效面積;d為邊緣極板間間距,d=g1+t1。

    (4)

    對于非接觸模式下的感壓上極板,這里采用簡化計(jì)算方法,將三層薄膜的楊氏模量和泊松比等效為一種材料的特性,因此可以得到存在殘余內(nèi)應(yīng)力的上極板中心處的撓度為[16]:

    (5)

    D由式(6)求得:

    (6)

    式中:E為楊氏模量;v為泊松比。

    基于有限元方法對圖1所示的壓力敏感結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析,所使用的材料及結(jié)構(gòu)參數(shù)如表1所示。圖3為-80 MPa預(yù)應(yīng)力和無內(nèi)應(yīng)力的感壓上極板中心處位移與加載壓力的關(guān)系。由圖3可以看出,在相同壓力下,-80 MPa預(yù)應(yīng)力的感壓上極板中心處的位移要大于無內(nèi)應(yīng)力的感壓上極板中心處的位移,說明相較于無內(nèi)應(yīng)力的感壓上極板,存在壓應(yīng)力的感壓上極板會變得更軟,受到相同壓力時(shí)的位移更大,因此可以與下極板更早接觸。由圖3可知,當(dāng)-80 MPa預(yù)應(yīng)力的感壓上極板的位移等于腔體高度(0.6 μm)時(shí),2個(gè)極板開始接觸,此時(shí)對感壓上極板所施加的壓力為10 kPa,即接觸壓力為10 kPa,而無內(nèi)應(yīng)力的感壓上極板的接觸壓力為30 kPa。

    表1 CPSSLF的結(jié)構(gòu)參數(shù) μm

    圖3 CPSSLF的感壓上極板無內(nèi)應(yīng)力和存在預(yù)應(yīng)力時(shí),上極板中心處位移與壓力的關(guān)系

    圖4為CPSSLF的感壓上極板無內(nèi)應(yīng)力和存在-80MPa預(yù)應(yīng)力時(shí),輸出電容與壓力之間的關(guān)系,從圖4可以看出,相較于無內(nèi)應(yīng)力的壓力敏感結(jié)構(gòu),-80MPa預(yù)應(yīng)力的壓力敏感結(jié)構(gòu)的輸出電容會更早進(jìn)入線性,可以提前近20kPa,并且線性區(qū)的壓力范圍沒有減小。雖然,無內(nèi)應(yīng)力的壓力敏感結(jié)構(gòu),通過減小上極板的厚度,也可以實(shí)現(xiàn)上、下2個(gè)極板早接觸,但是,這種方法會使得線性壓力工作范圍大大減小,無法滿足設(shè)計(jì)要求。

    圖4 CPSSLF的感壓上極板無內(nèi)應(yīng)力和存在預(yù)應(yīng)力時(shí),輸出電容與壓力的關(guān)系

    2 工藝設(shè)計(jì)

    所設(shè)計(jì)的聯(lián)動(dòng)薄膜電容式壓力敏感結(jié)構(gòu)采用SOI材料(SOI A和SOI B),并利用干法刻蝕和硅硅直接鍵合技術(shù)相結(jié)合的方法進(jìn)行制備。主要工藝步驟如下:

    (1)在雙面拋光的單晶硅襯底上干法刻蝕形成凹槽,深度為5 μm,并熱氧化一層1 μm厚的SiO2絕緣層,如圖5(a)所示;

    (2)首先對襯底和SOI A 依次進(jìn)行常規(guī)的標(biāo)準(zhǔn)清洗和兆聲清洗以去除有機(jī)物、顆粒等雜質(zhì),然后通過鍵合設(shè)備(EVG 510),在真空條件下(真空度約為7.5×10-4mbar,1 bar=100 kPa)將SOI A頂層硅一側(cè)與襯底硅進(jìn)行預(yù)鍵合,之后在氧氣氛圍下進(jìn)行高溫鍵合(溫度為1 100 ℃,時(shí)間2 h),從而形成封閉真空的下腔體,如圖5(b)所示;

    (3)采用化學(xué)機(jī)械拋光對鍵合片的正面進(jìn)行減薄,至原SOI的襯底硅剩余20 μm,然后通過濕法腐蝕將原SOI A的襯底硅去除干凈,再干法刻蝕出腔體結(jié)構(gòu),如圖5(c)所示;

    (4)對SOI B硅片進(jìn)行熱氧化,在SOI B硅片頂層硅表面形成一層0.3 μm厚的氧化膜來作為絕緣介質(zhì)層,如圖5(d)所示;

    (5)與第一次鍵合工藝相似,在清洗SOI B與鍵合片之后,通過鍵合設(shè)備在真空中將倒置的SOI B 與鍵合片進(jìn)行預(yù)鍵合,然后進(jìn)行高溫鍵合,完成第二次鍵合工藝,實(shí)現(xiàn)上腔體的真空密封,如圖5(e)所示;

    (6)將原SOI B的襯底硅和氧化層去除干凈,僅留下原SOI B的頂層硅薄膜作為上極板,如圖5(f)所示;

    (7)分別刻蝕出上極板和下極板的形狀,如圖5(g)所示;

    (8)利用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積(PECVD)沉積一層500 nm厚的二氧化硅薄膜作為鈍化層,該步驟中沉積溫度為400 ℃,等離子體的射頻功率為350 W,反應(yīng)氣體的氣體流量控制在約60~70 mL/min,然后進(jìn)行退火(條件為1 150 ℃下退火60 min),最終沉積得到所需殘余應(yīng)力的二氧化硅薄膜。再利用光刻技術(shù)對鈍化層進(jìn)行光刻形成引線孔,蒸鋁并光刻形成金屬布線,即可完成芯片制作,如圖5(h)所示。

    圖5 主要工藝步驟

    所試制的壓力敏感芯片樣品如圖6所示,該芯片由7個(gè)如圖1所示的基本單元并聯(lián)構(gòu)成。圖6(a)為封裝后的樣品芯片,圖6(b)為劃片后壓力敏感芯片,尺寸為1.3 mm×1.4 mm,在顯微鏡下可以觀察到光的干涉圖像(即牛頓環(huán)),如圖6(c)所示,表明該樣品在一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下完全密封,并且處于接觸模式。

    (a)芯片封裝

    3 測試

    在室溫條件下,對壓力敏感芯片樣品進(jìn)行測量。測試設(shè)備如圖7所示,主要包括:密封腔、真空泵、數(shù)字壓力控制器和電容測試儀。將封裝好的壓力敏感芯片樣品放置于密封腔內(nèi),電容測試儀(KEITHLEY3330 LCZ METER)與密封腔上的接線柱相連,打開真空泵對腔體緩慢抽氣,通過數(shù)字壓力控制器(CPC 6000)控制腔內(nèi)壓力,將一定大小的壓力加載到壓力敏感芯片的樣品上開始測量。

    圖7 壓力敏感芯片測試試驗(yàn)臺

    量程為80 kPa的壓力敏感芯片測試結(jié)果如圖8所示,當(dāng)壓力從0.01 kPa增加到80 kPa時(shí),電容從13.89 pF增加到20.01 pF。 圖8中輸出電容與壓力的關(guān)系曲線可劃分為4個(gè)區(qū)域(非接觸區(qū)、過渡區(qū)、線性區(qū)和飽和區(qū))。當(dāng)壓力在0~10 kPa之間時(shí),上極板不與下極板發(fā)生接觸,此時(shí)輸出電容存在嚴(yán)重的非線性,芯片處于非接觸區(qū);當(dāng)壓力為10 kPa時(shí),上極板與下極板絕緣接觸,之后便進(jìn)入短暫的過渡區(qū)(10~20 kPa),此區(qū)域是向線性響應(yīng)轉(zhuǎn)變的過程,輸出電容仍為非線性;當(dāng)壓力繼續(xù)增加時(shí),輸出電容開始線性增長,進(jìn)入線性區(qū),但是即使是在線性區(qū),當(dāng)選取的壓力范圍不同時(shí),非線性度也會不同,當(dāng)壓力在20~64 kPa范圍內(nèi)時(shí),電容-壓力曲線接近線性,非線性度為3.1%,靈敏度為0.057 pF/kPa;當(dāng)壓力大于64 kPa時(shí),隨著壓力的繼續(xù)增大,由于2個(gè)極板的接觸面積的增加速率會受到尺寸的限制,電容的增長速率逐漸減緩,非線性度不斷增加,芯片進(jìn)入飽和區(qū)。通過控制壓力源將壓力從0.01 kPa增加到80 kPa,然后又從80 kPa減小到0.01 kPa,以此來測量壓力敏感芯片的遲滯,測量得到的遲滯約為2.6%。

    圖8 測量得到的輸出電容和壓力的關(guān)系

    4 討論

    由圖8可知,壓力敏感芯片的測量初始電容為13.89 pF,高于圖4中仿真的初始電容0.59 pF,這是由于圖4中的電容-壓力曲線是單個(gè)壓力敏感結(jié)構(gòu)的腔體電容與壓力的關(guān)系,而實(shí)際測量的壓力敏感芯片的電容(Cchip)是由7個(gè)腔體電容(Ccavity)和邊緣電容(Cedge)并聯(lián)構(gòu)成,即:

    Cchip=7Ccavity+Cedge

    (7)

    當(dāng)考慮以上因素并結(jié)合感壓上極板中存在的殘余應(yīng)力進(jìn)行仿真分析時(shí),仿真結(jié)果就可以與實(shí)驗(yàn)結(jié)果較好的匹配,如圖9所示,仿真與實(shí)際的滿量程誤差小于3%。

    圖9 有限元仿真得到的電容-壓力特性曲線和測試得到的電容-壓力曲線對比

    5 結(jié)論

    對于本文提出并制作的聯(lián)動(dòng)薄膜電容式壓力敏感芯片,通過采用帶有殘余壓應(yīng)力的感壓上膜片,使得壓力敏感結(jié)構(gòu)具有更大的線性工作范圍和更好的線性輸出。通過將7個(gè)壓力敏感結(jié)構(gòu)并聯(lián)的方式,改善壓力傳感器靈敏度和線性度之間的矛盾,實(shí)現(xiàn)了性能的綜合提升。采用SOI硅片結(jié)合硅硅直接鍵合的技術(shù)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)制作,制作工藝簡單。樣品測試結(jié)果表明,在20~64 kPa 的線性工作區(qū)間下,靈敏度為0.057 pF/kPa,非線性度為3.1%。

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