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    不同等離子清洗在半導(dǎo)體封裝中的應(yīng)用研究

    2020-11-20 02:09:40李媛媛
    裝備維修技術(shù) 2020年9期
    關(guān)鍵詞:等離子

    李媛媛

    摘要:等離子的清洗在半導(dǎo)體封裝中具有重要意義。等離子產(chǎn)生方式各不相同,根據(jù)其產(chǎn)生方式以及清洗方法,將等離子大致分為三類,直流等離子、頻射等離子、以及微波等離子。由于等離子之間存在差異,本文主要對三類等離子產(chǎn)生的原理進(jìn)行分析,進(jìn)而分析不同等離子清洗的清洗效果以及特點(diǎn)。分析不同等離子清洗效果對于半導(dǎo)體封裝的影響,找到最適合的清洗方式。旨在更深入的理解等離子清洗工藝以及等離子清洗在半導(dǎo)體封裝中的應(yīng)用,同時(shí)對于不同封裝選擇何種清洗方式具有借鑒指導(dǎo)意義。

    關(guān)鍵詞:等離子;半導(dǎo)體封裝;清洗工藝

    一、等離子清洗的優(yōu)勢以及在半導(dǎo)體封裝中

    的應(yīng)用

    (一)等離子清洗優(yōu)勢

    等離子清洗最突出的特征就是無論是何種處理材料都能夠進(jìn)行清洗工作。等離子由于具有許多傳統(tǒng)溶劑清洗方式難以相媲美的優(yōu)勢,目前得到了廣泛的應(yīng)用。等離子清洗不需要清洗溶劑,高度環(huán)保;同時(shí)清洗速度快,只需幾秒鐘就可快速改變待清洗對象表面的性質(zhì),效率極高;適應(yīng)面廣泛,不要求處理對象的材料類型,無論是各種金屬還是半導(dǎo)體,以及其他高分子材料,都能夠妥善處理;成本低廉,裝置花費(fèi)比較低,同時(shí)等離子清洗裝置便于操作,新手學(xué)習(xí)、操作起來比較容易,發(fā)生故障時(shí)維修手段也比較便利;控制裝置精確無誤,在嚴(yán)格操作下,可以不對清洗表面產(chǎn)生任何劃傷;可以有效避免二次污染。

    (二)等離子在半導(dǎo)體封裝中的應(yīng)用

    隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,半導(dǎo)體封裝的使用越來越頻繁,而在半導(dǎo)體裝置的制造中,幾乎所有的操作都不能缺少清洗工序。清洗的目的是徹底清除設(shè)備表面上的粒子、有機(jī)和無機(jī)雜質(zhì),以確保產(chǎn)品質(zhì)量。目前等離子清洗技術(shù)由于其突出的優(yōu)勢已經(jīng)被社會(huì)上高度重視并得到了廣泛的認(rèn)可。

    (1)銅引線框架:銅及其他有機(jī)污染物的氧化物會(huì)造成密封模塑和銅引線框架的分離,導(dǎo)致封裝后密封性能變差以及漏氣現(xiàn)象,影響芯片的粘合及引線接合質(zhì)量。在銅引線框的等離子清洗處理之后,可以去除有機(jī)物和氧化物層。同時(shí)活化和粗化表面,確保打線和封裝的可靠性。

    (2)引線鍵合:引線鍵合的質(zhì)量對微電子器件的可靠性有決定性的影響。接合區(qū)域不能存在任何污染物,具有良好的鍵合特性。氧化物和有機(jī)污染物等污染物的存在明顯削弱了引線接合的拉力值。而等離子體清潔可以有效地去除表面污染,增加接合面積的粗糙度,并且可以明顯地改善引線的鍵合張力,并且可以大大提高封裝裝置的可靠性。

    (3)倒裝芯片封裝:芯片和封裝載體板的等離子體處理不僅可以得到超純化的焊接面,而且可以大大提高焊接表面的活性,這可以有效防止虛焊接,減少空洞,減少填料的邊緣高度,提高了封裝的機(jī)械強(qiáng)度。降低因不同材料的熱膨脹系數(shù)而在界面間形成內(nèi)應(yīng)的剪切力,提高產(chǎn)品可靠性和壽命。

    一、 不同等離子清洗原理

    (一)等離子體發(fā)生機(jī)理

    當(dāng)氣體被加以充足的能量便會(huì)離化成為等離子體,例如、電子、原子,光子等。當(dāng)通入直流電流發(fā)生電弧放電,就會(huì)激發(fā)通入的氣體,將其激發(fā)成直流等離子。直流等離子之外的常見的等離子有三種,其中激發(fā)頻率為四十KHZ的的等離子體為超聲等離子體,13.56MHZ的為頻射等離子體,2.45GHZ的等離子體為微波等離子體。頻射等離子是通過施加射頻范圍內(nèi)的交流電壓產(chǎn)生輝光放電,激發(fā)通入的氣體成為等離子體。微波等離子體是通過微波高能電磁場激發(fā)通入的氣體,讓其成為微波等離子體。

    (二)等離子體清洗原理

    由于等離子氣體的組成不同,因此清洗類型不盡相同。等離子體在與清洗對象表面想接觸時(shí),會(huì)發(fā)生不同的反應(yīng),主要分為物理反應(yīng)以及化學(xué)反應(yīng)。物理反應(yīng)清洗原理就是使用活性粒子對待清洗對象表面進(jìn)行轟炸,污染物遭到擊落后被吸走,從而達(dá)到物體表面的清潔效果?;瘜W(xué)反應(yīng)顧名思義就是活性粒子與污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成其他能夠揮發(fā)的物質(zhì),再將這些易揮發(fā)的物質(zhì)吸走。像微波等離子以及直流等離子都是主要采用化學(xué)反應(yīng)的原理來進(jìn)行清洗的。

    而隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,射頻等離子體在清洗過程中則是同時(shí)采用了物理反應(yīng)原理與化學(xué)反應(yīng)原理,兩種清洗互相促進(jìn),達(dá)到更好的清洗效果,減小對清洗對象的傷害。離子轟擊會(huì)削減化學(xué)鍵或者形成離子鍵,使得清洗表面更容易吸收反應(yīng)劑,離子產(chǎn)生的化學(xué)熱也使得化學(xué)反應(yīng)更容易進(jìn)行,清洗效果既具有選擇性又能提高效率,減小損傷。

    如下表1是不同的類型等離子清洗時(shí)對應(yīng)的等離子氣體以及清洗原理。

    二、 不同等離子清洗效果對比

    分別使用直流等離子、頻射等離子以及微波等離子三種類型的等離子設(shè)備對于銅引線框以及芯片進(jìn)行清洗,觀察清洗效果,對比分析。

    (一)清洗前后水滴角對比分析

    在使用不同的等離子體進(jìn)行清洗后,使用水滴角測量儀進(jìn)行測量。水滴角測量儀是目前最常見的等離子清洗效果測定方式。具有測量結(jié)果準(zhǔn)確度高、易于操作、穩(wěn)定性極高的優(yōu)勢。檢測方式就是在清洗后的對象表面滴一定量的液體,從而檢測該液滴在物體表面的接觸角的大小,接觸角越大,說明清洗效果越差。水滴角測量儀在測量不同材質(zhì)的產(chǎn)品時(shí),處理前后水滴角不相同,處理后的角度也并不統(tǒng)一。

    為了提高測試準(zhǔn)確度,避免實(shí)驗(yàn)偶然性,測量清洗后的引線框同一位置,每種類型測試十個(gè),測量結(jié)果如表2所示。

    由表2可以發(fā)現(xiàn),直流等離子清洗后的水滴角最大,微波等離子次之,頻射等離子清洗后水滴角最小。由此可見,頻射等離子的清洗效果最佳,微波等離子次之,直流等離子的清洗效果最差。上文中提出頻射等離子是物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)同時(shí)進(jìn)行,因此清洗效果效率更高,效果更佳,能夠完全去除引線框表面的雜質(zhì)。

    (二)清洗前后芯片焊盤元素的含量對比

    使用電子能譜儀測試清洗前后的物體表面元素含量,進(jìn)而對比分析清洗效果。完成芯片的貼裝以及回流清洗之后,使用不同的離子鍵進(jìn)行清洗,測量微量元素的變化。

    清洗前后,各項(xiàng)元素的含量均有不同程度的減少,說明三種方式清洗效果都比較良好,其中根據(jù)清洗后含量對比分析,頻射等離子的清洗效果最好,也證實(shí)了上文所述,物理反應(yīng)與化學(xué)反應(yīng)共同作用清洗下的效果最優(yōu)。

    (三)清洗前后芯片表面的粗糙程度對比分析

    使用電子顯微鏡進(jìn)行二千倍的放大處理,觀察清洗前后物體表面情況,發(fā)現(xiàn)了經(jīng)過清洗的物體表現(xiàn)變得更加粗糙,而且經(jīng)過射頻等離子清洗的芯片表面會(huì)比直流等離子和微波等離子清洗后的更為粗糙。

    (四)清洗前后芯片聚酰亞胺鈍化層成分對比分析

    在等離子清洗的過程中芯片表面的鈍化層由于受到物理反應(yīng)以及化學(xué)反應(yīng),其聚合分子同樣會(huì)受到影響,對此通過X射線光電子能譜分析鈍化層表面的分子鍵情況進(jìn)行對比分析,檢測對比聚酰亞胺鈍化層的變化狀況。

    結(jié)果發(fā)現(xiàn)直流等離子清洗后的聚酰亞胺表面碳分子鍵比例最大,微波等離子清洗后的聚酰亞胺表面碳分子比例最少。

    三、 不同等離子清洗后封裝工藝對比

    (一)不同等離子清洗后倒裝填料結(jié)果對比

    結(jié)果發(fā)現(xiàn)微波等離子清洗對于降低填充后的氣孔數(shù)、降低氣孔率效果最為顯著。其他方式也能較好的降低氣孔數(shù)以及氣孔率,但是效果弱于微波等離子清洗技術(shù)。

    (二)不同等離子清洗后鍵合拉力對比

    對于鍵合之前的物品進(jìn)行等離子清洗,然后使用20μm .99.99%純度金絲進(jìn)行鍵合,鍵合設(shè)備為K&S Iconn,使用的劈刀為SU-30100 465F-ZU36TP。鍵合結(jié)束后,分別測量第一焊點(diǎn)(金絲與芯片鋁焊盤,鋁焊盤為99. 9%鋁材質(zhì))推拉力和第二焊點(diǎn)(金絲與引線框鍍銀引腳焊接,引腳鍍銀純度為99%,鍍層厚度為4 μm)的拉力。經(jīng)過等離子清洗后,鍵合第一焊點(diǎn)推力和第二焊點(diǎn)拉力都有大幅度提升, 三種不同等離子對芯片鋁焊盤、引線框鍍銀焊盤都有較好的清洗效果,射頻等離子清洗后的第一焊點(diǎn)推力和第二焊點(diǎn)拉力都要好于其他兩種類型的等離子清洗。

    (三)不同等離子清洗后與模塑料結(jié)合對比

    用三種不同的等離子對封裝基板清洗后,直接對清洗后的裸基板進(jìn)行模塑包封,模塑封設(shè)備為TOWA Al,模塑封后進(jìn)行三次回流。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表面,如果基板沒有經(jīng)過等離子清洗在三次回流后會(huì)出現(xiàn)木塑料和基板分離的狀況,而經(jīng)過等離子清洗的基板則可以避免分離問題。

    經(jīng)過MSL3試驗(yàn)后沒有出現(xiàn)分層,但經(jīng)過MSL2a試驗(yàn)后都出現(xiàn)分層,經(jīng)過直流電流等離子清洗后的基板出現(xiàn)分層略少于射頻等離子清洗后的基板。由于射頻等離子清洗對基板表面有機(jī)物層具有更強(qiáng)的清潔和粗化效果,在使用射頻等離子清洗基板時(shí)必須控制好清洗時(shí)間和功率,避免清洗時(shí)造成基板表面過度蝕傷。

    具體的模塑料結(jié)合狀況如下表7所示:

    五、結(jié)論

    本文首先介紹了等離子清洗的優(yōu)勢以及不同等離子清洗在半導(dǎo)體封裝中的廣泛應(yīng)用,進(jìn)而對于等離子清洗的原理以及不同等離子清洗進(jìn)行分析對比,結(jié)果發(fā)現(xiàn)不同的等離子清洗措施效果存在差異。通過清洗前后水滴角對比、芯片焊盤元素的含量對比、以及芯片表面的粗糙程度對比分析得出,射頻等離子的清洗效果均好于直流等離子以及微波等離子。而在對不同等離子封裝工藝進(jìn)行研究時(shí),發(fā)現(xiàn)微波等離子清洗對于降低填充后的氣孔數(shù)、降低氣孔率效果最為顯著;射頻等離子清洗后的第一焊點(diǎn)推力和第二焊點(diǎn)拉力都要好于其他兩種類型的等離子清洗;直流等離子清洗后的材料與模塑料的結(jié)合力最強(qiáng)。

    由此得出,等離子清洗在半導(dǎo)體封裝中廣泛應(yīng)用能夠避免傳統(tǒng)清洗模式的諸多弊端,提高效率,節(jié)能環(huán)保。而不同等離子清洗有著各自的優(yōu)勢,在半導(dǎo)體封裝中也占據(jù)不同的影響,在實(shí)際生產(chǎn)生活中應(yīng)當(dāng)根據(jù)實(shí)際情況對于不同方面的要求,選取最合適的等離子清洗方式,合理進(jìn)行選擇,提高清洗效果。

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