宋天琦
(北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心(北京)有限公司,北京 100163)
在科技飛速發(fā)展的現(xiàn)代社會(huì),尤其是進(jìn)入智能化時(shí)代以來(lái),各類電子類高新技術(shù)產(chǎn)品不斷突破自身的瓶頸,換代更新的周期越來(lái)越短,同時(shí)在質(zhì)量和精度上的標(biāo)準(zhǔn)越來(lái)越細(xì)致入微。各類因素的交織,導(dǎo)致了電子高新產(chǎn)品的廠房工作周期不斷縮短,同時(shí)在施工時(shí)加大了工作人員的工作量,降低了工作效率[1]。在施工時(shí),在工藝上的要求十分高,對(duì)華夫板的各類指標(biāo)的細(xì)化導(dǎo)致整個(gè)工藝流程的難度驟增,在浪費(fèi)人力物力資源的同時(shí)大大增加了生產(chǎn)運(yùn)作的成本?;谶@些問(wèn)題的考量,需要在對(duì)奇氏桶華夫板的施工設(shè)計(jì)時(shí)對(duì)整個(gè)流程的每個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行合理操控[2]。
在當(dāng)代的集成電路生產(chǎn)施工的過(guò)程中,常常對(duì)潔凈廠房有著十分挑剔的標(biāo)準(zhǔn)。尤其對(duì)潔凈室中的環(huán)境有著更為細(xì)致的標(biāo)準(zhǔn)和要求,需要維持潔凈室中的大范圍生產(chǎn)的有序和整潔,對(duì)空氣質(zhì)量和整體環(huán)境的整潔程度進(jìn)行評(píng)估和整改。為了保持空氣質(zhì)量的良好,需要在通風(fēng)方面做好系統(tǒng)化的工作[3]。首先,在潔凈室空調(diào)系統(tǒng)等設(shè)施上需要進(jìn)行規(guī)范的通風(fēng)操作,構(gòu)建一個(gè)潔凈的通風(fēng)系統(tǒng)。另外,還需要注意對(duì)回風(fēng)通道的營(yíng)造??梢栽诿恳粋€(gè)潔凈室的樓板之間設(shè)置數(shù)量龐大、方向明確一致的孔洞,讓風(fēng)自由順暢地通行,并保持每個(gè)部位的風(fēng)穿行時(shí)步調(diào)一致。所謂華夫板,便是在這些用來(lái)營(yíng)造回風(fēng)通道保持空氣潔凈度的規(guī)則孔洞四周和附近的樓板內(nèi)的結(jié)構(gòu)。華夫板的施工材料通常為鋼筋混凝土,厚度較大,可達(dá)到0.6 米至0.8 米。而所謂的奇氏桶,則是屬于華夫板的留孔模具的一種材質(zhì)。除了奇氏桶以外,還有環(huán)氧玻璃鋼和玻璃纖維高分子等等,奇氏桶屬于鍍鋅的鋼板。在潔凈的廠房中有著十分嚴(yán)苛的標(biāo)準(zhǔn),除了需要對(duì)工作周期有著明確的規(guī)定外,對(duì)整個(gè)過(guò)程的成本耗費(fèi)和工程施工的復(fù)雜程度有著諸多精細(xì)化的要求。而為了滿足這一系列的規(guī)范和要求,通常在對(duì)華夫板進(jìn)行材質(zhì)選擇時(shí),優(yōu)先考慮奇氏桶。由于各類華夫板常常使用奇氏桶進(jìn)行留孔模具的選擇,所以又被叫做奇氏樓板。這一樓板結(jié)構(gòu)在整個(gè)樓板的結(jié)構(gòu)、標(biāo)高以及觀者的感受等方面有著較為細(xì)致和復(fù)雜的標(biāo)準(zhǔn)。
為了在實(shí)際工作的過(guò)程中更加高效地進(jìn)行潔凈車間空氣質(zhì)量的改善,需要在華夫板的設(shè)計(jì)和工作時(shí)有所講究。這項(xiàng)生產(chǎn)工藝較為復(fù)雜,對(duì)車間進(jìn)行生產(chǎn)的要求較高,通常需要進(jìn)行各類通風(fēng)操作,利用華夫板進(jìn)行回風(fēng)通道的營(yíng)造[4]。
首先,由于生產(chǎn)工藝較為復(fù)雜和精細(xì),對(duì)生產(chǎn)車間的要求也十分高,在各類潔凈的生產(chǎn)車間中,需要具有大范圍的無(wú)阻礙地帶,面積占地要盡可能地大,在平面內(nèi)可施工的范圍要盡可能地寬泛。在對(duì)華夫板的要求上,通常更為強(qiáng)調(diào)華夫板的形狀和尺寸,一般為正圓柱,長(zhǎng)和寬的標(biāo)準(zhǔn)通常要比伸縮縫的預(yù)先設(shè)定值大,規(guī)避各類違規(guī)的伸縮縫狀態(tài)。除此以外,對(duì)孔洞的要求也十分苛刻,為了提高這一系統(tǒng)的回風(fēng)效果,提高空氣的潔凈度,需要關(guān)注樓蓋上的孔洞數(shù)量,盡可能多地安排孔洞。在樓蓋上的孔洞除了要求數(shù)量龐大以外,還需要具備較高的整潔度,讓這個(gè)清潔車間的空氣流通更為勻和與協(xié)調(diào)。當(dāng)空氣流通和回風(fēng)發(fā)生不均勻的現(xiàn)象時(shí),很容易導(dǎo)致局部的空氣不流通產(chǎn)生的空氣質(zhì)量銳減,進(jìn)而導(dǎo)致全局空氣接觸的過(guò)程中質(zhì)量的整體下降,間接影響產(chǎn)品的良率。最后,還需要注意整個(gè)系統(tǒng)和空間的平整度。生產(chǎn)的整潔車間在各方面的平整度都要求較為嚴(yán)苛,相關(guān)機(jī)臺(tái)設(shè)備的質(zhì)量通常需要達(dá)到一定的高度,使其盡可能地符合防震的標(biāo)準(zhǔn)。除對(duì)生產(chǎn)設(shè)備的質(zhì)量要求之外,還要注重其密度和精度等維度的考究。在設(shè)備運(yùn)營(yíng)過(guò)程中,為了減少相關(guān)裝置的震動(dòng)和損傷,需要對(duì)各類設(shè)備的平整度進(jìn)行仔細(xì)把關(guān),減輕可能發(fā)生的地震等意外對(duì)產(chǎn)品的不良影響,尤其是在成品率降低方面。因此,產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程的每個(gè)結(jié)構(gòu)的面都應(yīng)盡可能地保持更高的平整度。
2.1.1 施工技術(shù)方面的注意點(diǎn)
奇氏桶華夫板技術(shù)施工的主要目的在于,保障生產(chǎn)車間的回風(fēng)效果和空氣質(zhì)量,進(jìn)而保障整個(gè)生產(chǎn)系統(tǒng)的正常運(yùn)作。這項(xiàng)施工技術(shù)在真正實(shí)施時(shí),在各種測(cè)量和計(jì)算過(guò)程中要求十分苛刻和精細(xì)化,不會(huì)僅僅通過(guò)一次計(jì)算測(cè)量便草率得出結(jié)果,往往需要多次確定和驗(yàn)證。
除了計(jì)算測(cè)量之外,在相關(guān)技術(shù)流程正常運(yùn)作的過(guò)程中,還會(huì)利用各種創(chuàng)新和潮流的方式方法,使得工作效率大大提高,讓這個(gè)系統(tǒng)施工的質(zhì)量和精度大大提升。多道收面工序便是創(chuàng)新舉措的典型代表,該工序讓奇氏桶華夫板的整個(gè)施工流程更為有序和高效,最終大大提高施工的精度。阻礙提高施工技術(shù)質(zhì)量的另一大障礙是混凝土的施工工作,它們通常會(huì)對(duì)奇氏桶的正常運(yùn)作產(chǎn)生不同程度的干擾,需要通過(guò)相關(guān)技術(shù)的應(yīng)用,最大限度地減少這種干擾對(duì)整個(gè)系統(tǒng)的潛在影響,最終提高這項(xiàng)工藝的質(zhì)量和精度。
2.1.2 施工工程的基本工作原理以及所利用的領(lǐng)域
這項(xiàng)復(fù)雜而嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓に嚵鞒叹邆渲审w系的工作原理,指導(dǎo)著各項(xiàng)工作的有序開(kāi)展。而奇氏桶華夫板的具體工作原理相對(duì)簡(jiǎn)易,是將一定規(guī)模和數(shù)量的奇氏桶放到孔洞的側(cè)邊當(dāng)成一種側(cè)模,然后批量將奇氏桶安置到鋼筋混凝土的結(jié)構(gòu)板里。在進(jìn)行具體施工的過(guò)程中,需要對(duì)各個(gè)裝置和部件的位置進(jìn)行嚴(yán)格和精確的考量,同時(shí)對(duì)各個(gè)設(shè)施的平整度進(jìn)行專業(yè)把關(guān)。在所有工作圓滿完成以后,不必將奇氏桶拆下,奇氏桶周圍的眾多的孔洞可以讓這個(gè)空間的空氣整潔度保持一個(gè)較為良好的狀態(tài),而孔洞所構(gòu)成的結(jié)構(gòu)板可以進(jìn)一步強(qiáng)化這一功效。這一施工的工藝流程適用范圍較為廣泛,通常在具有較高厚度的樓板中應(yīng)用較多,同時(shí)注重清潔度和平整度,對(duì)這兩方面要求高的樓板也常常使用這一工藝。
2.2.1 奇氏桶華夫板的基本工藝流程
在這項(xiàng)工藝流程中,首先進(jìn)行的是施工前的各項(xiàng)準(zhǔn)備工作,當(dāng)所有準(zhǔn)備都已妥當(dāng)后,隨即進(jìn)入安裝模板的過(guò)程,安裝完畢后將奇氏桶依據(jù)預(yù)定的位置正確規(guī)范安置并將其底盤充分固定。當(dāng)這些工作完成后,便進(jìn)入了這項(xiàng)工藝的核心階段。首先是對(duì)暗梁的鋼筋等進(jìn)行規(guī)范的捆扎,隨后讓專業(yè)人員進(jìn)行奇氏桶的底座和筒體的正確安裝,安裝完畢后再對(duì)鋼筋混凝土進(jìn)行處理,通常要通過(guò)規(guī)范的操作將其充分搗碎并收光,最后拆除各類相關(guān)裝置。
2.2.2 華夫板施工時(shí)的重難點(diǎn)及相應(yīng)的對(duì)策
在進(jìn)行奇氏桶與華夫板的操作過(guò)程中,存在著諸多的技術(shù)要領(lǐng)和問(wèn)題。下面將對(duì)這項(xiàng)工藝流程的重難點(diǎn)進(jìn)行羅列,并逐一進(jìn)行剖析,提出相應(yīng)的應(yīng)對(duì)策略。
首先,華夫板存在著面積和體量較大的問(wèn)題,致使工作人員的工作量相當(dāng)大,但常常由于工作時(shí)周期較短,完工時(shí)間的急迫致使工作人員的工作成果較為拙劣,工作效率低下。針對(duì)這一問(wèn)題,需要相關(guān)管理層充分做好全局的統(tǒng)籌,合理分配工作,同時(shí)增多工作人數(shù),提高工作的效率和精度。
在對(duì)模板進(jìn)行定位的過(guò)程中,難度系數(shù)較大,需要更為專業(yè)的技術(shù)人才和更為精細(xì)化的操作。尤其是奇氏桶的定位,往往相比于其他設(shè)備而言,要更加地困難和復(fù)雜,對(duì)精度和質(zhì)量的要求更高。針對(duì)這一狀況,需要保障各個(gè)設(shè)備的平整度,讓所有孔洞和華夫板相互協(xié)調(diào),盡可能地有序排列,同時(shí)需要保障華夫板的位置不動(dòng)搖,不可讓混凝土的擠壓對(duì)其產(chǎn)生干擾。
在整個(gè)奇氏桶華夫板工藝流程中,運(yùn)用的各類材料較多,難以及時(shí)地對(duì)各類材料進(jìn)行統(tǒng)籌規(guī)劃和組織。針對(duì)這一現(xiàn)象,應(yīng)注意對(duì)市場(chǎng)情況進(jìn)行預(yù)先的了解和分析,對(duì)工藝流程中的各階段材料運(yùn)用的種類和數(shù)量進(jìn)行提前預(yù)判和統(tǒng)計(jì),在模板的設(shè)計(jì)和體系的深化上更多地研究和探討,并對(duì)整個(gè)工藝流程的框架和細(xì)節(jié)進(jìn)行全局的統(tǒng)籌和管理。在材料的發(fā)放和組織時(shí),可以讓不同種類和數(shù)量的材料進(jìn)行分批入廠的操作。在選擇供貨商時(shí),最好選擇信譽(yù)較強(qiáng)并可以及時(shí)供貨的、口碑較好的供貨商。
在整個(gè)工藝流程中的每個(gè)階段,對(duì)各類設(shè)施的平整度的標(biāo)準(zhǔn)極為苛刻??量痰钠秸纫笫沟酶黝惌h(huán)節(jié)必須時(shí)刻注意施工過(guò)程中對(duì)平整度的把控。針對(duì)這一現(xiàn)象,需要對(duì)工藝流程的每一個(gè)環(huán)節(jié)的工作盡可能地做到精確和到位,嚴(yán)格管控各類設(shè)施在操作過(guò)程中的長(zhǎng)度、高度、厚度等,同時(shí)注意在混凝土澆筑時(shí)嚴(yán)格控制標(biāo)高并對(duì)收光過(guò)程嚴(yán)格把關(guān)。在測(cè)量過(guò)程中,要注意對(duì)每個(gè)階段的測(cè)量進(jìn)行多次試驗(yàn)和嚴(yán)格校對(duì),在控制點(diǎn)處進(jìn)行加密測(cè)量,在進(jìn)行儀器的選擇時(shí),應(yīng)著重考慮精度較高的儀器進(jìn)行相關(guān)測(cè)量工作。
在奇氏桶的結(jié)構(gòu)中,底盤和底座是一一對(duì)應(yīng)的,在進(jìn)行底座的安裝過(guò)程中,不需要其他多余的操作,只要直接將底座安置在底盤處即可[5]。筒體安裝過(guò)程在底盤底座之后,通常需要首先對(duì)底盤的整體狀況進(jìn)行仔細(xì)的核查。當(dāng)檢查過(guò)程中發(fā)現(xiàn)有任何松動(dòng)或者其他的異常情況,應(yīng)依據(jù)出現(xiàn)的問(wèn)題進(jìn)行及時(shí)和針對(duì)性的處理。在安裝奇氏桶的過(guò)程中,一定要注意在安裝完畢后將旁邊的螺桿固定好。當(dāng)所有的螺桿處理完畢后,還需要進(jìn)行進(jìn)一步的深入檢測(cè),當(dāng)出現(xiàn)異常現(xiàn)象時(shí),需要對(duì)螺桿進(jìn)行二次固定操作。在進(jìn)行這項(xiàng)工藝流程時(shí),常常會(huì)出現(xiàn)筒體位移偏轉(zhuǎn)的問(wèn)題。針對(duì)這一問(wèn)題,需要在梁鋼筋上進(jìn)行方鋼管的固定工作。
為了防范在這一過(guò)程中混凝土出現(xiàn)結(jié)構(gòu)異常的現(xiàn)象,通常需要在華夫板上進(jìn)行施工縫的安置,但不必安放后澆帶。在這一過(guò)程中,要注意防范澆搗不均勻的現(xiàn)象,在對(duì)較厚的華夫板進(jìn)行操作時(shí),需要對(duì)混凝土進(jìn)行分層澆搗。在澆筑混凝土過(guò)程中,奇氏桶的所在平面需要稍稍低于混凝土的平面[6]。在混凝土被澆搗完畢后,不可直接進(jìn)行下一次的澆筑,而要進(jìn)行短暫的安置。
除此以外,還需注意在澆搗工作完成后,進(jìn)行人工的找平,找到合適的平整度。在對(duì)混凝土進(jìn)行磨壓的過(guò)程中,應(yīng)多次進(jìn)行,進(jìn)而提高混凝土的平整度,減小損耗。打磨工作完畢以后,需要利用專門的機(jī)器對(duì)其表面進(jìn)行反復(fù)的打磨和擠壓。除了澆搗和打磨以外,還需要利用專業(yè)的操作對(duì)混凝土進(jìn)行收光操作。收光時(shí),需防范抹印的產(chǎn)生,提高表面的潔凈程度。
在最后的拆除階段,需要嚴(yán)格把控拆除的時(shí)機(jī),不可過(guò)早地進(jìn)行相關(guān)裝置的拆除,最好將拆除工作放在澆筑半天以后完成。在進(jìn)行相關(guān)裝置的拆除時(shí),不可直接進(jìn)行拆除操作,而是有一定的技術(shù)講究。首先要讓混凝土慢慢松動(dòng),防止混凝土的結(jié)構(gòu)異變對(duì)這個(gè)系統(tǒng)產(chǎn)生不良影響。在拆除工作完畢后,還需要打磨混凝土的毛邊,讓混凝土的平整度和清潔程度更高,達(dá)到工藝流程中預(yù)定的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。為了達(dá)成這一標(biāo)準(zhǔn),還需在打磨完畢后進(jìn)行規(guī)范的找平和收光的操作。
在高新電子技術(shù)的生產(chǎn)制造過(guò)程中,奇氏桶華夫板在整個(gè)體系中起到無(wú)可替代的作用。華夫板作為營(yíng)造回風(fēng)通道保持空氣潔凈度的規(guī)則孔洞四周和附近的樓板內(nèi)的結(jié)構(gòu),在進(jìn)行相關(guān)的工藝流程時(shí)有著諸多的要求,工藝流程較為復(fù)雜,對(duì)潔凈程度和平整度要求極為嚴(yán)苛。操作時(shí),常需要進(jìn)行各類通風(fēng)操作,利用華夫板進(jìn)行回風(fēng)通道的營(yíng)造。
本文著重對(duì)奇氏桶華夫板的整個(gè)工藝流程進(jìn)行闡述,隨后依據(jù)整個(gè)工藝流程的步驟對(duì)操作過(guò)程中的重難點(diǎn)進(jìn)行羅列和剖析,并提出相應(yīng)的對(duì)策。最后又補(bǔ)充了工藝流程中最后幾個(gè)步驟中的注意事項(xiàng)和操作時(shí)的細(xì)節(jié)問(wèn)題,為相關(guān)工作人員提供一定的技術(shù)和操作參考,以提高工作效率,獲得精度和質(zhì)量更為優(yōu)越的工作成果。