國家精密實(shí)驗(yàn)室建設(shè)振動(dòng)控制專項(xiàng)管理研究

鈕于藍(lán)，楊立星，葉宇康

（之江實(shí)驗(yàn)室，浙江 杭州 311100）

國家精密實(shí)驗(yàn)室是科技創(chuàng)新體系的重要組成部分，是孕育重大原始創(chuàng)新，推動(dòng)學(xué)科發(fā)展的重要科技力量，是開展核心技術(shù)攻關(guān)和重大前沿基礎(chǔ)研究的重要基地，對(duì)解決國家和區(qū)域重大戰(zhàn)略需求具有十分重要的作用［1-2］。國家一批精密實(shí)驗(yàn)室陸續(xù)開工建設(shè)，如之江實(shí)驗(yàn)室、松山湖科學(xué)城、鵬城實(shí)驗(yàn)室、深圳灣實(shí)驗(yàn)室等。精密實(shí)驗(yàn)室內(nèi)部通常具有大量的精密儀器設(shè)備，該類設(shè)備對(duì)環(huán)境振動(dòng)十分敏感，但隨著我國城市化進(jìn)程和公共交通建設(shè)的高速發(fā)展以及城市用地資源的制約，新建建筑結(jié)構(gòu)、研究機(jī)構(gòu)、實(shí)驗(yàn)室等不可避免地遭遇地鐵、高鐵及路面交通等區(qū)域環(huán)境振動(dòng)的影響，這將在一定程度上降低建筑結(jié)構(gòu)內(nèi)部人員的舒適性、精密儀器的使用性能，甚至可能導(dǎo)致精密設(shè)備無法投入使用［3-5］。因此，在精密實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)過程中，環(huán)境振動(dòng)控制保障工作尤為重要。

之江實(shí)驗(yàn)室（圖1）作為浙江省委、省政府貫徹落實(shí)習(xí)近平總書記科技創(chuàng)新思想，深入實(shí)施創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略的重大科技創(chuàng)新平臺(tái)，肩負(fù)了建設(shè)創(chuàng)新型國家、世界科技強(qiáng)國進(jìn)程中的責(zé)任與擔(dān)當(dāng)。園區(qū)規(guī)劃總面積90.53 hm2（1 358畝），總建筑面積約120萬m2，項(xiàng)目分三期工程，其中一期工程40.87 hm2（613畝），總建筑面積約61.4萬m2，重點(diǎn)建設(shè)一批基礎(chǔ)前沿研究機(jī)構(gòu)、多學(xué)科交叉創(chuàng)新研究機(jī)構(gòu)，組建創(chuàng)新性的應(yīng)用大平臺(tái)和共性的大科學(xué)裝置、核心裝備及配套設(shè)施，包括人工智能研究院、智能機(jī)器人研究中心、網(wǎng)絡(luò)安全攻防試驗(yàn)場(chǎng)、大數(shù)據(jù)中心等。為保證之江實(shí)驗(yàn)室建成后，實(shí)驗(yàn)室內(nèi)部的精密儀器設(shè)備能夠正常投入使用，針對(duì)振動(dòng)控制方面，實(shí)驗(yàn)室建設(shè)人員采取了大量有效的管理措施。

圖1 之江實(shí)驗(yàn)室園區(qū)總體規(guī)劃效果及現(xiàn)場(chǎng)施工

振動(dòng)控制專項(xiàng)管理工作是一項(xiàng)專業(yè)性強(qiáng)，涉及多專業(yè)交叉學(xué)科的專業(yè)管理工作，且該工作貫穿于項(xiàng)目建設(shè)規(guī)劃、設(shè)計(jì)、施工、驗(yàn)收全過程（圖2）。本文圍繞實(shí)驗(yàn)室總體規(guī)劃、設(shè)計(jì)、施工等過程，闡述了之江實(shí)驗(yàn)室項(xiàng)目建設(shè)過程中振動(dòng)控制專項(xiàng)的建設(shè)及管理措施，可為國內(nèi)同類實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)提供經(jīng)驗(yàn)和參考。

圖2 實(shí)驗(yàn)室建設(shè)振動(dòng)控制專項(xiàng)管理流程

1 實(shí)驗(yàn)室振動(dòng)控制專項(xiàng)規(guī)劃管理

實(shí)驗(yàn)室建設(shè)作為一項(xiàng)科學(xué)含量高、專業(yè)性強(qiáng)的系統(tǒng)工程，前期的規(guī)劃設(shè)計(jì)足以影響實(shí)驗(yàn)室建設(shè)及管理工作的效率及質(zhì)量［6］。因此，在進(jìn)行精密實(shí)驗(yàn)室的規(guī)劃設(shè)計(jì)之前，需要對(duì)實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目以及實(shí)驗(yàn)室的建造目的有詳盡而充足的了解，同時(shí)將這些需求融入到設(shè)計(jì)中，確保大型實(shí)驗(yàn)室建造的有效性，并給精密儀器提供一個(gè)相對(duì)安靜的振動(dòng)環(huán)境，為實(shí)驗(yàn)室的成功建設(shè)打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

1.1 實(shí)驗(yàn)室周邊環(huán)境振源調(diào)查

精密儀器的測(cè)量和控制不僅與儀器本身的精度有關(guān)，還與周圍的環(huán)境振動(dòng)有關(guān)，且環(huán)境振動(dòng)是決定精密儀器測(cè)量和控制精度的關(guān)鍵因素。因此，在項(xiàng)目建設(shè)規(guī)劃時(shí)，首先必須對(duì)實(shí)驗(yàn)室周邊的相關(guān)振源進(jìn)行詳細(xì)了解，并充分考慮可能對(duì)精密儀器有較大振動(dòng)影響的系列振源。除對(duì)現(xiàn)有環(huán)境振動(dòng)情況進(jìn)行調(diào)查外，還需考慮未來規(guī)劃建設(shè)對(duì)環(huán)境振動(dòng)情況的影響，確保實(shí)驗(yàn)室在未來若干年后仍能正常使用。

之江實(shí)驗(yàn)室項(xiàng)目位于杭州市余杭區(qū)中泰街道和余杭街道，南苕溪以南，南湖以西，S102省道以北。在之江實(shí)驗(yàn)室選址規(guī)劃時(shí)期，對(duì)周邊現(xiàn)有和未來環(huán)境振源情況進(jìn)行了深入的調(diào)研，現(xiàn)階段實(shí)驗(yàn)室的南側(cè)有S102省道、G56杭瑞高速公路和杭州地鐵16號(hào)線，北側(cè)有科技大道（圖3），未來在實(shí)驗(yàn)室北側(cè)規(guī)劃有高鐵線路。因此，公路交通和軌道交通作為主要振源在現(xiàn)階段或未來將可能會(huì)對(duì)之江實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)生不容忽視的振動(dòng)影響，從而在項(xiàng)目規(guī)劃階段應(yīng)對(duì)其進(jìn)行詳細(xì)的調(diào)查研究。

圖3 之江實(shí)驗(yàn)室園區(qū)總體規(guī)劃

1.2 實(shí)驗(yàn)室周邊環(huán)境振動(dòng)測(cè)試及評(píng)估

實(shí)驗(yàn)室在進(jìn)行振源調(diào)查后，應(yīng)安排專業(yè)的隊(duì)伍對(duì)各種振源進(jìn)行振動(dòng)測(cè)試并對(duì)其可能產(chǎn)生的振動(dòng)影響進(jìn)行評(píng)估分析。之江實(shí)驗(yàn)室在項(xiàng)目規(guī)劃階段對(duì)實(shí)驗(yàn)室周邊現(xiàn)有的振動(dòng)環(huán)境進(jìn)行測(cè)試，而對(duì)于未來規(guī)劃的高鐵，也采取了類比測(cè)試的方式評(píng)估其對(duì)實(shí)驗(yàn)室可能的振動(dòng)影響。

1.2.1 之江實(shí)驗(yàn)室周邊路面交通振動(dòng)影響評(píng)估

在之江實(shí)驗(yàn)室擬建場(chǎng)地中心選取4個(gè)測(cè)點(diǎn)進(jìn)行振動(dòng)測(cè)試，每個(gè)測(cè)點(diǎn)測(cè)試垂直、南北和東西三個(gè)方向的振動(dòng)大小。并在場(chǎng)地周邊開展了無車、小型車（時(shí)速約10 km/h）、中型車（時(shí)速約20 km/h）和大型車（時(shí)速約30 km/h）跑車試驗(yàn)，評(píng)估未來實(shí)驗(yàn)室建成后，實(shí)驗(yàn)室內(nèi)部、外部車輛可能對(duì)實(shí)驗(yàn)室造成的振動(dòng)影響。

1.2.2 之江實(shí)驗(yàn)室高鐵振動(dòng)影響評(píng)估

在浙江省杭州市余杭區(qū)馮家塘進(jìn)行高鐵類比振動(dòng)測(cè)試。測(cè)點(diǎn)沿著垂直于高鐵運(yùn)行方向布置，共布置了6個(gè)測(cè)點(diǎn)，測(cè)量高鐵經(jīng)過時(shí)場(chǎng)地振動(dòng)的衰減情況，并評(píng)估高鐵運(yùn)行對(duì)之江實(shí)驗(yàn)室的振動(dòng)影響。

1.3 與實(shí)驗(yàn)室使用方溝通精密儀器振動(dòng)需求

與普通的建筑建設(shè)管理相比，精密實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)管理更為復(fù)雜，需要考慮的因素更多。在項(xiàng)目建議書、可行性研究規(guī)劃階段，需要初步明確實(shí)驗(yàn)室的選址條件、功能定位、建設(shè)內(nèi)容、工藝設(shè)備方案等，其中，環(huán)境振動(dòng)對(duì)實(shí)驗(yàn)室的影響評(píng)估是不可缺少的內(nèi)容。因而在精密實(shí)驗(yàn)室規(guī)劃時(shí)，需要明確了解各個(gè)實(shí)驗(yàn)室的振動(dòng)需求。雖然實(shí)驗(yàn)室部分精密設(shè)備有明確的振動(dòng)需求，但也有很大一部分是實(shí)驗(yàn)室自研設(shè)備，受專業(yè)知識(shí)所限，無法提出明確的振動(dòng)需求，需專業(yè)的振動(dòng)控制團(tuán)隊(duì)提前介入，與實(shí)驗(yàn)室的使用方反復(fù)溝通，并根據(jù)實(shí)驗(yàn)室的使用習(xí)慣和需要達(dá)到的效果，由振動(dòng)控制團(tuán)隊(duì)為其提出真實(shí)有效的振動(dòng)需求。此外，在實(shí)驗(yàn)室的規(guī)劃之初，很多進(jìn)駐實(shí)驗(yàn)室并沒有最終確定，此時(shí)，為了確保后期建成的實(shí)驗(yàn)室可用，需要根據(jù)其實(shí)驗(yàn)室的定位，對(duì)相應(yīng)的振動(dòng)需求進(jìn)行預(yù)判，以便為后續(xù)實(shí)驗(yàn)室的規(guī)劃和設(shè)計(jì)提出可靠的振動(dòng)控制指標(biāo)。

1.4 方案規(guī)劃單位確定及管理辦法

在確定規(guī)劃單位時(shí)，應(yīng)和規(guī)劃單位詳細(xì)溝通精密儀器設(shè)備的振動(dòng)控制需求，確保規(guī)劃單位在進(jìn)行實(shí)驗(yàn)室規(guī)劃設(shè)計(jì)時(shí)，能夠充分考慮擬建場(chǎng)地周邊的交通、人流等振源情況，便于在項(xiàng)目建設(shè)規(guī)劃時(shí)期對(duì)未來可能會(huì)對(duì)實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)生振動(dòng)影響的振源進(jìn)行規(guī)避，或?qū)ο鄳?yīng)的設(shè)施進(jìn)行減隔振處理，使規(guī)劃設(shè)計(jì)方案更加合理、經(jīng)濟(jì)。

2 實(shí)驗(yàn)室振動(dòng)控制專項(xiàng)設(shè)計(jì)管理

2.1 進(jìn)一步與實(shí)驗(yàn)室使用方溝通精密儀器振動(dòng)需求

在實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)階段，儀器設(shè)備選型及實(shí)驗(yàn)室其他專業(yè)方案均已明確。通過和實(shí)驗(yàn)室的使用方進(jìn)一步溝通儀器設(shè)備的振動(dòng)需求，明確儀器設(shè)備的振動(dòng)環(huán)境保障條件。在設(shè)計(jì)階段，除了在規(guī)劃階段考慮的周邊交通對(duì)精密儀器的振動(dòng)影響外，來自于實(shí)驗(yàn)室內(nèi)部和外部的配套動(dòng)力設(shè)備振動(dòng)影響也不容忽視。因此，在設(shè)計(jì)時(shí)需進(jìn)行專項(xiàng)的振動(dòng)控制設(shè)計(jì)，在考慮振動(dòng)控制因素的基礎(chǔ)上，對(duì)實(shí)驗(yàn)室工藝、建筑、動(dòng)力、暖通、給排水專業(yè)等進(jìn)行統(tǒng)籌設(shè)計(jì)，以保證實(shí)驗(yàn)室后期的振動(dòng)環(huán)境能滿足精密儀器設(shè)備運(yùn)行需要。

另外，由于不同的精密儀器設(shè)備廠家會(huì)提供不同安裝條件要求的振動(dòng)允許值（或防振指標(biāo)），故有必要和設(shè)備廠家詳細(xì)溝通精密儀器設(shè)備的振動(dòng)需求。同時(shí)，精密儀器設(shè)備廠家對(duì)其產(chǎn)品都會(huì)有成熟豐富的振動(dòng)控制技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，在振動(dòng)控制專項(xiàng)設(shè)計(jì)工作中也可借鑒。

2.2 設(shè)計(jì)單位確定及管理辦法

在確定實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)單位時(shí)，應(yīng)將振動(dòng)控制設(shè)計(jì)作為專項(xiàng)設(shè)計(jì)委托給具備相應(yīng)資質(zhì)和能力的振動(dòng)控制設(shè)計(jì)單位，也應(yīng)要求該設(shè)計(jì)單位具備為同類精密實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行振動(dòng)控制設(shè)計(jì)的經(jīng)驗(yàn)。確定好設(shè)計(jì)單位后，應(yīng)與設(shè)計(jì)單位明確精密儀器設(shè)備的振動(dòng)條件和要求，確保設(shè)計(jì)單位能夠準(zhǔn)確掌握儀器設(shè)備振動(dòng)控制需求，從而精準(zhǔn)高效地開展振動(dòng)控制專項(xiàng)設(shè)計(jì)工作。

2.3 精密儀器設(shè)備減隔振方式

精密實(shí)驗(yàn)室建設(shè)過程中，采取何種振動(dòng)控制設(shè)計(jì)方案，需要綜合考慮儀器設(shè)備振動(dòng)需求、場(chǎng)地振動(dòng)環(huán)境、工藝方案布局、綜合經(jīng)濟(jì)效益等因素。對(duì)此，建設(shè)單位需加強(qiáng)管理，避免過度設(shè)計(jì)造成的資金浪費(fèi)，以及考慮不周造成的二次改造。

之江實(shí)驗(yàn)室一期工程6＃樓地下1層的大科學(xué)裝置精密實(shí)驗(yàn)室具有大小不一約60個(gè)精密設(shè)備實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，對(duì)環(huán)境振動(dòng)的要求非常嚴(yán)格，部分實(shí)驗(yàn)平臺(tái)需達(dá)到VC-E水平。根據(jù)項(xiàng)目前期的場(chǎng)地振動(dòng)測(cè)試結(jié)果，并在大量的對(duì)比分析和經(jīng)濟(jì)性考慮基礎(chǔ)上，實(shí)驗(yàn)室建設(shè)方組織了專家咨詢會(huì)，最終對(duì)振動(dòng)要求較高的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)采用主動(dòng)控制裝置，其中包括混凝土主動(dòng)控制裝置平臺(tái)（圖4）和鋼結(jié)構(gòu)主動(dòng)控制裝置平臺(tái)（圖5），主動(dòng)控制裝置平臺(tái)規(guī)格參數(shù)見表1。

圖4 混凝土主動(dòng)隔振裝置平臺(tái)

圖5 鋼結(jié)構(gòu)主動(dòng)隔振裝置平臺(tái)

表1 主動(dòng)控制裝置平臺(tái)規(guī)格參數(shù)

6＃樓精密實(shí)驗(yàn)室2層設(shè)計(jì)了空調(diào)機(jī)房，內(nèi)部布置了27套動(dòng)力設(shè)備——空調(diào)機(jī)組，空調(diào)機(jī)組及其附屬管道產(chǎn)生的振動(dòng)會(huì)通過6＃樓的主體結(jié)構(gòu)傳遞至地下室，將對(duì)地下實(shí)驗(yàn)室內(nèi)部的精密儀器設(shè)備產(chǎn)生一定的振動(dòng)影響。為此，實(shí)驗(yàn)室建設(shè)方也組織了相應(yīng)的專家評(píng)審會(huì)，對(duì)動(dòng)力設(shè)備振源產(chǎn)生的振動(dòng)影響進(jìn)行咨詢?cè)u(píng)估，最終決定對(duì)空調(diào)機(jī)組采取相應(yīng)的減隔振措施，使空調(diào)機(jī)組的振動(dòng)盡可能小地往樓下精密實(shí)驗(yàn)室傳遞，空調(diào)機(jī)組振動(dòng)控制技術(shù)要求見表2。

表2 空調(diào)機(jī)組振動(dòng)控制技術(shù)要求

3 實(shí)驗(yàn)室振動(dòng)控制專項(xiàng)施工管理

3.1 施工單位的確定及管理辦法

實(shí)驗(yàn)室振動(dòng)控制專項(xiàng)施工前，應(yīng)將振動(dòng)控制項(xiàng)目作為專項(xiàng)工程委托給具有相應(yīng)資質(zhì)和能力的振動(dòng)控制單位，并對(duì)各意向單位進(jìn)行考察，調(diào)研各單位在振動(dòng)控制方面的技術(shù)水平，包括振動(dòng)控制裝置深化設(shè)計(jì)、產(chǎn)品研發(fā)及產(chǎn)品供應(yīng)等方面的能力，選擇技術(shù)比較扎實(shí)的單位進(jìn)行振動(dòng)控制專項(xiàng)的實(shí)施，確保在實(shí)施階段把前期規(guī)劃、設(shè)計(jì)中確定的振動(dòng)控制指標(biāo)均完整準(zhǔn)確地實(shí)現(xiàn)。振動(dòng)控制專項(xiàng)施工前，應(yīng)要求施工單位根據(jù)振動(dòng)控制指標(biāo)及圖紙，對(duì)振動(dòng)控制裝置進(jìn)行深化設(shè)計(jì)，并征得設(shè)計(jì)單位的意見，同時(shí)，須制定詳細(xì)可行的施工措施和方案，圖6為空調(diào)機(jī)組減隔振示意圖。

圖6 空調(diào)機(jī)組減隔振示意

3.2 施工前建筑內(nèi)環(huán)境振動(dòng)測(cè)試評(píng)估

在實(shí)驗(yàn)室建造實(shí)施階段，尤其是在振動(dòng)控制工程施工前，應(yīng)對(duì)建筑物內(nèi)的環(huán)境振動(dòng)進(jìn)行測(cè)試和評(píng)估，其主要考慮以下原因：1）該階段的振動(dòng)測(cè)試是對(duì)規(guī)劃和設(shè)計(jì)階段振動(dòng)測(cè)試數(shù)據(jù)的復(fù)核，如果出現(xiàn)較大的偏差可以及時(shí)對(duì)設(shè)計(jì)方案進(jìn)行糾偏；2）在振動(dòng)控制專項(xiàng)施工時(shí)，建筑主體結(jié)構(gòu)基本施工完畢，此時(shí)的場(chǎng)地振動(dòng)情況最為接近未來實(shí)驗(yàn)室正常運(yùn)行時(shí)的振動(dòng)情況，此階段的測(cè)試評(píng)估更具有工程實(shí)施的指導(dǎo)意義；3）專業(yè)的振動(dòng)控制施工單位可將測(cè)試數(shù)據(jù)作為場(chǎng)地振動(dòng)輸入條件，評(píng)估控制方案效果并對(duì)方案進(jìn)行深化設(shè)計(jì)。

3.3 施工實(shí)施管理

精密實(shí)驗(yàn)室的振動(dòng)控制項(xiàng)目對(duì)精密度要求極高，如之江實(shí)驗(yàn)室一期工程6＃樓地下室，主動(dòng)隔振系統(tǒng)高模態(tài)基礎(chǔ)要求混凝土支墩頂面的平整度達(dá)到0.5 mm；防微振平臺(tái)設(shè)備的臺(tái)面平面度要求達(dá)到0.02 mm。因此，在進(jìn)行精密實(shí)驗(yàn)室振動(dòng)控制工程施工實(shí)施的過程中，為確保振動(dòng)控制工程的每一步都合乎設(shè)計(jì)理念、技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和使用要求，對(duì)于其中涉及的關(guān)鍵技術(shù)要嚴(yán)格把控，采取精細(xì)化、專業(yè)化管理：將審核意識(shí)與監(jiān)督意識(shí)貫穿到整個(gè)振動(dòng)控制專項(xiàng)工程建設(shè)過程始終；加強(qiáng)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)人員的責(zé)任意識(shí)與風(fēng)險(xiǎn)意識(shí)，用高度責(zé)任心和防范意識(shí)來確保建設(shè)全過程始終保持“匠心”態(tài)度，消除因施工質(zhì)量而產(chǎn)生的安全隱患；進(jìn)一步提高施工人員的技術(shù)水準(zhǔn)，不斷以規(guī)劃、設(shè)計(jì)為核心進(jìn)行建設(shè)指導(dǎo)，確保實(shí)驗(yàn)室按照規(guī)劃、設(shè)計(jì)有條不紊的建設(shè)。

4 實(shí)驗(yàn)室振動(dòng)控制竣工驗(yàn)收管理

在振動(dòng)控制專項(xiàng)實(shí)施前，應(yīng)提前制定主動(dòng)控制裝置減隔振平臺(tái)及空調(diào)機(jī)組減隔振的驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)，如對(duì)于之江實(shí)驗(yàn)室1期工程6＃樓大科學(xué)裝置空調(diào)機(jī)組振動(dòng)控制項(xiàng)目中，空調(diào)機(jī)組減振設(shè)計(jì)方案采用了油液阻尼減振機(jī)架，設(shè)計(jì)要求減振效果應(yīng)達(dá)到固有頻率≤4 Hz，阻尼比≥0.15的要求；而對(duì)于主動(dòng)控制裝置減隔振平臺(tái)，要求載荷為1 500～2 500 kg時(shí)，0.1～1.0 Hz主動(dòng)控制裝置減隔振平臺(tái)環(huán)境振動(dòng)等級(jí)不得低于等于VC-E等級(jí)，≥1.0 Hz頻段，振動(dòng)均方根速度≤3.125μm/s?？⒐を?yàn)收時(shí)，根據(jù)驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)，聘請(qǐng)第三方權(quán)威檢測(cè)機(jī)構(gòu)對(duì)減隔振平臺(tái)進(jìn)行驗(yàn)收測(cè)試，評(píng)判實(shí)驗(yàn)室的最終建設(shè)成果。

5 結(jié) 語

由于精密實(shí)驗(yàn)室對(duì)振動(dòng)要求的特殊性，為了有效保證實(shí)驗(yàn)室建成后精密儀器設(shè)備能夠正常投入使用，要求振動(dòng)控制專項(xiàng)管理工作應(yīng)貫穿于實(shí)驗(yàn)室建設(shè)的全過程，每一個(gè)階段和環(huán)節(jié)的管理工作都發(fā)揮著非常重要的作用。筆者參與了之江實(shí)驗(yàn)室建設(shè)中振動(dòng)控制管理的相關(guān)工作，分別對(duì)實(shí)驗(yàn)室規(guī)劃、設(shè)計(jì)、施工及竣工驗(yàn)收等各個(gè)階段進(jìn)行了深入的管理，從而使動(dòng)力設(shè)備的振動(dòng)控制在固有頻率≤4 Hz，阻尼比≥0.15，防微振平臺(tái)2.5～3 Hz減振效率≥-20 dB。該管理經(jīng)驗(yàn)可為其他精密實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)提供借鑒和幫助。