• <tr id="yyy80"></tr>
  • <sup id="yyy80"></sup>
  • <tfoot id="yyy80"><noscript id="yyy80"></noscript></tfoot>
  • 99热精品在线国产_美女午夜性视频免费_国产精品国产高清国产av_av欧美777_自拍偷自拍亚洲精品老妇_亚洲熟女精品中文字幕_www日本黄色视频网_国产精品野战在线观看 ?

    轉(zhuǎn)子對(duì)磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)計(jì)量特性的影響研究

    2021-12-02 09:09:54周明旭李得天郭立新郭美如習(xí)振華鄧永勝
    真空與低溫 2021年6期
    關(guān)鍵詞:量級(jí)磁懸浮氣體

    周明旭 ,李得天,郭立新,郭美如,習(xí)振華,李 宇 ,李 剛,鄧永勝

    (1.東北大學(xué) 機(jī)械工程與自動(dòng)化學(xué)院,沈陽 110819;2.蘭州空間技術(shù)物理研究所 真空技術(shù)與物理重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,蘭州 730000)

    0 引言

    磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)(Spinning Rotor Gauge,SRG)是一種利用氣體分子與懸浮在真空中自由旋轉(zhuǎn)的金屬球(轉(zhuǎn)子)碰撞,由于切向動(dòng)量傳遞使得轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速衰減,而轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速衰減率與氣體壓力成正比,通過對(duì)衰減率的測(cè)量實(shí)現(xiàn)真空壓力測(cè)量的儀器[1]。該真空計(jì)內(nèi)部沒有電子、離子、熱和輻射產(chǎn)生,測(cè)量時(shí)不改變氣體成分和壓力,吸放氣現(xiàn)象可以忽略,無抽氣效應(yīng),具有測(cè)量準(zhǔn)確度高、線性好、重復(fù)性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn),可以用于單一氣體和已知濃度比例的混合氣體的測(cè)量。磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)具有切向動(dòng)量傳遞系數(shù)σ穩(wěn)定[2-6];在10-4~1 Pa的壓力范圍中,3年內(nèi)測(cè)量重復(fù)性誤差小于1%[7];除氣方便(僅須150℃烘烤)等特點(diǎn),一般作為傳遞標(biāo)準(zhǔn)對(duì)其他真空計(jì)進(jìn)行校準(zhǔn)或進(jìn)行真空標(biāo)準(zhǔn)之間的比對(duì),在真空計(jì)量[8-11]、可控?zé)岷司圩兊阮I(lǐng)域得到越來越多的應(yīng)用。

    本文通過實(shí)驗(yàn)研究磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)轉(zhuǎn)子的改變對(duì)測(cè)量準(zhǔn)確度、零點(diǎn)穩(wěn)定性的影響,確定兩種不同參數(shù)的轉(zhuǎn)子能否滿足測(cè)量的要求,為磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)的轉(zhuǎn)子選擇提供依據(jù)。

    1 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)原理及實(shí)驗(yàn)裝置

    1.1 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)原理

    磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)為黏滯型真空計(jì),其原理是通過測(cè)量由氣體分子摩擦而導(dǎo)致的磁懸浮轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速衰減速率來反演真空壓力的量值[12-15]。測(cè)量數(shù)學(xué)表達(dá)式如式(1)所示:

    式中:d為轉(zhuǎn)子直徑;v為氣體分子平均熱速率;ρ為轉(zhuǎn)子密度;α為熱膨脹系數(shù);T為溫度;RD(ω)為除氣體摩擦以外的轉(zhuǎn)子衰減力矩;σ為宏觀切向動(dòng)量傳遞系數(shù);ω?/ω為減速比。

    其中RD(ω)又稱為殘余阻尼。殘余阻尼產(chǎn)生的主要原因是磁矩的旋轉(zhuǎn)分量在測(cè)量頭中產(chǎn)生渦流引起了損耗[16-20],隨著轉(zhuǎn)子頻率的增加,磁化軸和旋轉(zhuǎn)軸分離,旋轉(zhuǎn)分量出現(xiàn)。直徑變動(dòng)量和球形誤差對(duì)轉(zhuǎn)子的對(duì)稱性有影響,非對(duì)稱性轉(zhuǎn)子會(huì)產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)分量,如果轉(zhuǎn)子完全對(duì)稱,即球形誤差和直徑變動(dòng)量均為零,則磁化軸和懸浮軸重合,旋轉(zhuǎn)分量可以忽略,殘余阻尼會(huì)非常小,這樣的結(jié)果有利于延伸測(cè)量下限,提高測(cè)量精度。但是,磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)正是利用旋轉(zhuǎn)磁矩分量進(jìn)行測(cè)量的,如果完全對(duì)稱就不能測(cè)量旋轉(zhuǎn)磁矩分量,無法實(shí)現(xiàn)真空壓力的測(cè)量,因而通常選用具有一定偏心的轉(zhuǎn)子。為了保證測(cè)量的準(zhǔn)確,又能減小因?yàn)樾D(zhuǎn)磁矩分量過大而引起的渦流損耗,故采用對(duì)稱性好的轉(zhuǎn)子,即球形誤差和直徑變動(dòng)量較小的轉(zhuǎn)子;減速比為ω?/ω,與壓力成線性關(guān)系,因此可以在溫度恒定的環(huán)境中通過測(cè)量轉(zhuǎn)速比進(jìn)行壓力的測(cè)量。

    氣體壓力是由轉(zhuǎn)子的兩個(gè)時(shí)間間隔τn、τn+1直接確定的,其對(duì)應(yīng)關(guān)系如式(2)所示:

    式中:τn、τn+1為兩個(gè)相鄰時(shí)間間隔(其中轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)次數(shù)相同);c0為常數(shù)。

    σ是唯一要通過實(shí)驗(yàn)確定的參數(shù),該參數(shù)與轉(zhuǎn)子的表面粗糙度有關(guān)。球面光滑時(shí)(σ≈1),與氣體的成分無關(guān),氣體分子是按照余弦定律發(fā)射的。表面粗糙時(shí)(σ>1),氣體阻尼系數(shù)可由σeff估計(jì)。σeff被稱之為有效切向動(dòng)量傳遞系數(shù),一般難以通過理論計(jì)算獲得,須經(jīng)過校準(zhǔn)來確定,σeff與氣—面的相互作用有關(guān),受局部能量適應(yīng)系數(shù)δ、切向動(dòng)量傳遞系數(shù)σ以及表面粗糙度影響,可運(yùn)用描述表面粗糙度的參數(shù)模型[11]進(jìn)行理論估計(jì):假設(shè)整個(gè)表面由平整表面元組成,它們傾向于一個(gè)方向,與正常表面成相同的角度θr,表面粗糙度定義為tanθr。每個(gè)傾斜的表面元貢獻(xiàn)的一份fn(θr)代表氣體分子與法向運(yùn)動(dòng)表面的相互作用;另一附加份額1-fn(θr)代表與切向運(yùn)動(dòng)表面的相互作用,兩部分阻尼分別按已建立的理論進(jìn)行計(jì)算。如考慮金屬表面元的互相屏蔽,對(duì)沿著所有方位表面元分布各向均勻的粗糙表面,理論產(chǎn)生的σeff{}σ;δ與表面宏觀粗糙度在下列三種情況下分別有:

    在一個(gè)非常粗糙的球面上,δ相差很大的氣體的σeff相對(duì)變化大約為5%,在一個(gè)光滑球面上σeff變化很小。在Ceorge等[21]的實(shí)驗(yàn)結(jié)果中,對(duì)于蝕刻球,各種氣體的σeff最大相對(duì)變化為4.6%;對(duì)于拋光球,σeff的最大相對(duì)變化為2.6%。表面粗糙度越大σeff越大,對(duì)測(cè)量的影響越大。

    為了校準(zhǔn)磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì),研究不同表面粗糙度、直徑變動(dòng)量和球形誤差的轉(zhuǎn)子對(duì)磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)測(cè)量穩(wěn)定性以及測(cè)量不確定度的影響,故將兩個(gè)磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)安裝在以下兩套裝置中進(jìn)行實(shí)驗(yàn)比較。

    1.2 氣體微流量校準(zhǔn)裝置

    采用氣體微流量校準(zhǔn)裝置(如圖1所示)進(jìn)行磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)比對(duì)實(shí)驗(yàn)。2臺(tái)磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)的物理部分(包括法蘭組件和轉(zhuǎn)子小球)通過金屬密封的CF35法蘭連接至真空室,MKS SRG-3磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)16作為參考真空計(jì),磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)13為采用GCr15轉(zhuǎn)子的實(shí)驗(yàn)用真空計(jì)。采用N2、Ar、He三種氣體進(jìn)行實(shí)驗(yàn)。連續(xù)烘烤抽氣后,真空室內(nèi)本底壓力為1×10-6Pa。

    圖1 氣體微流量校準(zhǔn)裝置Fig.1 Gas micro-flow calibration apparatus

    1.3 靜態(tài)膨脹法真空校準(zhǔn)裝置

    采用靜態(tài)膨脹法真空校準(zhǔn)裝置對(duì)磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)進(jìn)行校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)。靜態(tài)膨脹法真空校準(zhǔn)裝置主要由前級(jí)壓力測(cè)量系統(tǒng)、壓力衰減系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)和烘烤系統(tǒng)四部分組成,其工作原理如圖2所示[22]。圖中6為MKS SRG-3型磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì),8為更換了GCr15轉(zhuǎn)子的磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)。前級(jí)壓力由DPG8 Ⅱ型數(shù)字式活塞壓力計(jì)測(cè)量,其不確定度為0.005%。壓力衰減系統(tǒng)由取樣室和校準(zhǔn)室組成。抽氣系統(tǒng)由機(jī)械泵、雙級(jí)渦輪分子泵串聯(lián)組成。裝置的本底壓力為3.17×10-8Pa。

    圖2 靜態(tài)膨脹法真空校準(zhǔn)裝置Fig.2 Static expansion vacuum standard apparatus

    2 實(shí)驗(yàn)測(cè)試及數(shù)據(jù)分析

    2.1 不同氣體介質(zhì)中實(shí)驗(yàn)測(cè)試

    實(shí)驗(yàn)分別采用N2、Ar、He三種氣體對(duì)MKS SRG-3和更換為GCr15轉(zhuǎn)子的2臺(tái)磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)進(jìn)行測(cè)試。實(shí)驗(yàn)前,裝置抽至本底壓力,隨后充氣改變測(cè)試壓力,壓力為10-4~1 Pa,每個(gè)量級(jí)分別選取1個(gè)壓力測(cè)試點(diǎn),待穩(wěn)定后連續(xù)測(cè)量八組,每組測(cè)量時(shí)間間隔為2 min。實(shí)驗(yàn)中保持實(shí)驗(yàn)室內(nèi)環(huán)境溫度為23℃±1℃。每次拆裝磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)時(shí),要保證轉(zhuǎn)子真空計(jì)的法蘭為水平,以保證測(cè)量信號(hào)的準(zhǔn)確性。測(cè)量前要保證磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)運(yùn)轉(zhuǎn)至少3 h以上,以提高真空計(jì)的測(cè)量準(zhǔn)確性[15]。由于磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)的轉(zhuǎn)子略有偏心,而轉(zhuǎn)子每次懸浮時(shí)其方向是隨機(jī)的,轉(zhuǎn)子懸浮后磁矩旋轉(zhuǎn)分量的大小都會(huì)發(fā)生變化,故殘余阻尼也會(huì)發(fā)生變化,因而要在每次測(cè)量壓力前重新確定殘余阻尼,作為本次測(cè)量的修正值,這對(duì)于測(cè)量的準(zhǔn)確性十分必要[1]。用圖1中的磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)13和16記錄零點(diǎn)讀數(shù),13的轉(zhuǎn)子為GCr15材料、直徑變動(dòng)量為0.25μm、球形誤差為0.25μm、表面粗糙度為0.020μm。

    在Ar中,2臺(tái)真空計(jì)在不同量級(jí)下壓力示值的比值如圖3所示,比值分布均在0.970附近,隨著壓力升高,趨于穩(wěn)定。

    圖3 Ar中不同量級(jí)下壓力示值比值Fig.3 Ratio of values at different orders of magnitude in Ar(MKS SRG-3/GCr15 rotor)

    在He中的測(cè)量結(jié)果如圖4所示,與在Ar中的測(cè)試結(jié)果相似。在10-4Pa量級(jí),測(cè)量數(shù)值波動(dòng)最大,隨著壓力升高,測(cè)量波動(dòng)逐漸減小。在10-4Pa和10-3Pa量級(jí)下,數(shù)據(jù)波動(dòng)較在Ar中顯著,在10-3Pa量級(jí),測(cè)量結(jié)果與均值的最大偏差為在Ar中的10倍。不同量級(jí)下的比值均在0.963上下波動(dòng)。在N2中,不同量級(jí)下的比值均在0.976上下波動(dòng),如圖5所示。

    圖4 He中不同量級(jí)下壓力示值比值Fig.4 Ratio of values at different orders of magnitude in He(MKS SRG-3/GCr15 rotor)

    圖5 樣本一在N2中不同量級(jí)下壓力示值比值Fig.5 Ratio of values at different orders of magnitude of sample one in N2(MKS SRG-3/GCr15 rotor)

    每個(gè)量級(jí)的采樣數(shù)據(jù)個(gè)數(shù)n=8,使用極差法評(píng)定GCr15轉(zhuǎn)子真空計(jì)的A類標(biāo)準(zhǔn)不確定度,得到每個(gè)量級(jí)的不確定度。

    式中:R為極差;xmax為測(cè)量結(jié)果最大值;xmin為測(cè)量結(jié)果最小值;s(x)為實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差;n為采樣數(shù)據(jù)個(gè)數(shù);C為與n有關(guān)的無偏差極差系數(shù),查表得C=2.85;u(x)為測(cè)量不確定度。

    整體范圍采樣數(shù)據(jù)n=32,使用貝塞爾式(4)評(píng)定A類標(biāo)準(zhǔn)不確定度,得到測(cè)量不確定度。

    式中:xi為第i次測(cè)量的結(jié)果;xˉ為n次測(cè)量結(jié)果的算數(shù)平均值;u(x)為測(cè)量不確定度。表1為不同氣體下的不確定度。

    表1 GCr15轉(zhuǎn)子真空計(jì)不同氣體下測(cè)量結(jié)果的不確定度Tab.1 Uncertainty of measurement results of GCr15 rotor vacuum gauge under different gases

    通過以上實(shí)驗(yàn)可以得出,磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)在Ar和N2環(huán)境中的測(cè)試數(shù)據(jù)比在He中的穩(wěn)定,由圖3看出,在Ar中具有最高的零點(diǎn)穩(wěn)定性。在不同的氣體中,GCr15轉(zhuǎn)子磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)在10-4Pa量級(jí)下的波動(dòng)較為明顯,隨之壓力升高波動(dòng)降低。每組實(shí)驗(yàn)前,磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)均已運(yùn)轉(zhuǎn)3 h以上,溫度達(dá)到平衡,渦流對(duì)轉(zhuǎn)子加熱的影響已經(jīng)排除,因此,產(chǎn)生上述波動(dòng)的主要原因是零點(diǎn)的漂移。采用GCr15轉(zhuǎn)子的磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)測(cè)量不確定度均小于1.5%,在Ar中能夠達(dá)到0.26%。

    2.2 不同轉(zhuǎn)子真空計(jì)的實(shí)驗(yàn)測(cè)試

    采用N2在氣體微流量校準(zhǔn)裝置上進(jìn)行實(shí)驗(yàn),轉(zhuǎn)子材質(zhì)均為GCr15,直徑4.5 mm,樣本一、樣本二、樣本三的轉(zhuǎn)子直徑變動(dòng)量0.25μm,球形誤差0.25μm,表面粗糙度0.020μm;樣本四的轉(zhuǎn)子直徑變動(dòng)量0.13μm,球形誤差0.13μm,表面粗糙度0.014μm。比對(duì)真空計(jì)為MKS SRG-3。

    在N2環(huán)境中進(jìn)行壓力范圍的測(cè)量,四個(gè)樣本的測(cè)量數(shù)據(jù)分別如圖5、圖6、圖7和圖8所示。

    圖6 樣本二不同量級(jí)示值比值Fig.6 Ratio of values at different orders of magnitude of sample two(MKS SRG-3/GCr15 rotor)

    圖7 樣本三不同量級(jí)示值比值Fig.7 Ratio of values at different orders of magnitude of sample three(MKS SRG-3/GCr15 rotor)

    圖8 樣本四不同量級(jí)壓力示值比值Fig.8 Ratio of values at different orders of magnitude of sample four(MKS SRG-3/GCr15 rotor)

    樣本二在10-4Pa量級(jí)的測(cè)量數(shù)值波動(dòng)較大,隨著壓力的升高,波動(dòng)逐漸減小。MKS SRG-3與樣本二示值的比值穩(wěn)定在1.000附近。樣本二在10-4Pa量級(jí)的測(cè)量數(shù)值波動(dòng)最大,隨著壓力升高波動(dòng)逐漸減小,但波動(dòng)程度不同,可歸因于轉(zhuǎn)子的個(gè)體參數(shù)差異,不同量級(jí)下的比值均在0.985附近。MKS SRG-3與樣本四測(cè)量結(jié)果的比值約等于1.000,且上下浮動(dòng)不超過3%,表明轉(zhuǎn)子幾何和表面參數(shù)精度的提高有助于提高測(cè)量準(zhǔn)確性。

    不同轉(zhuǎn)子對(duì)應(yīng)的測(cè)量結(jié)果的不確定度如表2所列,樣本四測(cè)量結(jié)果的不確定度優(yōu)于樣本一和樣本二,表明具有較小直徑變動(dòng)量、球形誤差和表面粗糙度的轉(zhuǎn)子有助于減小殘余阻尼、降低測(cè)量數(shù)據(jù)的分散性。

    表2 不同轉(zhuǎn)子真空計(jì)對(duì)應(yīng)測(cè)量結(jié)果的不確定度Tab.2 Uncertainty of measurement results for different rotors

    2.3 不同轉(zhuǎn)子真空計(jì)的零點(diǎn)穩(wěn)定性實(shí)驗(yàn)測(cè)試

    在實(shí)驗(yàn)裝置本底壓力下,測(cè)試各樣本對(duì)應(yīng)的零點(diǎn)穩(wěn)定性,每個(gè)樣本分別測(cè)試6次,實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)如表3~6所列。從表中可以看出,樣本一、二、三相應(yīng)的零點(diǎn)波動(dòng)明顯大于樣本四。四個(gè)樣本的零點(diǎn)波動(dòng)均與MKS SRG-3接近。樣本四的零點(diǎn)波動(dòng)比樣本一、二和樣本三小一個(gè)數(shù)量級(jí),這有利于進(jìn)一步擴(kuò)展磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)的測(cè)量下限。

    表3 樣本一零點(diǎn)波動(dòng)Tab.3 Sample one zero-point fluctuation

    表4 樣本二零點(diǎn)波動(dòng)Tab.4 Sample two zero-point fluctuation

    表5 樣本三零點(diǎn)波動(dòng)Tab.5 Sample three zero-point fluctuation

    表6 樣本四零點(diǎn)波動(dòng)Tab.6 Sample four zero-point fluctuation

    2.4 靜態(tài)膨脹法真空校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)

    通過上述實(shí)驗(yàn)可知,樣本四具有良好的測(cè)試結(jié)果。為進(jìn)一步驗(yàn)證測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性,采用靜態(tài)膨脹法真空校準(zhǔn)裝置對(duì)樣本四進(jìn)行校準(zhǔn),并與MKS SRG-3的校準(zhǔn)結(jié)果進(jìn)行對(duì)比。

    將不同轉(zhuǎn)子的兩個(gè)磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)(樣本四和MKS SRG-3)安裝在左校準(zhǔn)室上,如圖2中6、8所示。通過一級(jí)膨脹,獲得10-1Pa和10-2Pa量級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)壓力;在一級(jí)膨脹的基礎(chǔ)上進(jìn)行二級(jí)膨脹,獲得10-3Pa、10-4Pa量級(jí)標(biāo)準(zhǔn)壓力,同時(shí)記錄兩個(gè)真空計(jì)的壓力示值。表7、表8分別為第一次和第二次測(cè)量結(jié)果。

    表7 2臺(tái)磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)第一次校準(zhǔn)結(jié)果Tab.7 Calibration results of two spinning rotor gauges

    表8 2臺(tái)磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)第二次校準(zhǔn)結(jié)果Tab.8 Calibration results of two spinning rotor gauges

    使用極差法評(píng)定A類標(biāo)準(zhǔn)不確定度。第一次測(cè)量,MKS SRG-3的測(cè)量不確定度為u1=0.60%;樣本四的測(cè)量不確定度為u2=0.31%。第二次測(cè)量,MKS SRG-3的測(cè)量不確定度為u1=0.10%;樣本四的測(cè)量不確定度為u2=0.14%。2臺(tái)真空計(jì)兩次測(cè)量結(jié)果的不確定度平均值分別為。

    實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)表明,2臺(tái)真空計(jì)的比值波動(dòng)程度均不大,樣本四的測(cè)量結(jié)果偏差為-0.85%~0.55%,MKS SRG-3測(cè)量結(jié)果的偏差為-2.32%~0.81%。樣本四所測(cè)數(shù)據(jù)的不確定度更小,校準(zhǔn)結(jié)果更接近于1。

    3 結(jié)論

    通過實(shí)驗(yàn)和分析,得出以下結(jié)論:

    (1)GCr15轉(zhuǎn)子磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)在不同氣體中的測(cè)量數(shù)據(jù)波動(dòng)情況接近,轉(zhuǎn)子的變化對(duì)真空計(jì)在不同氣體中的測(cè)量不確定度影響較小。

    (2)GCr15轉(zhuǎn)子磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)在低壓力下的數(shù)據(jù)波動(dòng)大,隨著壓力升高,波動(dòng)減小,主要是由零點(diǎn)波動(dòng)即殘余阻尼的波動(dòng)引起的。

    (3)轉(zhuǎn)子的表面粗糙度、球形誤差和直徑變動(dòng)量越小,殘余阻尼越小,測(cè)量數(shù)據(jù)的分散性越低。直徑變動(dòng)量為0.13μm、球形誤差為0.13μm、表面粗糙度為0.014μm的轉(zhuǎn)子有助于提高磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)的下限。

    (4)減小轉(zhuǎn)子表面粗糙度、球形誤差和直徑變動(dòng)量對(duì)不確定度的提高不明顯。

    猜你喜歡
    量級(jí)磁懸浮氣體
    遠(yuǎn)離有害氣體
    有趣的磁懸浮陀螺
    二維定常Chaplygin氣體繞直楔流動(dòng)
    第二章 磁懸浮裝置
    吃氣體,長(zhǎng)大個(gè)
    神奇的磁懸浮
    神奇的磁懸浮
    21連勝
    鋁合金三元?dú)怏w保護(hù)焊焊接接頭金相
    焊接(2015年8期)2015-07-18 10:59:14
    亚洲美女视频黄频| 国产单亲对白刺激| 亚洲欧美日韩高清专用| 高清毛片免费观看视频网站| 一个人免费在线观看的高清视频| 欧美黄色片欧美黄色片| av国产免费在线观看| 精品国产超薄肉色丝袜足j| 亚洲自偷自拍图片 自拍| 可以在线观看毛片的网站| 少妇的丰满在线观看| 亚洲七黄色美女视频| 亚洲人成77777在线视频| 宅男免费午夜| 婷婷六月久久综合丁香| 99久久久亚洲精品蜜臀av| 国产精品乱码一区二三区的特点| 看片在线看免费视频| 成熟少妇高潮喷水视频| 亚洲免费av在线视频| 午夜老司机福利片| 麻豆国产av国片精品| 丝袜美腿诱惑在线| 免费电影在线观看免费观看| 少妇人妻一区二区三区视频| 午夜福利在线在线| 亚洲一区二区三区色噜噜| 亚洲国产精品合色在线| 国产免费男女视频| 日本一本二区三区精品| 又爽又黄无遮挡网站| 亚洲人成伊人成综合网2020| 亚洲人成电影免费在线| 欧美乱妇无乱码| 黄片大片在线免费观看| 久久久久九九精品影院| 亚洲精华国产精华精| 久久精品国产亚洲av高清一级| 国产午夜精品久久久久久| 久久久久亚洲av毛片大全| 国产成+人综合+亚洲专区| 法律面前人人平等表现在哪些方面| 搡老妇女老女人老熟妇| 美女黄网站色视频| av在线播放免费不卡| 亚洲国产看品久久| 丁香欧美五月| 日韩成人在线观看一区二区三区| 亚洲美女黄片视频| 国产三级中文精品| 91字幕亚洲| 欧美+亚洲+日韩+国产| 亚洲全国av大片| 久久婷婷成人综合色麻豆| 久久久久久免费高清国产稀缺| 全区人妻精品视频| 又紧又爽又黄一区二区| 在线a可以看的网站| 欧美精品亚洲一区二区| av免费在线观看网站| 国产精品99久久99久久久不卡| 亚洲色图av天堂| 亚洲av五月六月丁香网| 亚洲色图av天堂| 欧美不卡视频在线免费观看 | 久久久久久久久中文| 国产1区2区3区精品| 日韩大尺度精品在线看网址| 亚洲在线自拍视频| 成人18禁高潮啪啪吃奶动态图| svipshipincom国产片| svipshipincom国产片| 老司机福利观看| 婷婷丁香在线五月| 老司机午夜福利在线观看视频| 亚洲人与动物交配视频| 国产成人av教育| 99久久精品国产亚洲精品| 很黄的视频免费| 久久这里只有精品19| 免费在线观看亚洲国产| 国产区一区二久久| 成人三级做爰电影| www.精华液| 在线播放国产精品三级| 精品午夜福利视频在线观看一区| 特大巨黑吊av在线直播| 又爽又黄无遮挡网站| 午夜成年电影在线免费观看| 日本在线视频免费播放| 色尼玛亚洲综合影院| 国产高清videossex| 中文在线观看免费www的网站 | 少妇人妻一区二区三区视频| 日韩精品免费视频一区二区三区| avwww免费| 在线观看一区二区三区| 日韩欧美一区二区三区在线观看| 免费av毛片视频| 丰满人妻一区二区三区视频av | 1024视频免费在线观看| 日本一二三区视频观看| 午夜精品久久久久久毛片777| 国产成人av教育| 欧美一级毛片孕妇| 国产精品永久免费网站| 亚洲人成网站高清观看| 日韩大尺度精品在线看网址| 黑人操中国人逼视频| 欧美日韩国产亚洲二区| 日韩精品中文字幕看吧| 国产精品98久久久久久宅男小说| 亚洲人成网站在线播放欧美日韩| 久久久久久免费高清国产稀缺| 亚洲全国av大片| 亚洲欧美日韩无卡精品| 男女下面进入的视频免费午夜| 亚洲激情在线av| 国产av不卡久久| 日本a在线网址| av在线天堂中文字幕| 啪啪无遮挡十八禁网站| 高清毛片免费观看视频网站| 成人av在线播放网站| e午夜精品久久久久久久| 成年女人毛片免费观看观看9| 国产成人啪精品午夜网站| 久久人妻av系列| 亚洲精品av麻豆狂野| 欧美日韩国产亚洲二区| 亚洲精品一卡2卡三卡4卡5卡| 国产一级毛片七仙女欲春2| 一进一出抽搐gif免费好疼| 男人舔奶头视频| 国产亚洲精品第一综合不卡| 亚洲精品久久成人aⅴ小说| 日韩欧美三级三区| 久久久久久国产a免费观看| 久久精品国产亚洲av高清一级| 午夜福利视频1000在线观看| 亚洲人与动物交配视频| 精品日产1卡2卡| 两个人看的免费小视频| 好看av亚洲va欧美ⅴa在| 免费无遮挡裸体视频| 久久久久久免费高清国产稀缺| 此物有八面人人有两片| 一级a爱片免费观看的视频| 国产欧美日韩一区二区三| 19禁男女啪啪无遮挡网站| 免费看美女性在线毛片视频| 精品久久久久久久末码| 一本一本综合久久| 狂野欧美激情性xxxx| 亚洲欧洲精品一区二区精品久久久| 欧美久久黑人一区二区| 亚洲国产日韩欧美精品在线观看 | 免费看美女性在线毛片视频| 色播亚洲综合网| 久久九九热精品免费| 免费在线观看亚洲国产| svipshipincom国产片| 波多野结衣巨乳人妻| 成人高潮视频无遮挡免费网站| 小说图片视频综合网站| 97碰自拍视频| 久久这里只有精品中国| 黄色视频不卡| 人成视频在线观看免费观看| tocl精华| 国产精品亚洲av一区麻豆| 欧美大码av| netflix在线观看网站| 亚洲色图av天堂| www.自偷自拍.com| 久久婷婷人人爽人人干人人爱| 天堂√8在线中文| 精品国产乱码久久久久久男人| 男女视频在线观看网站免费 | 一边摸一边做爽爽视频免费| 久久欧美精品欧美久久欧美| 国产主播在线观看一区二区| 免费高清视频大片| 国产黄色小视频在线观看| 亚洲成av人片免费观看| 亚洲一区高清亚洲精品| 制服人妻中文乱码| 黑人操中国人逼视频| 亚洲 欧美 日韩 在线 免费| 欧美日本亚洲视频在线播放| 国产精品,欧美在线| 国产精品精品国产色婷婷| 俺也久久电影网| 国产日本99.免费观看| 日韩欧美国产在线观看| 国产亚洲精品一区二区www| 全区人妻精品视频| 国产成人系列免费观看| 亚洲国产欧洲综合997久久,| 亚洲av熟女| 午夜老司机福利片| 国产久久久一区二区三区| 麻豆一二三区av精品| 日韩欧美三级三区| 最近视频中文字幕2019在线8| 亚洲av熟女| 免费在线观看亚洲国产| 观看免费一级毛片| 亚洲最大成人中文| 少妇粗大呻吟视频| 久久这里只有精品中国| 极品教师在线免费播放| 18禁裸乳无遮挡免费网站照片| 久久久国产成人精品二区| 啦啦啦观看免费观看视频高清| 不卡av一区二区三区| 此物有八面人人有两片| 岛国视频午夜一区免费看| 视频区欧美日本亚洲| 亚洲国产欧美人成| 最近最新免费中文字幕在线| 操出白浆在线播放| 1024手机看黄色片| 国内精品久久久久久久电影| 99在线视频只有这里精品首页| 老司机午夜福利在线观看视频| 50天的宝宝边吃奶边哭怎么回事| 少妇熟女aⅴ在线视频| av中文乱码字幕在线| 88av欧美| 男女视频在线观看网站免费 | 久久久久久人人人人人| 日韩精品免费视频一区二区三区| 最近视频中文字幕2019在线8| 成人手机av| 美女扒开内裤让男人捅视频| 精品久久久久久久人妻蜜臀av| 国产精品一区二区精品视频观看| 久久久久亚洲av毛片大全| 88av欧美| 中国美女看黄片| 91麻豆av在线| 亚洲国产日韩欧美精品在线观看 | 亚洲精华国产精华精| 久久久精品国产亚洲av高清涩受| xxx96com| 国产精品免费视频内射| 亚洲国产精品sss在线观看| 国产av不卡久久| 国产成人影院久久av| 亚洲欧美精品综合久久99| 亚洲国产日韩欧美精品在线观看 | 欧美成狂野欧美在线观看| 欧美中文综合在线视频| 亚洲午夜理论影院| 亚洲国产高清在线一区二区三| 色噜噜av男人的天堂激情| 国产精品爽爽va在线观看网站| 欧美人与性动交α欧美精品济南到| 校园春色视频在线观看| 中文字幕av在线有码专区| 亚洲电影在线观看av| 午夜a级毛片| 香蕉丝袜av| 狂野欧美白嫩少妇大欣赏| 国产又黄又爽又无遮挡在线| av免费在线观看网站| 日韩欧美精品v在线| 淫秽高清视频在线观看| 亚洲五月婷婷丁香| 法律面前人人平等表现在哪些方面| 又黄又爽又免费观看的视频| 村上凉子中文字幕在线| 国产精品日韩av在线免费观看| 香蕉国产在线看| 制服人妻中文乱码| 曰老女人黄片| 亚洲国产看品久久| 亚洲性夜色夜夜综合| 亚洲人成电影免费在线| 啦啦啦观看免费观看视频高清| 国产视频一区二区在线看| 一a级毛片在线观看| 黄频高清免费视频| 久久精品国产99精品国产亚洲性色| 日日爽夜夜爽网站| 老司机靠b影院| 丰满人妻一区二区三区视频av | 成人三级做爰电影| 好看av亚洲va欧美ⅴa在| 精品人妻1区二区| 长腿黑丝高跟| 成人手机av| 亚洲人成网站高清观看| 精品不卡国产一区二区三区| 日韩 欧美 亚洲 中文字幕| 性色av乱码一区二区三区2| 黄色片一级片一级黄色片| 欧美最黄视频在线播放免费| 12—13女人毛片做爰片一| 九色成人免费人妻av| 欧美色视频一区免费| 夜夜躁狠狠躁天天躁| 夜夜看夜夜爽夜夜摸| 久久亚洲精品不卡| 母亲3免费完整高清在线观看| 一卡2卡三卡四卡精品乱码亚洲| 日韩国内少妇激情av| 亚洲欧美日韩无卡精品| 一个人免费在线观看电影 | 后天国语完整版免费观看| 久久人妻av系列| 欧美成人午夜精品| 国产精品,欧美在线| a在线观看视频网站| 正在播放国产对白刺激| 岛国在线观看网站| 欧美在线黄色| 国产高清有码在线观看视频 | 丁香六月欧美| 麻豆久久精品国产亚洲av| 国产91精品成人一区二区三区| 俺也久久电影网| 亚洲人成网站高清观看| 不卡一级毛片| 99精品欧美一区二区三区四区| 日韩大码丰满熟妇| 91大片在线观看| 亚洲中文字幕一区二区三区有码在线看 | e午夜精品久久久久久久| 欧美乱色亚洲激情| 美女免费视频网站| 日日干狠狠操夜夜爽| 亚洲男人的天堂狠狠| 国产精品1区2区在线观看.| 精品久久久久久,| 欧美日韩亚洲综合一区二区三区_| 热99re8久久精品国产| 一级毛片女人18水好多| 国产精品亚洲美女久久久| 三级男女做爰猛烈吃奶摸视频| 我的老师免费观看完整版| 亚洲乱码一区二区免费版| 99久久精品热视频| 国产精品九九99| 欧美zozozo另类| 制服诱惑二区| 性欧美人与动物交配| 亚洲天堂国产精品一区在线| 可以在线观看毛片的网站| 欧美乱码精品一区二区三区| 亚洲最大成人中文| 亚洲成人免费电影在线观看| 亚洲全国av大片| 欧美av亚洲av综合av国产av| 国产精品久久久人人做人人爽| 亚洲,欧美精品.| 久久久久久大精品| 亚洲国产精品成人综合色| 午夜免费激情av| 三级毛片av免费| 欧美成人免费av一区二区三区| 欧美久久黑人一区二区| 久久精品亚洲精品国产色婷小说| 天天躁狠狠躁夜夜躁狠狠躁| av视频在线观看入口| 欧洲精品卡2卡3卡4卡5卡区| 国产乱人伦免费视频| 宅男免费午夜| 精品欧美国产一区二区三| 窝窝影院91人妻| 天天躁夜夜躁狠狠躁躁| 亚洲国产欧美人成| 免费在线观看成人毛片| 91九色精品人成在线观看| 精品久久久久久,| av视频在线观看入口| www.精华液| 黑人巨大精品欧美一区二区mp4| 亚洲av美国av| tocl精华| 人人妻人人看人人澡| 成人三级黄色视频| 日韩av在线大香蕉| www.熟女人妻精品国产| 中文亚洲av片在线观看爽| 天堂动漫精品| 国产成人aa在线观看| 亚洲av成人一区二区三| 国产亚洲精品第一综合不卡| 18禁美女被吸乳视频| 婷婷丁香在线五月| 黄色成人免费大全| 88av欧美| 午夜激情福利司机影院| 国产成+人综合+亚洲专区| 啦啦啦免费观看视频1| 男女视频在线观看网站免费 | 丁香欧美五月| 亚洲精华国产精华精| 久久久久久久久免费视频了| 日韩欧美 国产精品| or卡值多少钱| 精品欧美一区二区三区在线| 国产精品乱码一区二三区的特点| 毛片女人毛片| 麻豆av在线久日| 观看免费一级毛片| 女同久久另类99精品国产91| 精品电影一区二区在线| 男女下面进入的视频免费午夜| 亚洲av成人av| 久久亚洲真实| 午夜激情福利司机影院| 亚洲天堂国产精品一区在线| 成人永久免费在线观看视频| 精品国产超薄肉色丝袜足j| 午夜福利高清视频| 国产av在哪里看| 男女床上黄色一级片免费看| 亚洲精品中文字幕一二三四区| 亚洲欧美日韩高清专用| www.精华液| 亚洲av片天天在线观看| 黄色成人免费大全| 日本五十路高清| 亚洲精品美女久久久久99蜜臀| 国产精品久久视频播放| 夜夜夜夜夜久久久久| 亚洲欧美日韩高清在线视频| 亚洲欧美精品综合一区二区三区| 亚洲美女视频黄频| 欧美日韩一级在线毛片| 一本大道久久a久久精品| 国产91精品成人一区二区三区| 国产成人av教育| 成人三级做爰电影| 成年版毛片免费区| 哪里可以看免费的av片| 久久精品国产99精品国产亚洲性色| 亚洲精品一卡2卡三卡4卡5卡| 99在线人妻在线中文字幕| 精品欧美一区二区三区在线| 亚洲人成网站在线播放欧美日韩| 久久久久久大精品| 黄色丝袜av网址大全| 国内少妇人妻偷人精品xxx网站 | 琪琪午夜伦伦电影理论片6080| 少妇的丰满在线观看| 午夜两性在线视频| 欧美日韩中文字幕国产精品一区二区三区| 国产精品亚洲av一区麻豆| 三级男女做爰猛烈吃奶摸视频| www.www免费av| 亚洲av第一区精品v没综合| 高清在线国产一区| 嫩草影视91久久| 亚洲精品中文字幕一二三四区| 淫妇啪啪啪对白视频| 亚洲自拍偷在线| 99久久无色码亚洲精品果冻| 日韩大尺度精品在线看网址| 国产精品av视频在线免费观看| 99精品久久久久人妻精品| 久久久久国产精品人妻aⅴ院| 亚洲国产欧洲综合997久久,| 国产区一区二久久| 亚洲 欧美 日韩 在线 免费| 午夜亚洲福利在线播放| 国产又黄又爽又无遮挡在线| 久久久国产欧美日韩av| 欧美成狂野欧美在线观看| 日本熟妇午夜| 国产一区二区在线av高清观看| 一卡2卡三卡四卡精品乱码亚洲| 精品电影一区二区在线| 久久亚洲真实| 久久久久久久久中文| 久久天堂一区二区三区四区| 欧美色欧美亚洲另类二区| 日本黄色视频三级网站网址| 少妇裸体淫交视频免费看高清 | 亚洲va日本ⅴa欧美va伊人久久| 99热只有精品国产| 欧美黄色淫秽网站| 麻豆久久精品国产亚洲av| 欧美zozozo另类| 精品高清国产在线一区| 国产私拍福利视频在线观看| 亚洲一区高清亚洲精品| 黄色 视频免费看| 啪啪无遮挡十八禁网站| 亚洲成av人片在线播放无| 久久久久久久久久黄片| 人妻久久中文字幕网| 悠悠久久av| 在线观看午夜福利视频| 欧美乱色亚洲激情| 国产午夜精品久久久久久| 国产精品 欧美亚洲| 久久人人精品亚洲av| 真人一进一出gif抽搐免费| 少妇熟女aⅴ在线视频| 国产亚洲欧美在线一区二区| 久久久久精品国产欧美久久久| 精品久久久久久,| 后天国语完整版免费观看| 国产精品久久久久久久电影 | 国产成人精品久久二区二区免费| 午夜免费观看网址| 国产激情久久老熟女| 最好的美女福利视频网| 好男人在线观看高清免费视频| 精品福利观看| 少妇裸体淫交视频免费看高清 | 亚洲一区中文字幕在线| videosex国产| 久久热在线av| 日本 av在线| 久久精品国产99精品国产亚洲性色| 日韩欧美 国产精品| 午夜免费激情av| 曰老女人黄片| 日韩欧美免费精品| 脱女人内裤的视频| 亚洲成人国产一区在线观看| 亚洲av电影不卡..在线观看| av中文乱码字幕在线| 麻豆成人午夜福利视频| 日本成人三级电影网站| 母亲3免费完整高清在线观看| 亚洲专区字幕在线| 女生性感内裤真人,穿戴方法视频| 91老司机精品| 国产精品,欧美在线| 亚洲国产中文字幕在线视频| 最好的美女福利视频网| 美女 人体艺术 gogo| ponron亚洲| 欧美乱妇无乱码| 国产乱人伦免费视频| 亚洲精品中文字幕一二三四区| 国产精品亚洲美女久久久| 久久久精品欧美日韩精品| 亚洲精品av麻豆狂野| 亚洲精品色激情综合| 伦理电影免费视频| 久久精品aⅴ一区二区三区四区| www国产在线视频色| 国产三级中文精品| 国产精品美女特级片免费视频播放器 | 禁无遮挡网站| 老司机在亚洲福利影院| 搡老妇女老女人老熟妇| 国产精品亚洲美女久久久| av在线天堂中文字幕| 亚洲午夜理论影院| 亚洲精品国产精品久久久不卡| 日本一本二区三区精品| 18禁国产床啪视频网站| 午夜福利成人在线免费观看| 久久久国产欧美日韩av| 最新在线观看一区二区三区| 波多野结衣高清无吗| bbb黄色大片| 999精品在线视频| 一本一本综合久久| 999久久久精品免费观看国产| 午夜免费激情av| 亚洲成人免费电影在线观看| 这个男人来自地球电影免费观看| 色老头精品视频在线观看| 国产成人精品久久二区二区91| 亚洲va日本ⅴa欧美va伊人久久| 欧美日韩亚洲综合一区二区三区_| 成人精品一区二区免费| 变态另类丝袜制服| 国产精品香港三级国产av潘金莲| 久久精品成人免费网站| 一区二区三区国产精品乱码| 18禁黄网站禁片免费观看直播| 亚洲精品久久国产高清桃花| 在线国产一区二区在线| 男女做爰动态图高潮gif福利片| 欧美日韩一级在线毛片| 婷婷亚洲欧美| 九色成人免费人妻av| 国产精品亚洲av一区麻豆| 国产午夜福利久久久久久| 国产伦人伦偷精品视频| 夜夜躁狠狠躁天天躁| 欧美av亚洲av综合av国产av| 99精品久久久久人妻精品| 女人爽到高潮嗷嗷叫在线视频| 国产精品一及| 久久这里只有精品19| 小说图片视频综合网站| 中文字幕熟女人妻在线| 欧美中文综合在线视频| 97碰自拍视频| 又大又爽又粗| 亚洲自偷自拍图片 自拍| 免费高清视频大片| 亚洲av电影不卡..在线观看| 大型黄色视频在线免费观看| a在线观看视频网站| 欧美日韩瑟瑟在线播放| 国产一区二区激情短视频| 丰满人妻熟妇乱又伦精品不卡| 午夜福利18| 欧美人与性动交α欧美精品济南到| 999久久久精品免费观看国产| 亚洲人成电影免费在线| 婷婷精品国产亚洲av在线| 又爽又黄无遮挡网站|