一、先進(jìn)陶瓷及其研究機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)介
我國(guó)先進(jìn)陶瓷材料的研究主要起始于20世紀(jì)70年代,以中科院上海硅酸鹽研究所、清華大學(xué)、山東工陶院、天津大學(xué)為代表的一批高校和研究院所率先開展結(jié)構(gòu)陶瓷、功能陶瓷的基礎(chǔ)理論與制備技術(shù)的研究。早期科研成果的產(chǎn)業(yè)化包括高壓鈉燈透明氧化鋁陶瓷燈管、氮化硅陶瓷刀具、透波石英陶瓷頭罩等。特別是在“七五”和“八五”期間,以高效發(fā)動(dòng)機(jī)和燃汽輪機(jī)中使用的高溫陶瓷關(guān)鍵零部件開發(fā)為導(dǎo)向的陶瓷材料的組成設(shè)計(jì)、晶界工程、凈尺寸陶瓷成型、氣壓燒結(jié)、熱壓燒結(jié)、熱等靜壓燒結(jié)技術(shù)的研發(fā)。當(dāng)時(shí)參與“發(fā)動(dòng)機(jī)用先進(jìn)陶瓷”這一國(guó)家層面的重大聯(lián)合攻關(guān)項(xiàng)目的單位有清華大學(xué)、上海硅酸鹽研究所、山東工陶院、天津大學(xué)、浙江大學(xué)、華南理工大學(xué)、中國(guó)建筑材料科學(xué)研究總院、上海內(nèi)燃機(jī)研究所等單位。研究的課題包括:1)氣氛加壓燒結(jié)Si3N4,界面特性;2)柴油機(jī)ZrO2陶瓷針閥研制;3)氮化硅陶瓷鑲塊材料的燒結(jié)制備;4)氮化硅陶瓷電熱塞研制;5)增壓器陶瓷渦輪轉(zhuǎn)子注射成型工藝研究;6)絕熱發(fā)動(dòng)機(jī)用增韌莫來(lái)石復(fù)相陶瓷部件;7)壓濾成型陶瓷渦輪轉(zhuǎn)子的研究;8)Mg-PSZ陶瓷材料及發(fā)動(dòng)機(jī)用陶瓷材料;9)Sialon陶瓷氣門的制備研究;10)Si3N4陶瓷與鋼的連接技術(shù)研究;11)檢測(cè)陶瓷零件的微焦點(diǎn)X-CT實(shí)驗(yàn)系統(tǒng);12)陶瓷的無(wú)損檢測(cè)與力學(xué)行為分析。正是上述這一歷時(shí)數(shù)年的先進(jìn)陶瓷大項(xiàng)目大工程,為我國(guó)先進(jìn)陶瓷的研究與發(fā)展培育了人才隊(duì)伍,奠定了技術(shù)與工藝基礎(chǔ)。
目前,國(guó)內(nèi)已有100多所大學(xué)和科研院所從事先進(jìn)陶瓷材料的研究,其中包括一批國(guó)家級(jí)陶瓷重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室或工程研究中心,如清華大學(xué)“新型陶瓷與精細(xì)工藝國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室”、中科院上硅所“高性能陶瓷和超微結(jié)構(gòu)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室”、武漢理工大學(xué)“材料復(fù)合新技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室”、山東工陶院的“國(guó)家工業(yè)陶瓷工程技術(shù)研究中心”。
先進(jìn)陶瓷材料研究的主要大學(xué)還包括:哈爾濱工業(yè)大學(xué)、東華大學(xué)、湖南大學(xué)、浙江大學(xué)、西北工業(yè)大學(xué)、西安交通大學(xué)、景德鎮(zhèn)陶瓷大學(xué)、長(zhǎng)沙理工大學(xué)、廣東工業(yè)大學(xué)、國(guó)防科技大學(xué)、江蘇大學(xué)、天津大學(xué)、東北大學(xué)、鄭州大學(xué)、北方民族大學(xué)、映西科技大學(xué)、武漢科技大學(xué)、華南理工大學(xué)、華中科技大學(xué)、北京大學(xué)、上海大學(xué)、海南大學(xué)、山東理工大學(xué)、昆明理工大學(xué)、遼寧科技大學(xué)、廈門大學(xué)、合肥工業(yè)大學(xué)、北京航天航空大學(xué)、北京理工大學(xué)、北京科技大學(xué)、湖南人文科技學(xué)院、湖北工業(yè)大學(xué)、西南交通大學(xué)、大連海事大學(xué)、上海海事大學(xué)、江蘇師范大學(xué)、廈門理工學(xué)院、紅河學(xué)院、合肥學(xué)院、銅仁學(xué)院等。
先進(jìn)陶瓷材料研究的主要科研院所還包括:中科院理化技術(shù)研究院、北京人工晶體研究院、中科院過(guò)程研究所、中科院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所、中電科集團(tuán)十二所、中電科集團(tuán)十三所、中電科集團(tuán)四十三所、中科院蘭州化學(xué)物理研究所、山東省硅酸鹽研究設(shè)計(jì)院、中國(guó)建筑材料科學(xué)研究總院陶瓷科字研究院、咸陽(yáng)陶瓷究設(shè)計(jì)院、江蘇陶瓷研究所、天津硅酸鹽研究所、佛山陶瓷研究所、遼寧省輕工業(yè)研究院。
二、結(jié)構(gòu)陶瓷及其研究機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)介
早在20世紀(jì)80年代,清華大學(xué)、中科院上海硅酸鹽研究所、天津大學(xué)、山東工陶院、中國(guó)建筑材料科學(xué)研究總院等高校和研究單位就以國(guó)家科技部的“陶瓷發(fā)動(dòng)機(jī)”項(xiàng)目為依托,開展多種結(jié)構(gòu)陶瓷材料及高溫陶瓷零部件的研發(fā),包括發(fā)動(dòng)機(jī)增壓用氮化硅渦輪轉(zhuǎn)子、發(fā)動(dòng)機(jī)缸蓋頂板的鎂部分穩(wěn)定氧化鋯陶瓷,簡(jiǎn)稱Mg-PSZ,發(fā)動(dòng)機(jī)高溫燃燒室碳化硅陶瓷,以及耐高溫耐腐蝕的氮化硅陶瓷氣門、搖臂鑲塊等,為此,在結(jié)構(gòu)陶瓷基礎(chǔ)理論方面開展了“晶界工程”“相變?cè)鲰g”“微觀結(jié)構(gòu)調(diào)控”等方面研究探索;在結(jié)構(gòu)陶瓷復(fù)雜形狀零部件成型方面開展了“陶瓷注射成型”“壓濾成型”“塑性擠壓成型”等新工藝;在陶瓷致密化燒結(jié)方面先后開展了“氣壓燒結(jié)”“氣氛燒結(jié)”“熱壓燒結(jié)”“熱等靜壓燒結(jié)”等燒結(jié)新技術(shù)的研發(fā)。上述這些基礎(chǔ)研究和陶瓷零部件的制備技術(shù)開發(fā)為我國(guó)后續(xù)先進(jìn)陶瓷的發(fā)展奠定了良好的基礎(chǔ),同時(shí)也培養(yǎng)了一批骨干人才隊(duì)伍。
清華大學(xué)研發(fā)的氮化硅基陶瓷刀具是較早實(shí)現(xiàn)成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化的結(jié)構(gòu)陶瓷產(chǎn)品之一,這種采用Si3N4,與TiC復(fù)合的陶瓷刀具在機(jī)械行業(yè)得到許多應(yīng)用;隨后發(fā)展了復(fù)合TiCN金屬陶瓷刀具,用于加工炮彈以及冷鑄鐵泥漿泵等硬質(zhì)鋼鐵。此外,研發(fā)的SiC晶須強(qiáng)韌化的SiN,陶瓷刀具及燃?xì)廨啓C(jī)用陶瓷葉片等結(jié)構(gòu)件。
天津大學(xué)在Mg-PSZ材料研究基礎(chǔ)上,制備出發(fā)動(dòng)機(jī)用陶瓷部件,并開展氧化鋯陶瓷成果轉(zhuǎn)化,先后開發(fā)出發(fā)動(dòng)機(jī)用高溫陶瓷缸蓋及石油井泥漿泵用氧化鋯陶瓷缸套。
10余年來(lái),中科院上海硅酸鹽研究所在碳化硅陶瓷制備材料上取得突破,成功制備出大尺寸碳化硅反射鏡,在空間對(duì)地觀測(cè)等重要領(lǐng)域獲得應(yīng)用。
山東工陶院發(fā)展了Si3N4,粉末的封閉式氮?dú)獗Wo(hù)噴霧造粒技術(shù),采用氣壓燒結(jié)與熱等靜壓燒結(jié)相結(jié)合技術(shù)制備出耐磨損、長(zhǎng)壽命、高可靠性氮化硅陶瓷軸承球。這種陶瓷軸承在航天發(fā)動(dòng)機(jī)、高速機(jī)床、風(fēng)力發(fā)電、高端醫(yī)療設(shè)備方面獲得重要應(yīng)用。
哈爾濱工業(yè)大學(xué)在航天防熱陶瓷復(fù)合材料和ZrB2等超高溫陶瓷零部件制備上取得許多成果,并成功應(yīng)用于航天工程與國(guó)防軍工。
西安交通大學(xué)在氮化硅-碳化硅納米陶瓷的無(wú)壓燒結(jié)制備、氮化硅陶瓷的相轉(zhuǎn)變和致密化、多孔氮化硅陶瓷的制備、反應(yīng)燒結(jié)碳化硅多孔陶瓷及多孔氮化硅-碳化硅納米復(fù)合材料方面做出了有特色的工作,所開發(fā)的無(wú)壓燒結(jié)制備的氮化硅-碳化硅納米復(fù)合材料具有高強(qiáng)度、耐磨性等優(yōu)點(diǎn),具有較高的實(shí)用價(jià)值。
北方民族大學(xué)長(zhǎng)期堅(jiān)守從事SiC陶瓷相圖與制備工藝研究,并將SiC常壓燒結(jié)技術(shù)應(yīng)用高性能SiC防彈陶瓷制備及產(chǎn)業(yè)化。
山東大學(xué)、景德鎮(zhèn)陶瓷大學(xué)與企業(yè)合作開發(fā)的熱壓燒結(jié)高硬度、高密度BC防彈陶瓷通過(guò)認(rèn)證,在軍隊(duì)人體防護(hù)和直升機(jī)上獲得應(yīng)用。
武漢理工大學(xué)開發(fā)的梯度復(fù)合材料、超硬陶瓷、導(dǎo)電陶瓷材料已應(yīng)用于國(guó)防軍工領(lǐng)域;清華大學(xué)和昆明理工大學(xué)在低熱導(dǎo)率熱障涂層材料的研發(fā)上也取得許多新成果。
近幾年,中科院上硅所、東華大學(xué)、北京理工大學(xué)等單位又開展高熵陶瓷的基礎(chǔ)研究。此外,中科院沈陽(yáng)金屬所、北京交通大學(xué)、清華大學(xué)、河南理工大學(xué)等單位在MAX相(如Ti3Sic2、Ti3AlC2)導(dǎo)電陶瓷方面做了不少研究工作,北京交通大學(xué)并將這種導(dǎo)電陶瓷應(yīng)用于電力機(jī)車受電弓滑板。
北京人工晶體研究院開發(fā)出可加工的云母玻璃陶瓷。該材料質(zhì)輕,抗熱沖擊性能好且體積電阻大,絕緣強(qiáng)度高,是一種優(yōu)良的電子絕緣材料,已獲得許多重要應(yīng)用。
三、功能陶瓷及其研究機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)介
功能陶瓷是具有電、磁、聲、光、熱、力、化學(xué)或生物功能等的介質(zhì)材料,因此,功能陶瓷材料種類多,用途廣泛。主要包括鐵電、壓電、介電、熱釋電、半導(dǎo)體、電光和磁性等功能各異的新型陶瓷。它是電子信息、集成電路、移動(dòng)通信、消費(fèi)電子、能源技術(shù)和國(guó)防軍工等現(xiàn)代高新技術(shù)領(lǐng)域的重要基礎(chǔ)材料。自20世紀(jì)70年代,國(guó)內(nèi)一批高校和科研院所就陸續(xù)對(duì)各種功能陶瓷材料從基礎(chǔ)理論到工程應(yīng)用展開研究。
多層片式陶瓷電容器(MLCC)是一種量大面廣的重要電子元器件,廣泛用于電子信息產(chǎn)品的各種表面貼裝電路中,清華大學(xué)、西安交通大學(xué)、同濟(jì)大學(xué)等高校相繼開展研究工作。特別是清華大學(xué)李龍土院士團(tuán)隊(duì)通過(guò)復(fù)合添加劑摻雜、調(diào)控顯微結(jié)構(gòu)制備出的鈦酸鋇基X7R 502 MLCC材料的室溫介電常數(shù)可達(dá)5000左右,室溫介電損耗小于1%,電阻率為1011Ω?m,擊穿場(chǎng)強(qiáng)高于5kV/mm,為制備軍用高可靠性大容量陶瓷電容器提供了關(guān)鍵材料,與風(fēng)華高科股份有限公司合作,獲得產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。此外進(jìn)行的片式電感(MLCI)研究,開發(fā)了共燒陶瓷技術(shù),推動(dòng)了片式電感與片式電容在我國(guó)的發(fā)展。
鐵電壓電陶瓷作為機(jī)、電、聲、光、熱敏感材料,在傳感器、換能器、無(wú)損檢測(cè)和通信技術(shù)等領(lǐng)域已獲得廣泛應(yīng)用。其中,壓電陶瓷及器件一直是人們關(guān)注和研究的一個(gè)熱點(diǎn)。中科院上海硅酸鹽研究所、清華大學(xué)、武漢理工大學(xué)、浙江大學(xué)、北京大學(xué)工學(xué)院、天津大學(xué)、景德鎮(zhèn)陶瓷大學(xué)先后開展了這方面的研究工作,其中上海硅酸鹽研究所研發(fā)的壓電陶瓷產(chǎn)品及器件在航空航天、醫(yī)療系統(tǒng)、油氣勘探等領(lǐng)域中得到了實(shí)際應(yīng)用。清華大學(xué)和北京大學(xué)開發(fā)壓電蜂鳴器、超聲波振子。特別是在超聲波壓電馬達(dá)方面取得許多成果,開發(fā)出轉(zhuǎn)速高達(dá)11200r/min的壓電微電機(jī),提出可10萬(wàn)次步進(jìn)累積誤差小于1度的壓電微馬達(dá)。先后成功研制出可用于電聲、消費(fèi)電子、電子通信、軍工等行業(yè)需求的新型壓電元器件和應(yīng)用技術(shù),如超精密壓電定位臺(tái)、人機(jī)交互的壓電陶瓷觸摸屏、超輕壓電音箱和壓電耳機(jī)。
微波介質(zhì)陶瓷是現(xiàn)代通信中廣泛使用的諧振器、濾波器、介質(zhì)基片、介質(zhì)天線、介質(zhì)導(dǎo)波回路等微波元器件的關(guān)鍵材料,也是功能陶瓷領(lǐng)域中研究十分活躍、發(fā)展迅速的一類材料。參與研究的高校和科研院所眾多,包括清華大學(xué)、浙江大學(xué)、上海硅酸鹽研究所、電子科技大學(xué)等單位,其中浙江大學(xué)在介電常數(shù)大于100的高介電常數(shù)微波介質(zhì)陶瓷新體系探索方面取得重要進(jìn)展。清華大學(xué)與同方公司合作開發(fā)了天線用微波陶瓷材料系列,介電常數(shù)從K10到K150的不同微波介質(zhì)陶瓷,可用于諧振器、濾波器。特別是針對(duì)5G基站濾波器應(yīng)用,制備出鈦酸鎂/鈦酸鈣微波介質(zhì)陶瓷樣品。據(jù)市場(chǎng)預(yù)測(cè)2020-2025年,5G基站用陶瓷濾波器將達(dá)到近100億元。
作為半導(dǎo)體功能陶瓷應(yīng)用的PTC熱敏電阻,繼日本、美國(guó)之后,國(guó)內(nèi)天津大學(xué)、華中科技大學(xué)先后研發(fā)出不同特性的PTC熱敏電阻陶瓷材料,并且實(shí)現(xiàn)規(guī)模化生產(chǎn)。
電子封裝用陶瓷基板,如Al2O3、ZTA、BeO、AlN,特別是高導(dǎo)熱氮化鋁、氮化硅陶瓷基板近10年來(lái)成為半導(dǎo)體功率器件、IGBT功率模塊中的關(guān)鍵封裝材料。早在21世紀(jì)初,清華大學(xué)開發(fā)出高導(dǎo)熱AlN基板的流延成型與低溫?zé)晒に?,中電科集團(tuán)十三所在AlN基板燒結(jié)、AlN基板金屬化工藝取得實(shí)用化成果,基板表面鍍銅(100μm Max)滿足電流承載需求,表面鍍覆鎳金適合鍵合和焊接。此外,在AlN多層陶瓷封裝方面,實(shí)現(xiàn)了AlN與W金屬化體系高溫共燒,多層陶瓷布線設(shè)計(jì)電路滿足需求,可以與金屬進(jìn)行釬焊。
近幾年,同時(shí)具有高導(dǎo)熱率,高強(qiáng)度、高韌性的氮化硅陶瓷基板成為功能——結(jié)構(gòu)一體化陶瓷的研究熱點(diǎn)。中科院上海硅酸鹽研究所、清華大學(xué)、廣東工業(yè)大學(xué)、山東工陶院等單位均開展了大量研發(fā)工作。上海硅酸鹽研究所采用硅粉氮化再進(jìn)行致密化燒結(jié)技術(shù)路線已制備出熱導(dǎo)率高達(dá)100W/(m·K)以上的Si3N4樣品,山東工陶院采用流延成型再排膠燒結(jié)得到80~90W(m?K)的SiN基板,并進(jìn)行了覆銅試驗(yàn)。清華大學(xué)與企業(yè)合作分別采用氣壓燒結(jié)和震蕩壓力燒結(jié)新工藝制備出熱導(dǎo)率達(dá)到85~95W(m·k)的大尺寸Si3N4基板,抗彎強(qiáng)度和斷裂韌性分別為750MPa和7MPa?m1/2。
在電子電氣工業(yè)上廣泛應(yīng)用的絕綠電子陶瓷研究的代表性單位有中電科集團(tuán)十二所,主要進(jìn)行電真空器件的研制生產(chǎn)。產(chǎn)品包括行波管、磁控管、速調(diào)管、閘流管、加速管、電力開關(guān)管等,廣泛用于通信、醫(yī)療、集裝箱在線檢測(cè)、工業(yè)無(wú)損探傷、電力開關(guān)柜等。
四、透明陶瓷及其研究機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)介
透明透波陶瓷是指對(duì)可見光和紅外波長(zhǎng)范圍電磁波具有良好透過(guò)性的陶瓷材料。這些陶瓷主要包括透明氧化鋁(Al2O3)、氧化釔(Y2O3)、氧化鎂(MgO)、鎂鋁尖晶石(MgAl2O4)以及阿?。ˋlON)透明陶瓷、釔鋁石榴石透明陶瓷(簡(jiǎn)稱YAG)和稀土摻雜釔鋁石榴石激光透明陶瓷(如Nd:YAG)。
早在20世紀(jì)70年代,清華大學(xué)苗赫濯教授團(tuán)隊(duì)采用氫氣氛燒結(jié)制備出透明Al2O3陶瓷與高壓鈉燈,高壓鈉燈發(fā)光效率比當(dāng)時(shí)的高壓汞燈高一倍以上,透射性強(qiáng),從而在北京長(zhǎng)安街、首都機(jī)場(chǎng)、港口獲得廣泛應(yīng)用。由于高壓鈉燈內(nèi)的透明燈管要耐受1300℃高溫鈉蒸汽腐蝕,因此玻璃燈管會(huì)被腐蝕導(dǎo)致失透,但透明Al2O3燈管可以勝任。進(jìn)入21世紀(jì),另一種新光源“陶瓷金鹵燈”因?yàn)楣饩€自然柔和、省電節(jié)能,從而獲得關(guān)注和應(yīng)用。中科院上硅所和清華大學(xué)分別開發(fā)出“金鹵燈”中的透明Al2O3放電管,并且獲得成果轉(zhuǎn)化與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。
透明Al2O3陶瓷也是一種生物相容性良好的齒科陶瓷材料,其中透明Al2O3陶瓷托槽被引入正畸領(lǐng)域,廣泛地應(yīng)用于牙齒矯正的臨床治療。與金屬托槽比較,透明陶瓷托槽由于其良好透明性和光澤度,使其更加美觀實(shí)用。多晶透明Al2O3托槽主要采用氫氣氛燒結(jié)或熱等靜壓燒結(jié),繼美國(guó)、瑞士、日本之后,清華大學(xué)、上硅所等單位也開發(fā)出此類產(chǎn)品。清華大學(xué)采用注射成型與熱等靜壓燒結(jié)制備的透明Al2O3陶瓷托槽,通過(guò)與北京首都醫(yī)科大學(xué)口腔醫(yī)院合作,成功應(yīng)用于牙齒矯正領(lǐng)域。
鎂鋁尖晶石(MgAl2O4)透明陶瓷具有光學(xué)各向同性的特性,因此比六方晶系的Al2O3透明度更高,而且對(duì)于紅外光和紫外光均具有良好的透過(guò)率。20世紀(jì)80年代美國(guó)軍方率先開展熱壓燒結(jié)透明尖晶石紅外整流罩的研究,美國(guó)的 CoorsTec和 Raytheon公司成功地制備出性能較為完善的透明尖晶石材料,并很快應(yīng)用于紅外戰(zhàn)術(shù)導(dǎo)彈系統(tǒng)。國(guó)內(nèi)90年代初開始研制透明尖晶石陶瓷。北京人工晶體研究院采用熱等靜壓燒結(jié)材料首先研發(fā)出透明尖晶石陶瓷,隨后天津津航技術(shù)物理研究所、中科院上海硅酸鹽研究所也制備出不同直徑的透明鎂鋁尖晶石陶瓷整流罩。
阿?。ˋlON,即氮氧化鋁)透明陶瓷由于具有良好的光學(xué)性能、介電性能、化學(xué)性能,同時(shí)還具有較高的抗彎強(qiáng)度和硬度,其適用范圍寬,從紫外區(qū)的02μm一直到外紅區(qū)的6.0μm,從而在透明裝甲和許多光學(xué)領(lǐng)域是非常有用的材料。例如用于雷達(dá)天線罩、耐高溫紅外傳感器窗口材料、坦克裝甲車的觀察窗、超音速飛機(jī)的風(fēng)擋。美國(guó) Surmet公司已可制備出610mm×914mm的大尺寸板材及各種窗口,成功應(yīng)用于航空航天及防彈透明裝甲等領(lǐng)域。國(guó)內(nèi)參與AlON透明陶瓷研究的主要有中科院上海硅酸鹽研究所、北京人工晶體研究院、武漢理工大學(xué)、山東理工大學(xué)、大連理工大學(xué)、天津津航技術(shù)物理研究所。其中,上海硅酸鹽研究所和人工晶體研究院已報(bào)道制備出性能較為優(yōu)異的中小尺寸AlON透明陶瓷產(chǎn)品。
釔鋁石榴石透明陶瓷是近20年來(lái)發(fā)展迅速的透明陶瓷材料,重點(diǎn)關(guān)注和研究釔鋁石榴石(簡(jiǎn)稱YAG)摻雜Nd3+、Yb3+、Ln3+、Er3+、Tm3+等稀土離子的激光透明材料與器件。1995年,日本科學(xué)家lkesue等人通過(guò)高溫固相反應(yīng),于1750℃真空燒結(jié)的1.1%Nd:YAG激光透明陶瓷的折射率、熱導(dǎo)率、硬度等物理性能與0.9%Nd:YAG單晶性能相當(dāng),其散射損耗低達(dá)0.009cm-1,某些發(fā)光性能甚至優(yōu)于提拉法(CZ法)制備的Nd:YAG單晶。與此同時(shí),研制出世界第一臺(tái)能與Nd:YAG單晶激光器相媲美的Nd:YAG透明陶瓷激光器。2016年美國(guó)利弗莫爾實(shí)驗(yàn)室與日本合作,采用Nd:YAG透明陶瓷板條研發(fā)的激光器可產(chǎn)生67kW的平均輸出功率。國(guó)內(nèi)中科院上海硅酸鹽研究所、中科院理化所、東北大學(xué)、四川大學(xué)、江蘇師范大學(xué)、北京人工晶體研究院先后開展了有關(guān)Nd:YAG粉體的化學(xué)合成、致密化燒結(jié)工藝和燒結(jié)助劑的開發(fā)以及Nd:YAG透明陶瓷激光器的研究。其中,上海硅酸鹽研究所的激光透明陶瓷的應(yīng)用取得了顯著成績(jī),采用固相反應(yīng)燒結(jié)技術(shù)研制的大尺寸Nd:YAG激光透明陶瓷板條(120mm×50mm×3mm)實(shí)現(xiàn)激光輸出平均功率為4350W,為國(guó)內(nèi)當(dāng)時(shí)Nd:YAG激光透明陶瓷激光輸出最高功率。
(摘自:《2020中國(guó)先進(jìn)陶瓷產(chǎn)業(yè)大全》)