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    CR,TM,HO:YAG激光晶體的生長與元件加工性能研究

    2021-06-11 18:30:03戴龐達(dá)竇仁勤王小飛張琦周佳佳
    錦繡·中旬刊 2021年1期
    關(guān)鍵詞:檢測

    戴龐達(dá) 竇仁勤 王小飛 張琦 周佳佳

    摘要:本文對Cr,Tm,Ho:YAG激光晶體的生長,加工和檢測進(jìn)行研究,采用提拉法成功生長出優(yōu)質(zhì)的Cr,Tm,Ho:YAG晶體,先進(jìn)的金剛石單線切割機(jī)床實(shí)現(xiàn)晶體元件的高精度切割,經(jīng)過粗磨、精磨等磨拋工藝可實(shí)現(xiàn)圓棒晶體元件端面的高精度拋光,通過干涉射儀、消光比測試系統(tǒng)對加工好的晶體元件進(jìn)行了檢測,實(shí)驗(yàn)表明面形、波前畸變和消光比都達(dá)到優(yōu)質(zhì)晶體元件水平。

    關(guān)鍵詞:Cr,Tm,Ho:YAG;晶體生長;加工;檢測

    0引言

    Cr,Tm,Ho:YAG激光晶體是實(shí)現(xiàn)2.1μm波段激光的優(yōu)異晶體材料,是醫(yī)學(xué)、光通信、激光雷達(dá)、軍事等方面應(yīng)用的理想光源[1-4]。目前國內(nèi)外對Cr,Tm,Ho:YAG激光器的研制作了大量的工作,也取得了較好的成果。基于高平均功率,高重復(fù)頻率,短脈沖的目標(biāo),高質(zhì)量的Cr,Tm,Ho:YAG激光增益介質(zhì)和高精度晶體加工是首要解決的關(guān)鍵問題。

    1、晶體生長

    本文采用提拉法進(jìn)行Cr,Tm,Ho:YAG激光晶體生長,生長方向?yàn)?111>方向,沿此方向有利于大尺寸晶體生長,<111>方向的純YAG晶體棒作為籽晶。依據(jù)Cr3+,Tm3+,Ho3+在YAG晶體中的分凝系數(shù),摻雜離子Cr3+,Tm3+,Ho3+的摻雜濃度分別是0.8at%,5.76 at%,0.36 at%。將高純的氧化物原料按配比稱重,充分混勻壓制成型后放入銥坩堝中進(jìn)行生長,生長氣氛為氮?dú)猓贋?-2 mm/h,轉(zhuǎn)速為5-15 r/min,生長完成后采用緩慢降溫程序,避免降溫過快導(dǎo)致晶體開裂。生長出的晶體毛坯尺寸為? 55 mm×140 mm。

    2、元件加工

    毛坯經(jīng)熱退火處理之后,進(jìn)行元件的切割與加工, Cr,Tm,Ho:YAG晶體毛坯粘結(jié)在工作臺上,設(shè)置切割速度為150-200mm/h,先除去頭尾并拋光,觀察晶體側(cè)心,核心。晶體切成三芽狀,去除晶體側(cè)心和核心,再將晶體切成細(xì)長條狀。將細(xì)長條狀晶體元件在晶棒滾圓機(jī)上滾圓,雙端面經(jīng)過粗磨、細(xì)磨、精拋等工序,加工成圓棒狀晶體元件,成品元件尺寸為? 4m×130 mm。

    3、加工性能

    采用ZygoXXX干涉射儀對經(jīng)過精加工的圓棒進(jìn)行表面面形及端面波前畸變檢測,采用消光比系統(tǒng)對圓棒進(jìn)行了消光比測試,測試結(jié)果表明晶體棒端面面形精度高,PV值達(dá)到0.008λ,波前畸變優(yōu)于0.15λ,消光比大于35dB。

    4、總結(jié)

    采用提拉法成功生長出了? 55 mm×140 mm Cr,Tm,Ho:YAG晶體,金剛石單線切割機(jī)替代傳統(tǒng)內(nèi)圓切割機(jī)可實(shí)現(xiàn)高精度晶體元件的切割,精加工后的晶體棒端面面形精度高,PV值達(dá)到0.008λ,波前畸變優(yōu)于0.15λ,消光比大于35dB,表明晶體質(zhì)量好,加工指標(biāo)優(yōu)異。

    參考文獻(xiàn)

    [1] B. M. Walsh, Laser Physics, 2009, 19(4): 855~866.

    [2] 吳春婷,鞠有倫,王振國,等. 激光二極管抽運(yùn)的 Tm,Ho:YLF 單模激光器[J]. 中國激光, 2008, 35(6): 815~818 .

    [3] 林志峰,高明偉,高春清. 激光二極管端面抽運(yùn) Tm:YAG 激光器[J]. 中國激光, 2007, 34(2): 181~185 .

    [4] 謝剛,彭躍峰,魯燕華,等.23.6W 高效率 2μm 激光器[J]. 中國激光, 2007, 34(11):1488~1491.

    項(xiàng)目支持:安徽省中央引導(dǎo)地方科技發(fā)展專項(xiàng)-地方科研基礎(chǔ)條件和能力建設(shè)“環(huán)拋檢測系統(tǒng)”(編號201907A03050004)

    (1. 皖江新興產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展中心?安徽?銅陵?244000;2. 安徽火天晶體科技有限公司?安徽?銅陵?230009)

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