手術(shù)室和超凈車間，哪個更干凈？

哇，芯片上面的線路好密，如果生產(chǎn)過程中掉進去一顆灰塵會怎么樣呢？一顆灰塵都不行嗎？

是的，一顆灰塵也不行。正因為芯片上面的線路排列得特別密，假如生產(chǎn)過程中有一顆灰塵掉上去，整個線路就會受影啊，使芯片受損，所（以芯片上面必須非常干爭。

醫(yī)院的手術(shù)室和集成電路生產(chǎn)車間都是對清潔要求極高的地方，你猜猜哪個更干凈呢？

手術(shù)室——無菌室

手術(shù)室是為病人提供手術(shù)及搶救的場所，為了防止感染，確保手術(shù)成功率，對清潔度要求非常高：不但要求地面臺面干凈、人員穿著干凈，手術(shù)時，必須鋪上無菌單、用無菌器械，甚至連空氣都是極干凈的。層流手術(shù)間采用空氣清潔措施，將空氣中的塵埃粒子過濾，使細菌沒有載體傳播，目的是有效預(yù)防和控制感染的發(fā)生。

芯片生產(chǎn)車間——不只只是無菌

環(huán)境中的雜質(zhì)對半導(dǎo)體的特性有著改變或破壞其性能的作用，所以，在芯片的生產(chǎn)過程中，不僅要求生產(chǎn)車間無菌，還必須無靜電、無灰塵、無有害氣體。

而進出車間的人怎么辦呢？我們知道，人體及衣物的毛屑是一項主要粉塵來源，為此，人和物進出時，必須經(jīng)過空氣吹浴程序，先將表面粉塵去除。另外，必須嚴格要求進出人員穿戴無塵衣，除了眼睛，均需與外界隔絕接觸（在次微米制程技術(shù)的工廠內(nèi)，工作人員幾乎穿戴得和航天員一樣）。

你知道嗎？

潔凈室用到的所有氣源都是氮氣（98%），吹干晶圓的氮氣甚至要求是99.8%以上的高純度氮。