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    功率半導(dǎo)體IGBT失效分析與可靠性研究

    2021-01-16 23:04:48黎長源項(xiàng)永金王少輝
    電子產(chǎn)品世界 2021年8期

    黎長源 項(xiàng)永金 王少輝

    摘?要:高端變頻空調(diào)在實(shí)際應(yīng)用中出現(xiàn)大量外機(jī)不工作,經(jīng)過大量失效主板分析確認(rèn)是主動(dòng)式PFC電路中IGBT擊穿失效,本文結(jié)合大量失效品分析與電路設(shè)計(jì)分析,對(duì)IGBT失效原因及失效機(jī)理分析,分析結(jié)果表明:經(jīng)過對(duì)IGBT失效分析及IGBT工作電路失效分析及整機(jī)相關(guān)波形檢測(cè)、熱設(shè)計(jì)分析、IGBT極限參數(shù)檢測(cè)對(duì)比發(fā)現(xiàn)IGBT失效由多種原因?qū)е?,IGBT在器件選型、器件可靠性、閂鎖效應(yīng)、驅(qū)動(dòng)控制、ESD能力等方面存在不足,逐一分析論證后從IGBT本身及電路設(shè)計(jì)方面全部提升IGBT工作可靠性。

    關(guān)鍵詞:主動(dòng)式PFC升壓電路;IGBT;SOA;閂鎖效應(yīng);ESD;熱擊穿失效

    0 引言

    IGBT(絕緣柵雙極型晶體管)是由BJT(雙極型三極管)和MOS(絕緣柵型場(chǎng)效應(yīng)管)組成的復(fù)合全控型電壓驅(qū)動(dòng)式功率半導(dǎo)體器件,兼有MOSFET的高輸入阻抗和GTR的低導(dǎo)通壓降兩方面優(yōu)點(diǎn)。IGBT綜合了以上兩種器件的優(yōu)點(diǎn),耐高壓、驅(qū)動(dòng)功率小而飽和壓降低、開關(guān)速度快、開關(guān)損耗小,非常適合應(yīng)用于直流電壓為600 V及以上的變流系統(tǒng),如交流電機(jī)、開關(guān)電源、照明電路、牽引傳動(dòng)。目前IGBT是綠色經(jīng)濟(jì)領(lǐng)域里的核心技術(shù)之一,規(guī)范應(yīng)用于在航空航天、新能源、軌道交通、工業(yè)變頻、智能電網(wǎng)等領(lǐng)域。IGBT作為自動(dòng)控制和功率變換的關(guān)鍵核心部件,是必不可少的功率“核芯”。采用IGBT進(jìn)行功率變換,能夠提高用電效率,提升用電質(zhì)量,實(shí)現(xiàn)30%~40%的節(jié)能效果。即使對(duì)傳統(tǒng)設(shè)備進(jìn)行IGBT技術(shù)改造,平均節(jié)電率仍可提升20%。此外,IGBT還是實(shí)現(xiàn)能源轉(zhuǎn)換的關(guān)鍵元件,光伏發(fā)電、風(fēng)力發(fā)電、太陽能發(fā)電等新能源都要借助IGBT產(chǎn)品將電能輸送到電網(wǎng)中[1-4]。

    1 分析與生效機(jī)理研究

    1.1 失效器件無損檢測(cè)分析

    1.1.1 X - ray透射分析

    失效IGBT表面無損傷,萬用表測(cè)試1、2、3腳互相短路,X光透射內(nèi)部IGBT芯片金線焊接等無異常,片芯表面有燒毀點(diǎn)(圖1),分析內(nèi)部過電損傷導(dǎo)致失效。

    1.1.2 開封解析

    對(duì)主板失效IGBT進(jìn)行開封解析,內(nèi)部片芯表面有擊穿燒痕跡,IGBT失效均為有源區(qū)(active area)受到高能量損壞,分析主要為過電擊穿失效,如表1所示。

    1.1.3 IGBT結(jié)構(gòu)描述

    絕緣柵雙極性晶體管IGBT等效電路如圖2所示。

    1.1.4 失效IGBT應(yīng)用電路

    如圖3,紅框部分為PFC電路整流濾波部分,C401電容具有濾波和抑制EMI作用,PFC主電路部分由PFC電感L3、IGBT及快恢復(fù)二極管D901組成。當(dāng)IGBT閉合時(shí)電感L3充能,IGBT斷開時(shí)電感L3釋放電能。IGBT應(yīng)用電路結(jié)構(gòu)圖如圖3所示。

    2 失效原因及失效機(jī)理分析

    經(jīng)過對(duì)失效IGBT器件ESD能力檢測(cè)、極限參數(shù)測(cè)試分析(極限耐壓、SOA安全工作區(qū)、開關(guān)損耗、)、應(yīng)用環(huán)境、驅(qū)動(dòng)電路設(shè)計(jì)、整機(jī)工作波形分析、熱設(shè)計(jì)分析發(fā)現(xiàn)其存在眾多不足,總結(jié)歸納如下。

    1)IGBT柵極ESD水平低,經(jīng)過對(duì)IGBT柵極ESD水平測(cè)試,ST IGBT柵極ESD水平平均在3 400 V,最低只有2 900 V,生產(chǎn)過程易出現(xiàn)靜電放電損傷IGBT。ST IGBT與Renesas、Farichild(編者注:2016年被安森美收購)靜電能力測(cè)試對(duì)比結(jié)果如表2。

    2)IGBT超出絕對(duì)最大值發(fā)生過電壓事件(RBSOA安全工作區(qū))、閂鎖效應(yīng)導(dǎo)致IGBT失效問題,經(jīng)過分析與廠家測(cè)試有關(guān),廠家測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)較為寬松,對(duì)于離散在邊緣位置的一部分物料沒有有效篩選剔除,在過負(fù)荷環(huán)境,在電源質(zhì)量差環(huán)境易出現(xiàn)IGBT閂鎖效應(yīng)導(dǎo)致?lián)舸┱ㄊ?,廠家在片芯測(cè)試環(huán)節(jié)沒有實(shí)施片芯閂鎖效應(yīng)測(cè)試篩選。

    3)IGBT應(yīng)用電路設(shè)計(jì)存在缺陷,在特殊條件下檢測(cè)有負(fù)壓存在,在PFC電路中若IGBT兩端存在負(fù)壓沒有二極管續(xù)流會(huì)損傷IGBT,導(dǎo)致?lián)舸┦А?/p>

    4)IGBT柵極耐壓測(cè)試發(fā)現(xiàn)IGBT及2個(gè)廠家驅(qū)動(dòng)芯片存在差異,東芝IGBT柵極極限耐壓在25~27 V,ST IGBT柵極極限耐壓在24 V,TC4427驅(qū)動(dòng)芯片極限耐壓23 V,IR4427驅(qū)動(dòng)芯片極限耐壓25~27 V。TC4427 IGBT驅(qū)動(dòng)芯片耐壓偏低,低于實(shí)際應(yīng)用24 V穩(wěn)壓二極管工作電壓,當(dāng)柵極電壓存在突變波動(dòng)時(shí),過壓沖擊將TC4427芯片擊穿,導(dǎo)致24 V穩(wěn)壓二極管實(shí)際上沒有工作電壓。穩(wěn)壓二極管選型不合理,需降低穩(wěn)壓二極管耐壓水平。TC4427 IGBT驅(qū)動(dòng)芯片極限耐壓水平在22 V,測(cè)試數(shù)據(jù)如表3。

    IGBT驅(qū)動(dòng)電路穩(wěn)壓管選型為24 V,在TC4427的引腳Vout上會(huì)出現(xiàn)瞬態(tài)大電壓,在空調(diào)機(jī)組關(guān)閉的瞬間,實(shí)際檢測(cè)IGBT驅(qū)動(dòng)波形發(fā)現(xiàn)最大脈沖電壓約為24 V,比TC4427規(guī)格書中的最大值22 V高出2 V,脈沖電壓超過最大值,器件的可靠性或使用壽命可能受影響。穩(wěn)壓管值24 V是基于保護(hù)IR4427選擇的,無法有效保護(hù)TC4427。需要改變穩(wěn)壓管值到22 V下,增大穩(wěn)壓管功率,從而有效保護(hù)TC4427免受過壓沖擊損壞。

    IGBT柵極極限耐壓測(cè)試如圖5~圖6,可見①G-E擊穿電壓:ST比東芝明顯偏低。②E-G擊穿電壓:ST比東芝明顯偏低。

    TC4427芯片極限電壓測(cè)試,TC4427芯片VCC測(cè)試首次出現(xiàn)擊穿拐點(diǎn)在18~19 V,隨著施加電壓增加擊穿電壓增大,總體測(cè)試芯片擊穿電壓大致范圍在21~23 V之間。

    5)模塊散熱效率差,散熱器使用金屬拉絲,表面粗糙度大(0.15 mm),影響模塊散熱效率,散熱器拉絲工藝外貌如圖7,需要降低粗糙度。更改散熱器銑削工藝。部分IGBT失效,通過分析為過流燒壞,進(jìn)一步分析為功率器件散熱不良失效,對(duì)應(yīng)IGBT螺釘鎖緊無異常。通過對(duì)故障件上匹配的散熱器粗糙度進(jìn)行檢查,確認(rèn)部分使用金屬拉絲工藝散熱器表面粗糙度較差,容易導(dǎo)致IGBT工作過程中局部地區(qū)散熱效果不佳,溫度積聚升高,過熱燒毀。

    6)IGBT銅板與散熱器電氣間隙不合格導(dǎo)致燒毀問題,經(jīng)過分析是硅膠片尺寸設(shè)計(jì)不合理,員工裝配存在差異,在硅膠片貼偏情況下,IGBT銅板與散熱器電氣出現(xiàn)間隙不合格擊穿燒毀IGBT。IGBT引腳與散熱器凸臺(tái)有一定間隙,硅膠片未能完全覆蓋,IGBT引腳與散熱器凸臺(tái)電氣間隙過小,也存在過電打火隱患。IGBT打火失效如圖8所示,需要增加硅膠片尺寸,保證有效電氣間隙。

    3 IGBT工作可靠性提升方案

    1)提升IGBT柵極ESD水平,由之前3 400 V提升至8 000 V?;径沤^生產(chǎn)過程ESD損傷IGBT導(dǎo)致失效問題。ST新品ESD水平測(cè)試測(cè)試數(shù)據(jù)如表4,AB兩個(gè)廠家IGBT柵極ESD測(cè)試對(duì)比數(shù)據(jù)如圖9所示。

    2)實(shí)施汽車級(jí)PPAT篩選測(cè)試標(biāo)準(zhǔn),增加100%片芯閂鎖效應(yīng)測(cè)試,廠家在片芯測(cè)試(增加PPAT測(cè)試篩選VTH、BVCES、VCESAT參數(shù))環(huán)節(jié)實(shí)施片芯閂鎖效應(yīng)測(cè)試篩選。PPAT測(cè)試能夠消除任何可能離群值或鎖存弱點(diǎn)如圖10所示,把離散的有質(zhì)量可靠性問題物料全部剔除。

    3)IGBT內(nèi)部增加5 A/600 V續(xù)流二極管,用于防止IGBT可能出現(xiàn)的負(fù)壓,解決IGBT反向負(fù)壓導(dǎo)致IGBT失效問題,提高IGBT在復(fù)雜環(huán)境工作的可靠性。

    4)IGBT柵極驅(qū)動(dòng)穩(wěn)壓二極管重新選型,將工作電壓由24 V改為20 V。

    調(diào)整前段穩(wěn)壓二極管穩(wěn)壓值,保證工作冗余量。TC4427芯片極限工作電壓大于22 V,實(shí)際測(cè)試平均工作極限耐壓值23 V,IGBT驅(qū)動(dòng)電路使用穩(wěn)壓二極管為24 V,不能有效驅(qū)動(dòng)IGBT保護(hù)電路,驅(qū)動(dòng)芯片失效,導(dǎo)致IGBT擊穿失效。測(cè)試TC4427芯片(IGBT驅(qū)動(dòng)芯片)各個(gè)批次的極限工作電壓大于22 V(符合規(guī)格書),普遍小于24 V,分析將線路設(shè)計(jì)中的24 V穩(wěn)壓二極管變更成20 V后,可以更好保護(hù)電路中的驅(qū)動(dòng)芯片和IGBT,如圖11所示。

    5)驅(qū)動(dòng)芯片改為IR4427芯片,該芯片柵極耐壓相對(duì)較高,TC4427耐壓在22~23 V,IR4427極限耐壓在25~27 V。

    6)提升散熱效率,改變散熱器加工工藝,由金屬拉絲工藝改為銑削工藝,提高散熱器裝配面的粗糙度,由0.15 mm降低0.05 mm,IGBT散熱效率大幅度提升。IGBT整體溫升降低5 ℃。

    7)硅膠片尺寸加長,更改硅膠片尺寸,杜絕硅膠片尺寸過小造成的IGBT與散熱器接觸打火燒毀。比之前加長8 mm,能更好包裹住IGBT本體底部及IGBT引腳,防止硅膠片與散熱器接觸出現(xiàn)漏電,以及電氣間隙不足導(dǎo)致的打火異常。

    8)選取低熱阻的硅膠片,提高IGBT散熱效率,經(jīng)過對(duì)新物料IGBT溫升及散熱效率測(cè)試,可以降低溫升5 ℃左右。降低IGBT熱擊穿失效概率,提高IGBT工作可靠性。

    4 整改總結(jié)及意義

    本文結(jié)合大量失效品分析與電路設(shè)計(jì)分析,對(duì)IGBT失效原因及失效機(jī)理分析的結(jié)果表明:經(jīng)過對(duì)IGBT失效分析及IGBT工作電路失效分析及整機(jī)相關(guān)波形檢測(cè)、熱設(shè)計(jì)分析、IGBT極限參數(shù)檢測(cè)對(duì)比發(fā)現(xiàn)IGBT失效由多種原因?qū)е?,IGBT在器件選型、器件可靠性、閂鎖效應(yīng)、驅(qū)動(dòng)控制、ESD能力等方面存在不足,逐一分析論證后,從IGBT本身及電路設(shè)計(jì)方面提升IGBT工作可靠性。

    參考文獻(xiàn):

    [1] 王瑞.大功率IGBT柵極驅(qū)動(dòng)電路的研究[J].電氣自動(dòng)化, 2014(3):115-117.

    [2] 楊閎盛,宋郭蒙,王雄.IGBT模塊與散熱器接觸界面氣隙對(duì)散熱的影響研究[J].機(jī)車電傳動(dòng),2020(1):18-21,33.

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