“定制”微器件為新材料應(yīng)用探路

微電子器件(簡稱“微器件”)“潛伏”在人們?nèi)粘Ｉ钪校热缫徊科胀ㄊ謾C(jī)的CPU(中央處理器)里有多達(dá)百億個(gè)晶體管(微器件的一種)。中科院上海技術(shù)物理研究所研究員王建祿等人，通過新型制備方法，能按需定制微器件，有望加速未來的新型半導(dǎo)體材料的應(yīng)用。相關(guān)成果于近期在線發(fā)表于國際期刊《自然·電子學(xué)》上。

傳統(tǒng)的半導(dǎo)體微器件工藝過程十分繁瑣復(fù)雜。例如，要通過幾百道甚至上千道的工藝，才能獲得常用的計(jì)算機(jī)芯片，研究團(tuán)隊(duì)探索的是：如何以簡單的工藝，按需定制微器件。

可以這么描述他們的制備方法：用“納米畫筆”在“畫布”上畫出微器件。這里的“納米畫筆”指的是納米尺度的針尖。“畫布”則是一種特殊的納米薄膜——鐵電薄膜。

王建祿指出，這種制備方法適用于幾乎所有的半導(dǎo)體薄膜材料，但由于傳統(tǒng)材料的制備工藝已相對成熟，新方法更適用于未來新型低維半導(dǎo)體材料的應(yīng)用上。