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    從SiP到Chiplet三先進(jìn)封裝持續(xù)演進(jìn)

    2020-10-20 05:37陳炳欣
    中國(guó)電子報(bào) 2020年65期
    關(guān)鍵詞:基板異構(gòu)臺(tái)積

    陳炳欣

    摩爾定律的延伸受到物理極限、巨額資金投入等多重壓力,迫切需要?jiǎng)e開(kāi)蹊徑推動(dòng)技術(shù)進(jìn)步。而通過(guò)先進(jìn)封裝可以相對(duì)輕松地實(shí)現(xiàn)芯片的高密度集成、體積的微型化和更低的成本,這使得臺(tái)積電、英特爾、三星,以及主要封測(cè)代工廠商(OSAT)都對(duì)先進(jìn)封裝給予了高度重視,紛紛布局發(fā)展這方面的能力。在此情況下,近年來(lái)先進(jìn)封裝技術(shù)不斷演進(jìn),產(chǎn)業(yè)型態(tài)也展現(xiàn)出一些新的特征。

    .廠商重點(diǎn)布局先進(jìn)封裝

    在需求增長(zhǎng)帶動(dòng)下,越來(lái)越多的先進(jìn)封裝技術(shù)被開(kāi)發(fā)出來(lái),先進(jìn)封裝的市場(chǎng)占比將會(huì)進(jìn)一步擴(kuò)大。

    隨著摩爾定律面臨諸多瓶頸、先進(jìn)工藝逼近物理極限,業(yè)界普遍認(rèn)為,先進(jìn)封裝會(huì)成為下一階段半導(dǎo)體技術(shù)的重要發(fā)展方向。臺(tái)積電、英特爾、三星三大半導(dǎo)體龍頭企業(yè)均提早布局先進(jìn)封裝技術(shù)。

    在近日召開(kāi)的線,上技術(shù)研討會(huì)中,臺(tái)積電副總裁余振華分享了臺(tái)積電在先進(jìn)封裝上的一些發(fā)展現(xiàn)狀和未來(lái)規(guī)劃。余振華強(qiáng)調(diào),臺(tái)積電將SoIC、CoWoS、InFO-R、CoW、WoW等先進(jìn)封裝技術(shù)平臺(tái)加以整合,統(tǒng)一命名為“TSMC3D Fabric”。此平臺(tái)將提供芯片連接解決方案,滿足用戶(hù)在整合數(shù)字芯片、高帶寬存儲(chǔ)芯片及特殊工藝芯片方面的需求。臺(tái)積電認(rèn)為,芯片在2D層面的微縮已不能滿足異構(gòu)集成的需求,3D才是未來(lái)提升系統(tǒng)效能、縮小芯片面積、整合不同功能的發(fā)展趨勢(shì)。

    英特爾也在日前舉辦的架構(gòu)日活動(dòng)上介紹了新的先進(jìn)封裝技術(shù)——“混合結(jié)合(Hybrid bonding)”。當(dāng)前,多數(shù)封裝技術(shù)采用“熱壓結(jié)合(thermocompression bond-ing)”,而“混合結(jié)合”能夠?qū)崿F(xiàn)10微米及以下的凸點(diǎn)間距,較Fovreros封裝的25~50微米凸點(diǎn)間距有了明顯提升,并且優(yōu)化芯片的互連密度、帶寬和功率表現(xiàn),進(jìn)一步提升芯片系統(tǒng)的計(jì)算效能。使用“混合結(jié)合”技術(shù)的測(cè)試芯片已在2020年第二季度流片。專(zhuān)業(yè)封測(cè)代工(OSAT)廠商對(duì)先進(jìn)封裝同樣極為重視。長(zhǎng)電科技技術(shù)市場(chǎng)副總裁包旭升在接受采訪時(shí)表示:“目前我們重點(diǎn)發(fā)展幾種類(lèi)型的先進(jìn)封裝技術(shù)。首先是系統(tǒng)級(jí)封裝(SiP),隨著5G的部署加快,這類(lèi)封裝技術(shù)的應(yīng)用范圍將越來(lái)越廣泛。其次是應(yīng)用于Chiplet SiP的2.5D/3D封裝,以及晶圓級(jí)封裝,并且利用晶圓級(jí)技術(shù)在射頻特性上的優(yōu)勢(shì)推進(jìn)扇出型(Fan-Out)封裝。此外,我們也在開(kāi)發(fā)部分應(yīng)用于汽車(chē)電子和大數(shù)據(jù)存諸等發(fā)展較快的熱門(mén)封裝類(lèi)型?!?/p>

    事實(shí)上,國(guó)內(nèi)三大封測(cè)公司均在加大先進(jìn)封裝,上的投人力度。財(cái)報(bào)中,長(zhǎng)電科技表示2020年下半年將繼續(xù)深化總部功能整合,加大先進(jìn)封裝工藝及產(chǎn)品的研發(fā)投人,積極搭建設(shè)計(jì)服務(wù)新業(yè)務(wù)平臺(tái),不斷強(qiáng)化長(zhǎng)電科技核心競(jìng)爭(zhēng)力并在工廠端落實(shí)。

    華天科技2020年上半年在先進(jìn)封裝方面的研發(fā)費(fèi)用達(dá)2億元,同比增長(zhǎng)15.41%,占營(yíng)業(yè)收入比例為5.4%。

    2020年上半年,通富微電在2D、2.5D封裝技術(shù)研發(fā)上取得突破,SiBridge封裝技術(shù)研發(fā)拓展,Low-powerDDR、DDP封裝技術(shù)研發(fā)取得突破。

    總之,在市場(chǎng)需求的增長(zhǎng)下,越來(lái)越多先進(jìn)封裝技術(shù)被開(kāi)發(fā)出來(lái),先進(jìn)封裝的市場(chǎng)占比將會(huì)進(jìn)一步擴(kuò)大。

    統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示,從2017年到2023年,整個(gè)半導(dǎo)體封裝市場(chǎng)的營(yíng)收將以5.2%的復(fù)合年增長(zhǎng)率增長(zhǎng),而先進(jìn)封裝市場(chǎng)將以7%的復(fù)合年增長(zhǎng)率增長(zhǎng),市場(chǎng)規(guī)模到2023年將增長(zhǎng)至390億美元。另一方面,傳統(tǒng)封裝市場(chǎng)的復(fù)合年增長(zhǎng)率則低于3.3%。

    先進(jìn)封裝技術(shù)持續(xù)演進(jìn)

    隨著采用多芯片異構(gòu)集成方式的不斷探索,Chiplet或許將成為未來(lái)芯片制造中的重要發(fā)展方向。

    傳統(tǒng),上,封裝的目的是將切割好的芯片進(jìn)行固定、引線和塑封保護(hù)。但隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,越來(lái)越多前道工藝需要完成的步驟被引入后道工藝當(dāng)中,兩者的界限變得越來(lái)越模糊。隨之而來(lái)的是,越來(lái)越多超越傳統(tǒng)封裝理念的先進(jìn)封裝技術(shù)被提出。

    據(jù)包旭升介紹,先進(jìn)封裝主要涉及芯片厚度減小、尺寸增大及其對(duì)封裝集成敏感度的提高,基板線寬距和厚度的減小,互聯(lián)高度和中心距的減小,弓腳中心距的減小,封裝體結(jié)構(gòu)的復(fù)雜度和集成度提高,以及最終封裝體的小型化發(fā)展、功能的提升和系統(tǒng)化程度的提高。

    先進(jìn)封裝的關(guān)鍵工藝涉及芯片互聯(lián)(WB/打線、FC/倒裝RDL/重布線、TSV/硅穿孔DBI等)和基板(金屬框架、陶瓷基板、有機(jī)基板RDLstack/重布線堆疊、異構(gòu)基板、轉(zhuǎn)接基板等),芯片、器件的保護(hù)與散熱(塑封、空腔、FcBGA和裸芯片/WLC-SP等),以及不同引腳形式(Lead、Non-lead.BGA等)的結(jié)合。

    SiP是當(dāng)前應(yīng)用最為廣泛的先進(jìn)封裝技術(shù)之一,是先進(jìn)封裝中帶有系統(tǒng)功能的多芯片與器件的一種封裝形式的總稱(chēng)。SiP可以將一顆或多顆芯片及被動(dòng)元件整合在一個(gè)封裝模塊當(dāng)中,從而實(shí)現(xiàn)具有完整功能的電路集成。這種封裝方式可以降低成本,縮短上市時(shí)間,同時(shí)克服了芯片系統(tǒng)集成過(guò)程中面臨的工藝兼容、信號(hào)混合、噪聲干擾、電磁干擾等難題。

    隨著先進(jìn)封裝技術(shù)的發(fā)展,一種“小芯片(Chiplet)"的發(fā)展理念又被提出,成為當(dāng)前封裝領(lǐng)域最熱門(mén)的話題之一。包旭升認(rèn)為,Chiplet其實(shí)也可以算是一種SiP技術(shù),是系統(tǒng)級(jí)芯片(SoC)中IP模塊的芯片化。

    其主要目的是為了提高良率和降低成本,同時(shí)提高設(shè)計(jì)的靈活度,縮短設(shè)計(jì)周期。一般來(lái)說(shuō),一顆SoC芯片中會(huì)包含許多不同的IP模塊,隨著芯片制造工藝已經(jīng)演進(jìn)到7/5nm,但并不是所有IP模塊都需要做到7/5nm,把一些IP模塊單獨(dú)拿出來(lái),做成一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)化功能的小芯片,這個(gè)就可以稱(chēng)為Chipleto它相當(dāng)于一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)化的元件,當(dāng)這個(gè)單獨(dú)的標(biāo)準(zhǔn)化元件制造完成之后,可以再和其他的功能模塊,如存儲(chǔ)芯片、應(yīng)用處理器等封裝在一起,做成一個(gè)SiP模塊,執(zhí)行復(fù)雜的功能。

    對(duì)此,半導(dǎo)體專(zhuān)家莫大康指出,人們?cè)诓粩嗵剿鞑捎枚嘈酒悩?gòu)集成的方式,把一顆復(fù)雜的芯片分解成若干個(gè)子系統(tǒng),其中一些子系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化,然后就像IP核一樣把它們封裝在一起。Chiplet或許將成為未來(lái)芯片制造當(dāng)中一個(gè)重要的發(fā)展方向。

    產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)競(jìng)合中發(fā)展

    未來(lái),隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,制造與封裝的競(jìng)合關(guān)系也在不斷演進(jìn)當(dāng)中。

    除了技術(shù)。上的演進(jìn),先進(jìn)封裝的發(fā)展對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)也在產(chǎn)生新的影響。技術(shù)大會(huì)上,臺(tái)積電表示,其封裝平臺(tái)“3DFabric"劃分為兩個(gè)部分,“前端”封裝技術(shù)和“后端”封裝技術(shù)。

    按照臺(tái)積電定義,諸如CoW(chip-on-wafer)和WoW(wafer-on-wa-fer)等前端芯片堆疊技術(shù)統(tǒng)稱(chēng)為“SoIC”,即集成芯片系統(tǒng)(System of Integrated Chips)。這些技術(shù)的目標(biāo)是在前道工藝部分,即將硅片堆疊在一起。而后端芯片3D封裝包括InFo(Intergrated Fan-Out)和COWoS(Chipon Waferon Substrate)等技術(shù),它們可以在后道工藝中實(shí)現(xiàn)不同異質(zhì)芯片的3D堆疊。

    在傳統(tǒng)封裝技術(shù)向先進(jìn)封裝演進(jìn)的過(guò)程中,就有人提出“中道工藝”的概念,使傳統(tǒng)。上前段晶圓制造工藝與后段封裝工藝的界線逐漸模糊。隨著臺(tái)積電將先進(jìn)封裝進(jìn)一步劃分為“前端”封裝技術(shù)和“后端”封裝技術(shù),晶圓制造與封裝的界線將進(jìn)一步被打破,對(duì)于原有設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)的產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)將產(chǎn)生新的影響。

    莫大康指出,將來(lái)很難清楚劃分前段晶圓制造工藝與后段封裝。比如Chiplet就是一種單元庫(kù),誰(shuí)有需要誰(shuí)就可以調(diào)用。對(duì)于從業(yè)者來(lái)說(shuō),晶圓廠也在做封裝。如果我們的封裝廠只停留在封裝階段,不懂晶圓制造、不懂設(shè)計(jì),恐怕封裝也很難搞好,將無(wú)法適合未來(lái)的競(jìng)爭(zhēng)形勢(shì)。

    包旭升也認(rèn)同這樣的發(fā)展趨勢(shì).“2.5D和3D封裝中涉及到許多技術(shù),實(shí)際上是前段工藝的一種延續(xù),而晶圓廠在前段環(huán)節(jié)是有技術(shù)優(yōu)勢(shì)的,比如硅轉(zhuǎn)接板(SiTSV Interposer)封裝、3D微凸塊micro-bumps,或者晶圓的Waferto Wafer高密度連接。而我們后道封裝廠商的優(yōu)勢(shì)在于異質(zhì)異構(gòu)的集成。晶圓廠在2.5D和3D技術(shù)領(lǐng)域的開(kāi)發(fā),對(duì)我們確實(shí)有一定影響,因?yàn)樗麄兡軌蚶米陨韮?yōu)勢(shì),在中道晶圓級(jí)環(huán)節(jié)延續(xù)競(jìng)爭(zhēng)力。但是作為封裝廠,我們也有在2.5D和3D后道封裝領(lǐng)域的經(jīng)驗(yàn)積累和技術(shù)壁壘。另外,從供應(yīng)鏈角度考慮,很多客戶(hù)還是期待專(zhuān)業(yè)化的分工,希望晶圓廠專(zhuān)注做好芯片,封裝再單獨(dú)找其他廠商來(lái)做?!卑裆f(shuō)。

    未來(lái),隨著技術(shù)的發(fā)展,制造與封裝的競(jìng)合關(guān)系也在不斷演進(jìn)當(dāng)中。

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