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    基于多視場(chǎng)視覺(jué)系統(tǒng)的倒裝焊機(jī)調(diào)平和對(duì)位

    2020-05-07 01:25:06王瑞鵬狄希遠(yuǎn)
    山西電子技術(shù) 2020年2期
    關(guān)鍵詞:對(duì)位視場(chǎng)基板

    景 灝,王瑞鵬,閆 瑛,狄希遠(yuǎn)

    (中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第二研究所,山西 太原 030024)

    0 引言

    紅外探測(cè)器主要用于紅外熱成像、紅外遙感等方面,隨著加工工藝技術(shù)的不斷進(jìn)步,探測(cè)器逐漸向高探測(cè)率、大面陣方向發(fā)展[1]。倒裝互連作為探測(cè)器的主要互連工藝,它的互連過(guò)程包含調(diào)平、對(duì)位和壓焊[2],如圖1所示,其影響成品率的關(guān)鍵因素有兩點(diǎn),一是芯片和基板能夠準(zhǔn)確調(diào)平,使壓焊后銦球產(chǎn)生均勻形變,二是通過(guò)精確對(duì)位,使芯片和基板上的焊點(diǎn)可以相互對(duì)準(zhǔn),從而保障產(chǎn)品的光、機(jī)、電特性[3]。因此,倒裝焊機(jī)需要解決的關(guān)鍵問(wèn)題就是倒裝互連時(shí)芯片與基板的調(diào)平和對(duì)位問(wèn)題。本文將針對(duì)該問(wèn)題,介紹一種多視場(chǎng)的視覺(jué)系統(tǒng),通過(guò)視覺(jué)圖像分析和算法處理,配合精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)倒裝焊機(jī)的調(diào)平和對(duì)位。

    圖1 紅外探測(cè)器倒裝互連示意圖

    1 視覺(jué)系統(tǒng)工作原理

    倒裝焊機(jī)視覺(jué)系統(tǒng)由大視場(chǎng)、準(zhǔn)直視場(chǎng)和對(duì)位視場(chǎng)組成。大視場(chǎng)視野大,分辨率低,用于基板的粗定位。準(zhǔn)直視場(chǎng)可投射特定十字靶標(biāo)圖形,通過(guò)分析芯片和基板平面反射回的圖像,確定平行度調(diào)節(jié)量。對(duì)位視場(chǎng)視野小,分辨率高,可識(shí)別芯片和基板的標(biāo)記圖形,精確計(jì)算對(duì)位調(diào)節(jié)量。

    設(shè)備配備精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng),包含5個(gè)平臺(tái)和9個(gè)運(yùn)動(dòng)軸,各個(gè)平臺(tái)對(duì)應(yīng)的運(yùn)動(dòng)軸名稱和數(shù)量如表1所示,對(duì)應(yīng)的編號(hào)和分布如表1和圖2所示?;鍖?duì)位平臺(tái)實(shí)現(xiàn)基板的平移和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),光學(xué)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)直和對(duì)位視場(chǎng)的平移運(yùn)動(dòng),半球搖擺俯仰平臺(tái)以基板平面為基準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)芯片和基板的調(diào)平運(yùn)動(dòng),ZUBA運(yùn)動(dòng)平臺(tái)實(shí)現(xiàn)芯片取料、芯片聚焦和壓焊運(yùn)動(dòng),聚焦平臺(tái)實(shí)現(xiàn)基板聚焦運(yùn)動(dòng)。

    表1 精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)軸分配表

    圖2 精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)工作原理圖

    2 視覺(jué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)

    目前,紅外探測(cè)器焊點(diǎn)加工尺寸均為微米級(jí),其高精度的倒裝互連工藝對(duì)倒裝焊機(jī)的調(diào)平和對(duì)位能力提出了更高的要求。針對(duì)該要求,現(xiàn)將設(shè)備視覺(jué)系統(tǒng)和精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)介紹如下。

    2.1 多視場(chǎng)視覺(jué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)

    2.1.1 大視場(chǎng)設(shè)計(jì)

    大視場(chǎng)的安裝結(jié)構(gòu)如圖3所示,CCD相機(jī)和鏡頭采用斜裝的方式,拍攝放置于基板夾具上的基板,由于相機(jī)傾斜拍攝,需要對(duì)圖像進(jìn)行梯形校正,并基于基板對(duì)位平臺(tái)進(jìn)行標(biāo)定。大視場(chǎng)將基板相對(duì)于芯片對(duì)齊的位置作為基準(zhǔn)位置,手動(dòng)放置基板后,運(yùn)行大視場(chǎng)粗定位功能,可以對(duì)基板的位置進(jìn)行粗調(diào)整,使基板和芯片的標(biāo)記圖形能夠同時(shí)處于對(duì)位視場(chǎng)內(nèi)。

    圖3 大視場(chǎng)設(shè)計(jì)原理圖

    2.1.2 準(zhǔn)直視場(chǎng)設(shè)計(jì)

    準(zhǔn)直視場(chǎng)的安裝位置如圖2所示,分別將明亮的十字靶標(biāo)圖形打在芯片和基板的反射面上,反射圖形傳送到CCD上。根據(jù)光學(xué)準(zhǔn)直原理,若CCD上顯示兩個(gè)不重合的十字靶標(biāo)圖形,則芯片和基板不平行,通過(guò)驅(qū)動(dòng)半球搖擺俯仰平臺(tái),調(diào)節(jié)兩個(gè)十字靶標(biāo)圖形至完全重合,則可以完成芯片和基板的調(diào)平。

    2.1.3 對(duì)位視場(chǎng)設(shè)計(jì)

    對(duì)位視場(chǎng)的安裝位置如圖2所示,拍攝芯片時(shí),打開(kāi)芯片光源,關(guān)閉基板光源,物鏡固定不動(dòng),ZUBA運(yùn)動(dòng)平臺(tái)帶動(dòng)芯片,調(diào)整芯片高度來(lái)實(shí)現(xiàn)芯片聚焦;拍攝基板時(shí),打開(kāi)基板光源,關(guān)閉芯片光源,聚焦平臺(tái)帶動(dòng)物鏡,調(diào)整物鏡高度來(lái)實(shí)現(xiàn)基板聚焦。視覺(jué)對(duì)位時(shí),將標(biāo)記圖形制作為模板,分別拍攝芯片和基板的標(biāo)記圖形進(jìn)行定位,以芯片位置為基準(zhǔn),分析計(jì)算出基板的旋轉(zhuǎn)和平移的調(diào)節(jié)量,驅(qū)動(dòng)基板對(duì)位平臺(tái)進(jìn)行對(duì)位調(diào)整。

    2.1.4 多視場(chǎng)視覺(jué)系統(tǒng)的關(guān)系

    多視場(chǎng)視覺(jué)系統(tǒng)包括大視場(chǎng)、準(zhǔn)直視場(chǎng)和對(duì)位視場(chǎng),三者既功能獨(dú)立,又相互聯(lián)系。大視場(chǎng)視覺(jué)系統(tǒng)斜裝在工作臺(tái)側(cè)面,基于基板對(duì)位平臺(tái)進(jìn)行標(biāo)定,實(shí)現(xiàn)基板的粗定位。準(zhǔn)直和對(duì)位視場(chǎng)統(tǒng)一安裝于光學(xué)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。對(duì)位視場(chǎng)和大視場(chǎng)的共同點(diǎn)是,兩視場(chǎng)均基于基板對(duì)位平臺(tái)進(jìn)行標(biāo)定,即兩者空間坐標(biāo)統(tǒng)一,兩者的區(qū)別是對(duì)位視場(chǎng)相比于大視場(chǎng)視野更小,分辨率更高,可用于微米級(jí)標(biāo)記圖形的精確定位。

    2.2 精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)

    精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的各平臺(tái)分布如圖2所示。其中,基板對(duì)位平臺(tái)、光學(xué)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、ZUBA運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和聚焦平臺(tái)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行了整體搭建,保證對(duì)位平臺(tái)的穩(wěn)定性,統(tǒng)一采用光柵組反饋進(jìn)行閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制,采用UP級(jí)低摩擦系數(shù)線性導(dǎo)軌導(dǎo)向,能夠滿足設(shè)備的運(yùn)動(dòng)精度要求。

    半球搖擺俯仰平臺(tái)采用氣浮導(dǎo)向,使用兩臺(tái)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)精密螺旋推桿,使球凸產(chǎn)生運(yùn)動(dòng),從而實(shí)現(xiàn)芯片和基板的調(diào)平運(yùn)動(dòng)。旋轉(zhuǎn)中心位于芯片位置附近,可降低搖擺運(yùn)動(dòng)對(duì)XY方向的影響。

    半球搖擺俯仰平臺(tái)的設(shè)計(jì)原理如圖4所示。已知步進(jìn)電機(jī)推桿和球面連接桿交點(diǎn)到球面頂點(diǎn)的距離為A,球面半徑為R,轉(zhuǎn)角分辨率為B,轉(zhuǎn)角行程為C,步進(jìn)電機(jī)導(dǎo)程為S,傳動(dòng)裝置的綜合傳動(dòng)效率為η,減速比為i,保持轉(zhuǎn)矩為HT,設(shè):D為步進(jìn)電機(jī)單脈沖行程,θs為步進(jìn)電機(jī)步距角,E為整個(gè)行程允許位移,F(xiàn)為推力,計(jì)算過(guò)程如下:

    D=(A+R)×tan(B).

    (1)

    (2)

    E=(A+R)×tan(C).

    (3)

    HT=(F×S)/(2π×η×i).

    (4)

    圖4 半球搖擺平臺(tái)設(shè)計(jì)原理圖

    2.3 視覺(jué)軟件功能及算法

    視覺(jué)軟件是視覺(jué)系統(tǒng)的大腦,識(shí)別輸入的圖像信息,完成數(shù)據(jù)的分析和輸出。倒裝焊機(jī)配備了多視場(chǎng)視覺(jué)系統(tǒng),準(zhǔn)直視場(chǎng)采集用于調(diào)平的十字靶標(biāo)圖形,對(duì)位視場(chǎng)采集用于對(duì)位的標(biāo)記圖形。于是,倒裝焊機(jī)的調(diào)平和對(duì)位能否實(shí)現(xiàn),很大程度取決于視覺(jué)軟件對(duì)圖像信息的識(shí)別和分析效果。

    1) 模板:在圖像識(shí)別的方法當(dāng)中,基于形狀的模板匹配法具有處理時(shí)間短,精度高,可通過(guò)切換模板靈活適應(yīng)不同工件圖形等優(yōu)勢(shì),更加符合本系統(tǒng)視覺(jué)軟件需求。制作模板和對(duì)位時(shí)對(duì)圖像采集的要求為,通過(guò)聚焦使圖像有清晰的輪廓,通過(guò)調(diào)整光源和相機(jī)參數(shù)使圖像呈現(xiàn)鮮明的對(duì)比特征。

    2) 標(biāo)定:視覺(jué)標(biāo)定的作用是建立視場(chǎng)中像素坐標(biāo)系和空間坐標(biāo)系之間的關(guān)系。大視場(chǎng)和對(duì)位視場(chǎng)均基于基板對(duì)位平臺(tái)進(jìn)行標(biāo)定,將基板放在基板夾具上,分別使用兩個(gè)視場(chǎng)進(jìn)行模板制作,然后采用傳統(tǒng)的九點(diǎn)標(biāo)定方法完成視場(chǎng)標(biāo)定。準(zhǔn)直視場(chǎng)的標(biāo)定方式在下一節(jié)討論。

    3) 準(zhǔn)直視場(chǎng)調(diào)平:準(zhǔn)直視場(chǎng)基于半球搖擺俯仰平臺(tái)進(jìn)行標(biāo)定,視場(chǎng)分別采集芯片和基板平面反射的十字靶標(biāo)圖形,以基板平面為基準(zhǔn),可得出兩圖形中心位置像素偏差(pix),執(zhí)行機(jī)構(gòu)為步進(jìn)電機(jī),其運(yùn)動(dòng)量單位為脈沖(pulse)。設(shè)基板平面反射的十字靶標(biāo)圖形位置為原點(diǎn),兩圖形像素偏差為(px,py),ZP軸運(yùn)動(dòng)量為zp,ZR軸運(yùn)動(dòng)量為zr,則有:

    zp=k1·px+c1.

    (5)

    zr=k2·py+c2.

    (6)

    其中,k1,k2,c1,c2均為常數(shù),通過(guò)多點(diǎn)擬合,得出上述公式的系數(shù),則準(zhǔn)直視場(chǎng)中分析得出的像素偏差可以直接轉(zhuǎn)化為電機(jī)的運(yùn)動(dòng)調(diào)節(jié)量,從而實(shí)現(xiàn)調(diào)平。

    4)大視場(chǎng)粗定位:大視場(chǎng)將整個(gè)基板圖形作為模板,以基板相對(duì)于芯片對(duì)齊時(shí)的位置為基準(zhǔn),得到坐標(biāo)位置(x0,y0)和角度r0。手動(dòng)放置基板后,大視場(chǎng)采集基板的當(dāng)前圖形,得到坐標(biāo)位置(x,y)和角度r。設(shè)坐標(biāo)位置偏差為(Δx,Δy),角度偏差為Δr,則:

    Δx=x-x0.

    (7)

    Δy=y-y0.

    (8)

    Δr=r-r0.

    (9)

    根據(jù)運(yùn)算結(jié)果,驅(qū)動(dòng)基板對(duì)位平臺(tái),分別進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和平移運(yùn)動(dòng)調(diào)整,完成基板的粗定位。

    5) 對(duì)位視場(chǎng)精對(duì)位:本文采用四點(diǎn)對(duì)位方式,對(duì)位原理如圖5所示。A、B為芯片上的兩個(gè)標(biāo)記圖形,C、D為基板上的兩個(gè)標(biāo)記圖形,其中A、C為一組,B、D為另一組,均形成對(duì)應(yīng)關(guān)系。對(duì)位視場(chǎng)分別采集A、B、C、D圖形,分析得到各圖形對(duì)應(yīng)坐標(biāo)(x1,y1),(x2,y2),(x3,y3),(x4,y4)。對(duì)位過(guò)程分為兩步,第一步為計(jì)算旋轉(zhuǎn)偏差,進(jìn)行旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié),第二步為計(jì)算平移偏差,進(jìn)行平移調(diào)節(jié),公式推導(dǎo)如下:

    a)向量AB與向量CD夾角就是基板相對(duì)于芯片的偏轉(zhuǎn)角,其公式為:

    (10)

    (11)

    (12)

    (13)

    (14)

    圖5 對(duì)位原理示意圖

    3 結(jié)束語(yǔ)

    本文從紅外探測(cè)器倒裝互連工藝需求出發(fā),提出了多視場(chǎng)視覺(jué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案,給出了相應(yīng)的視覺(jué)算法,配合精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)倒裝焊機(jī)的調(diào)平和對(duì)位,能夠滿足紅外探測(cè)器生產(chǎn)的實(shí)際需求。

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