在納米尺度做冰雕，西湖大學“冰刻2.0”首秀

時值冬季，各種美輪美奐的冰雕又要出場，西湖大學科研團隊展示了一種“冰雕”絕活兒。他們的“冰雕”，小到微米甚至納米級別。

在微米甚至納米級別的“冰雕”上，該研究團隊已經(jīng)可以實現(xiàn)從精確定位到精準控制雕刻力度，再到以“冰雕”為模具制作結構、加工器件——一種新型三維微納加工系統(tǒng)雛形初現(xiàn)。對應光刻膠，科研人員給這層水冰起名“冰膠”，給冰膠參與的電子束光刻技術起名“冰刻”。

從全球范圍來看，冰刻技術的研發(fā)仍處于起步階段。這樣的技術，將來有哪些用處？從本質(zhì)上講，“冰刻”仍屬于電子束光刻。但它作為一種綠色且“溫和”的加工手段，尤其適用于非平面襯底或者易損柔性材料，甚至生物材料。目前來看，冰刻技術的應用場景集中在基于光纖、納米線、納米管以及二維材料的新型光電子器件制備。

來源：科技日報數(shù)字報

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下載日期：2020 - 12 - 10