為了中國(guó)的半導(dǎo)體事業(yè)

陳道隆 高妍

她出生在河北樂亭，他來自河北文安。

她是清華大學(xué)第一批半導(dǎo)體專業(yè)高材生，他是北京大學(xué)物理系半導(dǎo)體物理專業(yè)畢業(yè)生。

她是我國(guó)早期微電子學(xué)研究的開拓者之一，他是我國(guó)半導(dǎo)體光電子研究的領(lǐng)軍者之一。

她是中國(guó)科學(xué)院院士、中科院微電子研究所研究員吳德馨，他是中國(guó)科學(xué)院院士、中科院半導(dǎo)體研究所研究員王圩。

從參加工作到今天，歷經(jīng)近60年風(fēng)雨，他們始終把為祖國(guó)半導(dǎo)體事業(yè)的發(fā)展奉獻(xiàn)力量作為奮斗的目標(biāo)。共同的理想與追求讓他們走到一起，漫長(zhǎng)而艱苦的科研路上，他們選擇相互扶持，共伴一生。

今天，我們一起走近這對(duì)院士伉儷的“半導(dǎo)體人生”。

日以繼夜覓高峰

從上世紀(jì)60年代開始，他們的研究重點(diǎn)一直在變。

從晶體管器件，到集成電路存儲(chǔ)器，再到化合物半導(dǎo)體器件與集成電路，最后到如今的垂直腔面發(fā)射激光器，吳德馨院士的研究歷程豐富而扎實(shí)。而王圩院士也從最初的硅材料研究，轉(zhuǎn)變?yōu)楹髞淼幕衔锊牧吓c器件，最后投入半導(dǎo)體光電子功能材料和光子集成器件的海洋，深挖至今。

無論研究重點(diǎn)如何轉(zhuǎn)移，研究手段如何變化，他們始終堅(jiān)持服務(wù)于國(guó)家的戰(zhàn)略需要，服務(wù)于我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展需求。在超過半個(gè)世紀(jì)的時(shí)間里，他們潛心篤志、日夜求索，所奉初心始終如一——為了中國(guó)的半導(dǎo)體事業(yè)。

記者：半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是國(guó)家的命脈產(chǎn)業(yè)，這一認(rèn)知如今已成為全民共識(shí)。您二位都是從上世紀(jì)六十年代就開始從事半導(dǎo)體材料與器件相關(guān)研究的，當(dāng)時(shí)我們國(guó)家的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)處于怎樣的水平？

吳德馨：我們倆都是上世紀(jì)60年代初大學(xué)畢業(yè)，學(xué)的都是半導(dǎo)體，一畢業(yè)就都分到了中科院半導(dǎo)體研究所。他（王圩）1960年，我1961年大學(xué)畢業(yè)。半導(dǎo)體所是1960年剛剛成立。

1956年，咱們國(guó)家開始編制《十二年科學(xué)技術(shù)發(fā)展規(guī)劃》，也就是《1956～1967年科技發(fā)展規(guī)劃》。這是新中國(guó)第一個(gè)長(zhǎng)期科技發(fā)展規(guī)劃，提出了當(dāng)時(shí)國(guó)家新技術(shù)發(fā)展的“四項(xiàng)緊急措施”——計(jì)算機(jī)、電子學(xué)、半導(dǎo)體、自動(dòng)化，要求相關(guān)部門集中全國(guó)科技力量，進(jìn)行人員培養(yǎng)和科技攻關(guān)。中科院物理研究所半導(dǎo)體研究室就是在這個(gè)背景下成立，到1960年，以研究室為基礎(chǔ)，擴(kuò)大為中科院半導(dǎo)體研究所。

那時(shí)候全世界的半導(dǎo)體技術(shù)都剛剛興起，我們的老一輩科學(xué)家們也都看到了半導(dǎo)體的發(fā)展趨勢(shì)。當(dāng)時(shí)規(guī)劃里也提出了半導(dǎo)體發(fā)展的幾項(xiàng)任務(wù)，器件方面就有高頻晶體管、高速開關(guān)晶體管、低反向電流二極管等等。我們剛畢業(yè)到半導(dǎo)體所之后，就是做“十二年規(guī)劃”提出的任務(wù)。

當(dāng)時(shí)一無資料，二無圖紙，全靠自己摸索研究，但我們還是提前完成了任務(wù)?？梢哉f我們那時(shí)候并不太落后，起步不晚，做得速度也不慢。

記者：兩位具體做了哪些工作呢？獲得了哪些代表性成果？它們對(duì)之后的相關(guān)研究或產(chǎn)業(yè)發(fā)展產(chǎn)生了怎樣的影響？

吳德馨：我最開始在王守覺先生領(lǐng)導(dǎo)下負(fù)責(zé)做硅平面型高速開關(guān)晶體管，做出來之后開關(guān)速度、閾值電壓等指標(biāo)跟國(guó)際同類產(chǎn)品水平差不多，后來推廣到了109廠（我國(guó)第一個(gè)半導(dǎo)體器件生產(chǎn)廠），又推廣到全國(guó)，當(dāng)時(shí)13所、上海元件五廠都到我們所來學(xué)習(xí)過。這個(gè)器件后來還用到了“兩彈一星”用的計(jì)算機(jī)——109乙機(jī)上，經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益都不錯(cuò)。

1975年，半導(dǎo)體所開始做大規(guī)模集成電路，我們就做出了4K位的動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器，又在1980年做出來16K位，后來又完成了64K位動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器。那時(shí)候國(guó)際上集成電路發(fā)展很快，雖然我們的研究速度也很快，用一年時(shí)間做出了國(guó)際上三年才完成的工作，但我們的設(shè)備一直比較落后，所以生產(chǎn)就有困難，成品率的性能也確實(shí)不如國(guó)外。

改革開放以后，我們改做專用電路，在1980年代末期自主開發(fā)成功了3微米的CMOSLSI全套工藝技術(shù)，用于專用電路的制造。從3微米，到2微米、1微米，再到0.8微米……這么一直做下來。在1990年代，我們又獨(dú)立自主開發(fā)出了全套的0.8微米CMOS工藝，并應(yīng)用于實(shí)用電路的開發(fā)。

我們還研究開發(fā)以砷化鎵為基底的化合物半導(dǎo)體器件、電路。蘇聯(lián)解體以后，國(guó)內(nèi)外很多做砷化鎵的軍用、民用項(xiàng)目都下馬了，但我覺得砷化鎵是一個(gè)必然的趨勢(shì)，它有很多優(yōu)點(diǎn)，比如速度快、功率大、抗輻照等，我當(dāng)時(shí)是副所長(zhǎng)，就向院里申請(qǐng)了40萬塊錢，準(zhǔn)備做起來。

但項(xiàng)目拿到之后沒人愿意牽頭做，都覺得沒什么前途，沒辦法我就帶研究生自己做?，F(xiàn)在看來，我們方向選對(duì)了。大量的手機(jī)里的功放需要砷化鎵，民用這個(gè)大市場(chǎng)熱起來了。也就從這時(shí)候，我轉(zhuǎn)到了化合物半導(dǎo)體材料和器件研究。

我們做得還不錯(cuò)，成果也不少，比如做出了0.1微米砷化鎵/鋁鎵砷異質(zhì)結(jié)高遷移率場(chǎng)效應(yīng)晶體管，截止頻率達(dá)89GHZ;研究成功了砷化鎵/銦鎵磷異質(zhì)結(jié)雙極型晶體管（HBT），截止頻率達(dá)92GHZ;還在國(guó)內(nèi)首先研制成功了全功能砷化鎵/銦鎵磷HBT 10Gpbs光纖通信光發(fā)射驅(qū)動(dòng)電路等等。

10年前，我把化合物這一塊交給了學(xué)生，改做光電集成。這是一個(gè)新的發(fā)展方向，光和電總是不可分的，光需要電來驅(qū)動(dòng)，又需要電來探測(cè)，光電集成就是把電子和光子器件集成在一個(gè)芯片上。我們利用MEMS結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了激光器和光纖的無源耦合，成功做出了工作速度達(dá)2.5Gpbs的光發(fā)射模塊。

做光電集成得有光發(fā)射器件，面發(fā)射激光器具有其固有的二維集成的優(yōu)點(diǎn)，它面向數(shù)據(jù)中心和超級(jí)計(jì)算機(jī)內(nèi)部光互聯(lián)應(yīng)用，能夠最終實(shí)現(xiàn)高密度光電集成。我們就又做垂直腔面發(fā)射激光器（VCSEL），現(xiàn)在單管速率做到了25Gpbs，面陣做到了300多個(gè)器件，還不錯(cuò)。

記者：王院士您呢？您是從什么時(shí)候開始做激光器研究？又取得了哪些代表性成果？

王圩：我最初做硅材料，研究硅單晶，后來根據(jù)國(guó)家需要開始做Ⅲ-Ⅴ族化合物，做外延研究，就是研究在一個(gè)襯底上做幾個(gè)微米的Ⅲ-Ⅴ族化合物薄膜，后來又在這個(gè)基礎(chǔ)上做擴(kuò)散p/n結(jié)化合物激光器。我一開始是在材料室，只做材料，但做的過程中發(fā)現(xiàn)激光器的結(jié)構(gòu)和材料的生長(zhǎng)是分不開的，在材料生長(zhǎng)的過程中就把一部分器件結(jié)構(gòu)長(zhǎng)出來了，所以既要懂材料，又要懂器件設(shè)計(jì)，兩者密不可分，還是放在一起比較好，于是我就調(diào)到器件室了，又做材料又做器件。

我們開始激光器研究，是在1979年底，比國(guó)際上開展得稍晚。20世紀(jì)70年代末，美國(guó)MIT林肯實(shí)驗(yàn)室的美籍華人謝肇金采用液相外延技術(shù)實(shí)現(xiàn)了InP（磷化銦）基1.31微米和1.55微米InGaAsp/InP雙異質(zhì)結(jié)激光器的室溫連續(xù)工作。至此，光纖通信開始從0.85微米段波長(zhǎng)的多模光纖傳輸向采用InP基長(zhǎng)波長(zhǎng)激光器為光源、以1.31微米零色散和1.55微米低損耗波段的單模光纖為傳輸介質(zhì)的第二代光通訊體系過渡。

我們半導(dǎo)體所光電子研究室也在1979年底及時(shí)地開展了InP基長(zhǎng)波長(zhǎng)激光器的研究工作，成立了由彭懷德負(fù)責(zé)的1.3微米激光器研究組和由我負(fù)責(zé)的1.55微米激光器研究組。

通過調(diào)整InGaAsp四元體材料有源區(qū)的組分，摸索外延層結(jié)構(gòu)和逐層摻雜濃度，解決器件的條形結(jié)構(gòu)問題，我們于1981年率先在國(guó)內(nèi)得到了室內(nèi)連續(xù)工作的1.55微米激光器。

后來隨著國(guó)際光纖通信事業(yè)的發(fā)展，又面臨巴黎統(tǒng)籌會(huì)對(duì)我國(guó)先進(jìn)科學(xué)技術(shù)和敏感產(chǎn)品的禁運(yùn)，我們遵照國(guó)家在光電子發(fā)展的戰(zhàn)略要求調(diào)整了研究方向，一方面為滿足當(dāng)時(shí)光纖通信的要求，自力更生地研究實(shí)用化的無制冷長(zhǎng)波長(zhǎng)激光器，另一方面著眼于探索未來大容量、長(zhǎng)距離通訊發(fā)展用的光信號(hào)源。

在這樣的情況下，為了提高光通信的傳輸帶寬和傳輸距離，我們就必須開發(fā)出一種在高頻調(diào)制下仍然可以單模工作的動(dòng)態(tài)單模（DSM）激光器作為光信號(hào)源。

當(dāng)時(shí)受禁運(yùn)的限制，不能引進(jìn)MOCVD設(shè)備，用液相外延方法又面臨著選模用的、深度幾十納米的光柵結(jié)構(gòu)被隨后外延生長(zhǎng)時(shí)回溶的難關(guān)，我們?yōu)榇诉M(jìn)行了一系列的實(shí)驗(yàn)，才找到了滿意的抗回溶技術(shù)，最終在1988年底，研制出了國(guó)內(nèi)首批1.55微米動(dòng)態(tài)單頻分布反饋（DFB）激光器，解決了國(guó)內(nèi)發(fā)展第三代長(zhǎng)途干線大容量光纖通信的急需。

到1990年代，我們又在國(guó)內(nèi)首先研制成功了應(yīng)變量子阱1.55微米DFB激光器，使中國(guó)光通信用激光器的研究和國(guó)際新一代能帶工程研究接軌。

近些年，我和同事們指導(dǎo)研究生利用半導(dǎo)體材料帶隙剪裁技術(shù)平臺(tái)，制作了瓦斯探測(cè)用的大應(yīng)變量長(zhǎng)波長(zhǎng)1664nmDFB激光器，并已開始試用于煤礦安全系統(tǒng)，建立了用量子混雜（QWI）和選區(qū)外延生長(zhǎng)（SAG）相結(jié)合的技術(shù)，研制成功10-25千兆碼率（Gb/s）電吸收調(diào)制的分布反饋（DFB）激光器和可調(diào)諧的電吸收調(diào)制DFB激光器發(fā)射模塊，奠定了在國(guó)內(nèi)研制含有多個(gè)不同帶隙波長(zhǎng)區(qū)域的單片多功能集成材料的基礎(chǔ)。在此基礎(chǔ)上，已經(jīng)把我們的多型號(hào)器件轉(zhuǎn)移到了公司批量生產(chǎn)，并得到了國(guó)內(nèi)知名通信系統(tǒng)制造商的認(rèn)可。

愿學(xué)猛士唱大風(fēng)

兩位院士都是很低調(diào)樸實(shí)的人，不吹噓成果，不炫耀獎(jiǎng)勵(lì)，更不逃避面對(duì)問題。采訪中，我們深刻體會(huì)到了這一點(diǎn)。

吳德馨說，我個(gè)人不支持集成電路產(chǎn)業(yè)跟風(fēng)上大線，應(yīng)該先集中人力財(cái)力做成功幾條生產(chǎn)線，逐步推廣經(jīng)驗(yàn)再擴(kuò)大建更多的集成電路生產(chǎn)線。

王圩說，我們需要的是得到市場(chǎng)認(rèn)可的、過硬的成果，這不是發(fā)多少論文得多少獎(jiǎng)可以判斷的。

…………

殷殷話語，切切希望，為的還是中國(guó)的半導(dǎo)體事業(yè)。

記者：作為業(yè)內(nèi)專家，您二位對(duì)于我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展，有怎樣的建議？

吳德馨：現(xiàn)在行業(yè)里有這么個(gè)問題，凡是國(guó)外能買到的器件，國(guó)內(nèi)就算做出來了也沒有企業(yè)愿意給試用。也確實(shí)是費(fèi)人力費(fèi)物力費(fèi)時(shí)間，但我們要發(fā)展，總要有自己的東西，不試用怎么知道有什么缺點(diǎn)，怎么改進(jìn)呢？希望我們自力更生研發(fā)出來的產(chǎn)品，能夠得到用戶的支持。

所以國(guó)家要有政策，能不能國(guó)家科技部給點(diǎn)補(bǔ)貼，鼓勵(lì)企業(yè)試用我們自己的研究成果。

王圩：還有一個(gè)情況，就是做器件的不如做系統(tǒng)的。因?yàn)橘嶅X的還是在后面，所以做系統(tǒng)的多，但真正打基礎(chǔ)的還是在器件。像中興、華為一出事，就覺得慌了，所以國(guó)家對(duì)基礎(chǔ)研究，還是應(yīng)該更重視一些，多支持一些。

做應(yīng)用研究，不是發(fā)文章湊個(gè)數(shù)就行的。我們需要的是過硬的東西，能夠經(jīng)過市場(chǎng)檢驗(yàn)、得到客戶認(rèn)可的東西。根基要打牢，這樣才能慢慢解決眼下的困難。

記者：2018年5月，河北省政府辦公廳出臺(tái)《關(guān)于加快集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的實(shí)施意見》，河北省將以“固基強(qiáng)芯”為總體思路，補(bǔ)短板、強(qiáng)弱項(xiàng)，加快推動(dòng)全省工業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)。兩位都是河北人，對(duì)于家鄉(xiāng)的集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展有哪些意見建議？

吳德馨：集成電路行業(yè)是國(guó)家一號(hào)召，全國(guó)都響應(yīng)，好多地區(qū)上生產(chǎn)線。我個(gè)人不支持這樣做，覺得有幾點(diǎn)不合適。一是資金分散，投入太大。二是人才缺乏，特別是高端工藝制造人才和高級(jí)管理人才。集成電路產(chǎn)業(yè)跟別的行業(yè)不一樣，涉及到幾百上千道工藝，每一道都要求嚴(yán)謹(jǐn)精細(xì)，需要優(yōu)秀的管理人才統(tǒng)籌協(xié)調(diào)。三是市場(chǎng)，我們國(guó)家的市場(chǎng)確實(shí)很大，但大部分被國(guó)外企業(yè)占據(jù)，本土企業(yè)大多在中低端市場(chǎng)生產(chǎn)，一時(shí)能競(jìng)爭(zhēng)得過嗎？所以我希望國(guó)家能夠集中力量先搞幾條好線，等有了經(jīng)驗(yàn)再慢慢擴(kuò)展。

對(duì)河北省來說，如果沒有這么大的財(cái)力、實(shí)力和人力的話，我建議，不一定建大線，可以做一些比較有特色的東西，比如做模塊。另一方面，可以借助老牌研究院所的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，比如石家莊的13所，他們長(zhǎng)期為軍工服務(wù)，在氮化鎵領(lǐng)域做得很好。借助這些科研院所的力量，建設(shè)技術(shù)產(chǎn)品的上下游產(chǎn)業(yè)鏈，做出本省的特色。

記者：兩位都曾主持國(guó)家重要項(xiàng)目，也帶過團(tuán)隊(duì)、學(xué)生，為國(guó)家培養(yǎng)了諸多優(yōu)秀人才。在打造團(tuán)隊(duì)、培養(yǎng)人才過程中，最看中的能力是什么？

王圩：我們做的是應(yīng)用型研究，研究就是為了應(yīng)用。所以我們研究組注重培養(yǎng)綜合型的人才，著眼于出去工作的時(shí)候能夠真正獨(dú)當(dāng)一面。如果只讓學(xué)生專攻一項(xiàng)，是在“使用”學(xué)生，而沒有考慮到學(xué)生的發(fā)展與成長(zhǎng)。

我們組對(duì)學(xué)生的培養(yǎng)是比較全面的，都是放手讓他們?nèi)プ?，培養(yǎng)他們獨(dú)立工作的能力，真正發(fā)揮他們的創(chuàng)造性。比如做MOCVD的生長(zhǎng)，整個(gè)程序都要自己編、自己做、自己測(cè)試，最后做出器件，要全部能懂會(huì)用，這樣學(xué)生培養(yǎng)出來外面都很愿意要。

我們組現(xiàn)在大概有近30名學(xué)生在華為，都覺得挺好，有些已經(jīng)能夠獨(dú)當(dāng)一面。包括美國(guó)、英國(guó)、比利時(shí)、愛爾蘭等國(guó)家一些比較有名的公司和大學(xué)，也都有我們的學(xué)生在那里工作。這說明我們走的這條路是對(duì)的。

吳德馨：年輕人做事，應(yīng)該有興趣，要熱愛自己的事業(yè)。有人說我沒興趣，太枯燥了。咱們的微電子事業(yè)這么重要，而且發(fā)展那么快，里面那么多值得鉆研的東西。某個(gè)很難的問題，你把它解決了，就會(huì)覺得心里充滿了快樂，這是多少錢都買不到的。這才是人生呢。所以我鼓勵(lì)他們，要熱愛我們從事的微電子事業(yè)。

記者：現(xiàn)在的優(yōu)秀女科學(xué)家有點(diǎn)鳳毛麟角的感覺，社會(huì)上也有很多關(guān)于女科學(xué)家流失及高端缺位的討論，吳院士您如何看待女科學(xué)家缺位這一現(xiàn)象？對(duì)于化解女科學(xué)家的困境，您有怎樣的建議？

吳德馨：首先說明一點(diǎn)，現(xiàn)在女科學(xué)家做得比我們好的有得是，但也得承認(rèn)，現(xiàn)在女科學(xué)家的總?cè)藬?shù)確實(shí)不如我們那一代人多。

我認(rèn)為現(xiàn)在有些女同志有點(diǎn)不夠自強(qiáng)，自己就覺得不如男同志，這一點(diǎn)也跟大環(huán)境有關(guān)系。社會(huì)對(duì)女性的要求更偏向于家庭，但并不是只能犧牲工作才能兼顧家庭，那是把自己最好的東西犧牲了，埋沒了自己的才能。女同志要自立、自強(qiáng)，要有決心克服困難，當(dāng)然，也要?jiǎng)?chuàng)造社會(huì)保障條件，幼兒園、小學(xué)、寄宿制等配套都要跟上，讓女同志沒有后顧之憂。

木棉與橡樹的呼和

“你有你的銅枝鐵干，像刀，像劍，也像戟;我有我紅碩的花朵，像沉重的嘆息，又像英勇的火炬。我們分擔(dān)寒潮、風(fēng)雷、霹靂;我們共享霧靄、流嵐、虹霓。仿佛永遠(yuǎn)分離，卻又終身相依?！?/p>

舒婷這首《致橡樹》，便是吳德馨與王圩兩位院士多年相互扶持、各自精彩的最佳注解。

記者：兩位是怎樣的機(jī)緣得以相識(shí)？

王圩：相識(shí)是很自然的過程。我們畢業(yè)之后都被分配到了半導(dǎo)體研究所。她在器件室，做硅的器件，晶體管之類。我在林蘭英先生領(lǐng)導(dǎo)下的材料室，最初來到所里是做硅單晶。他們需要硅單晶作為基片來做晶體管。她就總要到我們組里來要材料，這樣就認(rèn)識(shí)了。

吳德馨：是，材料有了問題還得找他們研究改進(jìn)，經(jīng)常交流慢慢就有了好的印象。

記者：科學(xué)研究是漫長(zhǎng)而艱苦的，您二位的科研歷程都已超過半個(gè)世紀(jì)。漫漫研究征程中，難題久攻不克的時(shí)候，如何保持初心與信心？

吳德馨：我們從小受共產(chǎn)黨的教育，做科研就是為了國(guó)家為了人民，這種責(zé)任感促使我們，拿到任務(wù)就是全身心的投入，就一定要做完、做到最好。用現(xiàn)在的話講，既然承擔(dān)了就要有擔(dān)當(dāng)。

對(duì)我來說，這個(gè)工作我非常感興趣。有時(shí)候晚上睡不著覺就寫啊畫啊，就想著明天可以試試這個(gè)方案。對(duì)他（王圩）來說，就主要是責(zé)任，興趣是后來才培養(yǎng)的。

王圩：當(dāng)年高考的時(shí)候，我第一志愿報(bào)的清華建筑系，后來中學(xué)黨支部找我，讓我改志愿學(xué)核物理，我才考了北大，轉(zhuǎn)了物理，本來想做建筑的。但學(xué)著干著，也就有興趣了。

記者：兩位都是科學(xué)家，都很忙，家庭如何兼顧？多年來如何相互扶持走到今天？

王圩：生活上沒得說，就是相互扶持。那時(shí)候搞研究也是加班加點(diǎn)，老人又年紀(jì)大了，家庭負(fù)擔(dān)比較重，孩子不到一歲就送了全托。

研究上，我做光電子，她做微電子，有很多地方可以互相交流。比如她現(xiàn)在做的垂直腔面發(fā)射激光器（VCSEL），有些就跟我們?cè)瓉碜龅耐ㄐ殴怆娮悠骷畈欢?。所以我們?huì)經(jīng)常交流，我會(huì)給她提很多意見，在研究上互通有無。在家里也經(jīng)常聊，有共同語言，能說一塊去。

吳德馨：就是互相支持吧。我忙了，他就負(fù)責(zé)家里的事，他忙了，就是我負(fù)責(zé)家里的事，互相理解。我當(dāng)年做存儲(chǔ)器的時(shí)候，有時(shí)候就睡在實(shí)驗(yàn)室地板上，不回家，孩子都是他管。

那一年他在日本做訪問學(xué)者，我在109廠做引進(jìn)的進(jìn)口設(shè)備驗(yàn)收工作，自己帶著兩個(gè)孩子。每天早上來，晚上九點(diǎn)多才能回家，兩個(gè)孩子只能在外面小攤上買點(diǎn)吃的。我回不了家，也沒有電話沒法通知孩子，也沒汽車，要倒3次公交車才能到家，孩子就在大門口臺(tái)階上等。所以做完了4K，驗(yàn)收完了真是全家歡呼。現(xiàn)在想起來，也覺得對(duì)不起孩子，對(duì)他們的關(guān)心不夠。

當(dāng)然我倆也比較幸運(yùn)，都畢業(yè)比較早，有很多好的機(jī)遇。能走到今天，跟自己的奮斗有關(guān)，也跟機(jī)遇有關(guān)，也離不開各位領(lǐng)導(dǎo)、老師們的指導(dǎo)和幫助。

記者：現(xiàn)在生活中有哪些興趣愛好？

王圩：我比較喜歡做一些攝影，看到比較好的景色就用手機(jī)抓拍一下。其他也喜歡唱唱歌、做做飯。

吳德馨：我愛體育，愛看比賽，凡是有比賽我都看，除了足球（笑）。他愛看足球，我不愛看。像女排、男籃、乒乓球、體操，最近的比賽我都有看。年輕的時(shí)候喜歡打乒乓球，現(xiàn)在老了打不動(dòng)了，就愛看別人打。

“平安之夜喜相逢，聚首共敘創(chuàng)業(yè)情。曾懟巴統(tǒng)誓自立，日以繼夜覓單峰*。水滴石穿成正果，凱歌高奏慶光通。霜染兩鬢志安在，愿學(xué)猛士唱大風(fēng)**。”這是2017年底，王圩院士在慶祝DFB組創(chuàng)業(yè)30周年會(huì)上有感而寫的詩(shī)。

王圩院士這種對(duì)科研工作經(jīng)歷的感慨，又何嘗不是千千萬萬半導(dǎo)體人的豪情抒發(fā)。正是因?yàn)橛袩o數(shù)吳德馨、王圩的日以繼夜、無私奉獻(xiàn)，我們國(guó)家的半導(dǎo)體事業(yè)才能走到今天，也必將走向新的高峰。