基于多孔式敏感膜片的MEMS 光纖琺珀傳感器及其局部放電檢測(cè)

司文榮，傅晨釗，卜 劍，倪鶴立，李浩勇，王謝君，鞠登峰，虞益挺*

（1. 國(guó)網(wǎng)上海市電力公司電力科學(xué)研究院，上海200437；2. 西北工業(yè)大學(xué)空天微納系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，陜西西安710072；3. 全球能源互聯(lián)網(wǎng)研究院有限公司，北京102209）

1 引 言

光纖琺珀傳感器具有尺寸小、質(zhì)量輕、精度高、耐高溫及抗電磁干擾能力強(qiáng)等優(yōu)勢(shì)，已成功應(yīng)用于壓力、溫度、聲波等物理量的測(cè)量中，在工業(yè)與軍事領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景［1］?，m珀腔是傳感器實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)測(cè)量的關(guān)鍵，膜片式光纖琺珀傳感器使用光纖端面與膜片作為琺珀腔的兩個(gè)反射面，外界壓力作用到膜片上使膜片發(fā)生形變從而改變琺珀腔的腔長(zhǎng)，通過(guò)對(duì)腔長(zhǎng)的解調(diào)實(shí)現(xiàn)對(duì)外界信息的檢測(cè)，通常選取硅、銀或有機(jī)聚合物等材料制造高性能的膜片［2-3］。近年來(lái)，隨著微機(jī)電 系 統(tǒng) （Micro-electromechanical System，MEMS）技術(shù)的迅速發(fā)展，作為琺珀腔反射鏡一端的膜片可以變得更薄、加工精度更高、成本更低，受迫形變范圍更大，靈敏度也更高［4-7］。

局部放電是高壓電力設(shè)備中經(jīng)常出現(xiàn)的絕緣失效現(xiàn)象，強(qiáng)烈的局部放電會(huì)使得電力絕緣設(shè)施的強(qiáng)度劇烈下降，長(zhǎng)期放電往往會(huì)產(chǎn)生絕緣擊穿，導(dǎo)致絕緣設(shè)施損壞，產(chǎn)生極大的損失與危害，因此局部放電的檢測(cè)對(duì)于高壓電力設(shè)備十分重要。局部放電往往伴隨著聲、光、輻射等現(xiàn)象，如會(huì)產(chǎn)生20~300 kHz 的微弱超聲波信號(hào)。通常的信號(hào)檢測(cè)是將超聲信號(hào)轉(zhuǎn)化為較顯著的其他物理量來(lái)描述放電狀況。膜片式光纖琺珀超聲傳感器是采集局部放電發(fā)出的超聲信號(hào)，根據(jù)膜片受迫產(chǎn)生的形變，將聲信號(hào)轉(zhuǎn)化為光信號(hào)，從而可以通過(guò)光電探測(cè)器得到電壓信號(hào)，理論上可以避免電磁干擾的影響，并且在精度與靈敏度方面也高于許多其他類型的傳感器。因此，光纖琺珀超聲傳感器在局部放電檢測(cè)中有著較為廣泛的應(yīng)用潛力，如用于局部放電檢測(cè)的光纖布拉格光柵（Fiber Bragg grating，F(xiàn)BG）傳感器［8］、光纖邁克爾遜干涉（Fiber Michelson Interference，F(xiàn)MI）傳感器［9］、外置油腔耦合局放超聲非本征光纖法布里-珀羅傳感器［10］及用于溫度檢測(cè)的端面腐蝕的雙法布里-珀羅光纖溫度傳感器［11］。上述光纖傳感器中，F(xiàn)BG 傳感器通過(guò)測(cè)量光譜分析儀中的波長(zhǎng)偏移從而檢測(cè)局部放電，可以應(yīng)用到一些較低頻段的超聲檢測(cè)；FMI 傳感器的檢測(cè)頻率可達(dá)150 kHz，適用于近距離檢測(cè)；外置油腔耦合局放超聲非本征光纖法布里-珀羅傳感器通過(guò)設(shè)計(jì)油腔內(nèi)部安裝方法拓展了其應(yīng)用場(chǎng)景。但是，一些成本較高或制造過(guò)程復(fù)雜，如以黃金作為膜片材料、帶寬可達(dá) 150 kHz 的光纖琺珀傳感器［5］，或者僅能在電力設(shè)備外部安裝使用，如傳統(tǒng)的壓電式超聲傳感器，實(shí)際的局部放電檢測(cè)難度較大。另外，高壓電力設(shè)備中的局部放電經(jīng)常處于變壓油等液體中，因此光纖琺珀超聲傳感器在液體中對(duì)局部放電的檢測(cè)與定位也是一個(gè)研究難點(diǎn)［12-15］。

本文設(shè)計(jì)了一種多孔式超聲檢測(cè)用敏感膜片，并利用 MEMS 工藝在 SOI（Silicon-On-Insula?tor）硅片的頂層硅上完成了所設(shè)計(jì)敏感膜片的高保真、低成本制造。直接利用光纖跳線的端面與敏感膜片的表面作為琺珀腔的兩個(gè)反射鏡面，完成了光纖琺珀腔的構(gòu)建。最后，通過(guò)在油中搭建實(shí)驗(yàn)平臺(tái)測(cè)量了傳感器的距離衰減、方向性以及靜態(tài)壓力響應(yīng)特性。該傳感器在液體中可以穩(wěn)定工作，對(duì)脈沖放電槍模擬的局部放電有著良好的響應(yīng)，在電力設(shè)備的局部放電檢測(cè)中具有良好的應(yīng)用前景。

2 傳感器設(shè)計(jì)與制造

2.1 工作原理

基于琺珀干涉（Fabry-Perot Interference，F(xiàn)PI）原理的非本征琺珀干涉（Extrinsic Fabry-Pe?rot interference，EFPI）傳感器以光纖作為信號(hào)傳輸載體，利用光的干涉原理來(lái)檢測(cè)局部放電產(chǎn)生的超聲波信號(hào)。這種方法靠光信號(hào)進(jìn)行傳輸，可以避免周圍環(huán)境的電磁干擾。EFPI 傳感器可以深入到電力設(shè)備內(nèi)部的絕緣介質(zhì)中（比如變壓器絕緣油），來(lái)檢測(cè)局部放電發(fā)出的微弱超聲波信號(hào)，靈敏度高，不受高壓電磁場(chǎng)的影響，而且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、安裝方便，是一種有效的內(nèi)置式電力設(shè)備局部放電在線監(jiān)測(cè)或帶電檢測(cè)用傳感耦合技術(shù)。

光纖琺珀超聲傳感系統(tǒng)的組成如圖1 所示。波長(zhǎng)為1 550 nm 的激光光源（北京中訊光譜科技有限公司，COSC-DFB-C-20）發(fā)出的光經(jīng)單模光纖與光纖環(huán)形器進(jìn)入傳感器探頭，被膜片反射后又經(jīng)光纖環(huán)形器進(jìn)入光電探測(cè)器被轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，最終被示波器（美國(guó)泰克Tektronix，MDO3024）采集顯示。當(dāng)局部放電釋放出的超聲波激勵(lì)敏感膜片時(shí)，琺珀腔腔長(zhǎng)因敏感膜片的形變而改變，進(jìn)而導(dǎo)致反射光的光強(qiáng)隨之改變，通過(guò)采集處理光強(qiáng)的變化實(shí)現(xiàn)超聲信號(hào)的探測(cè)。

圖1 光纖琺珀超聲傳感系統(tǒng)Fig. 1 Fiber optic Fabry-Perot ultrasonic sensing system

2.2 傳感器膜片設(shè)計(jì)

在設(shè)計(jì)敏感膜片時(shí)，需要根據(jù)實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景設(shè)備膜片的固有頻率。固有頻率為：

其中：a為振型系數(shù)，ρ為膜片材料的密度，R，h分別為膜片的厚度與半徑，E，μ分別是膜材料的彈性模量和泊松比。由于材料的密度、振型系數(shù)、彈性模量與泊松比通常是不變的，因此用等效系數(shù)α來(lái)代替表示。從式（1）可以看出，膜片的固有頻率與膜片厚度成正比，與半徑的平方成反比。

當(dāng)傳感器接收到超聲信號(hào)時(shí)，膜片因?yàn)槭艿铰晧旱募?lì)而發(fā)生中心形變，其形變公式為：

其中：p是局部放電對(duì)膜片造成的聲壓，使用常數(shù)β作為等效系數(shù)代替公式中恒定的量。如式（2）所示，膜片受迫產(chǎn)生形變的程度與受到的壓力、半徑的四次方成正比，與厚度的三次方成反比。當(dāng)形變量小于厚度的30%時(shí)，屬于小撓度彎曲，這種情況下，膜片的形變量與其所受到的壓力近似呈線性關(guān)系。傳統(tǒng)的圓形膜片光纖琺珀傳感器探頭如圖2 所示，它在溫度變化較大時(shí)，琺珀腔內(nèi)外壓力不平衡，膜片會(huì)因此發(fā)生形變，從而干擾檢測(cè)超聲信號(hào)，使得圓形膜片傳感器無(wú)法工作。本文在圓形膜片的外圍增加多個(gè)對(duì)稱式通氣孔，在不改變膜片半徑與厚度的情況下，有效避免了不平衡氣壓對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響。這種多孔式結(jié)構(gòu)的光纖琺珀傳感器對(duì)溫度的靈敏度較低，相比圓形膜片光纖琺珀傳感器更適用于局部放電的檢測(cè)。

圖2 膜片式光纖琺珀傳感器探頭示意圖Fig.2 Schematic diagram diaphragm based fiber optic Fabry-Perot sensor probe

傳統(tǒng)圓形膜片在外界溫度變化時(shí)，內(nèi)外溫度不平衡，膜片會(huì)發(fā)生形變，出現(xiàn)檢測(cè)誤差，圖3 所示為傳統(tǒng)圓形膜片因不同內(nèi)外溫差產(chǎn)生的氣壓差而發(fā)生的形變。本文所研制的多孔式敏感膜片的內(nèi)外氣壓幾乎一致，可以有效避免這個(gè)情況；另外，膜片受溫度影響本身也會(huì)產(chǎn)生一定形變。仿真計(jì)算表明，在相同溫度下，多孔式敏感膜片比傳統(tǒng)圓形膜片的形變小，且隨著溫度的升高，兩者之間的形變差距越來(lái)越大，如圖4 所示。

圖3 溫差造成的氣壓差導(dǎo)致的圓形膜片形變Fig.3 Deformation of round diaphragm caused by pres?sure difference due to temperature

圖4 溫差導(dǎo)致的膜片形變Fig.4 Deformation caused by temperature difference

使用有限元仿真軟件COMSOL 分析通氣孔半徑對(duì)敏感膜片固有頻率的影響，以2 μm 為步長(zhǎng)，仿真得到孔半徑從 2 μm 到 30 μm 的多孔式敏感膜片的固有頻率，結(jié)果如圖5 所示。隨著通氣孔半徑的增加，其固有頻率在孔半徑2 μm 到30 μm 的區(qū)間內(nèi)近似拋物線式降低。最終從工藝精度與固有頻率兩方面考慮，加工時(shí)將通氣孔的半徑設(shè)置為20 μm。

圖5 不同孔半徑的多孔式敏感膜片的固有頻率仿真結(jié)果Fig.5 Simulation results of natural frequency of porous sensing diaphragm with different hole radii

2.3 膜片加工與制造

在探頭的裝配中，為了使光纖與膜片最中央對(duì)準(zhǔn)并且不會(huì)損傷到膜片本身，特意在MEMS膜片制造工藝中進(jìn)行分步刻蝕得到階梯狀結(jié)構(gòu)膜片。如圖6（a）所示，采用SOI 硅片，頂層為5 μm 厚的硅層，中間為 1 μm 厚的二氧化硅層，底層是500 μm 厚的硅。加工前對(duì)SOI 硅片進(jìn)行清洗，去除表面的氧化物，得到潔凈的硅片。首先在頂層硅上刻蝕出通氣孔，底層硅上刻蝕出一定厚度的大孔，再以二氧化硅為截止層，在大孔的基礎(chǔ)上刻蝕得到小孔，保證不會(huì)出現(xiàn)過(guò)刻蝕情況，對(duì)敏感膜片造成影響。然后使用氫氟酸（HF）去除二氧化硅層，最后鍍金膜，即可得到階梯狀結(jié)構(gòu)，其工藝流程如圖6 所示。

圖6 中階梯狀膜片的大孔直徑為2.5 mm，與直徑為2.5 mm 的單模光纖剛好嵌合，便于裝配的同時(shí)有利于光纖端面的定位；頂層硅表面鍍了一層金膜，金膜具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性，將金鍍層與光纖端面作為琺珀腔的兩個(gè)反射端面。圖7 為敏感膜片樣件及其掃描電鏡圖。

圖6 多孔式敏感膜片MEMS 工藝制作流程Fig. 6 MEMS technology production process of porous sensing diaphragm

圖7 多孔式敏感膜片樣件及其掃描電鏡圖Fig.7 Porous sensing diaphragm sample and its scanning electron microscope image

2.4 傳感器探頭裝配

由于油液進(jìn)入琺珀腔后會(huì)使傳感器失效，因此需要進(jìn)行保護(hù)性封裝。這里主要使用定制的3D 打印外殼，將傳感器探頭固定在外殼里，在膜片與外界接觸處粘貼防水透聲膜（亞源泰科技有限公司，微孔濾膜）。由于防水透聲膜過(guò)于單薄，很容易損壞，因此在透聲膜外使用3D 打印制作的透聲外殼進(jìn)行防護(hù)。另外，光纖與密封外殼的連接處存在空隙，使用環(huán)氧膠（米占科技有限公司，1102 德國(guó)樹脂AB膠）做密封處理。

對(duì)于膜片與光纖的連接固定，常用的方法有環(huán)氧膠黏合、陽(yáng)極鍵合與激光熱熔等方式［16］。其中，陽(yáng)極鍵合雖然有鍵合強(qiáng)度高、密封性好等優(yōu)點(diǎn)，但是過(guò)于苛刻的實(shí)現(xiàn)條件與對(duì)材料的要求使陽(yáng)極鍵合無(wú)法實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)，且造價(jià)昂貴；激光熱熔一般指CO2激光熱熔法，適用于光纖的固定，在熱熔過(guò)程中需要對(duì)連接部分進(jìn)行熱處理，操作復(fù)雜并且通常專門針對(duì)石英材料，有一定的局限性。本文采用環(huán)氧膠黏合方式，簡(jiǎn)單方便，價(jià)格便宜。普通環(huán)氧膠固化后耐熱在110 ℃左右（局部放電中產(chǎn)生的溫度最高約為90 ℃），且固化過(guò)程中無(wú)明顯異味，黏結(jié)力強(qiáng)，密封性也滿足要求，因此可以應(yīng)用在檢測(cè)局部放電的傳感器探頭制作中。

由于敏感膜片的厚度只有5 μm，體積非常小，因此在利用光纖端面與膜片形成琺珀腔時(shí)，需要較高的裝配精度，既要保證膜片與光纖之間連接牢固，琺珀腔維持在理想長(zhǎng)度；又要防止膜片被破壞，因此本研究在琺珀腔的裝配時(shí)使用高精度位移平臺(tái)進(jìn)行調(diào)控。首先，使用3D 打印的夾持裝置將光纖尾端與膜片對(duì)準(zhǔn)固定，通過(guò)光譜儀（北京波威科技有限公司，I-MON USB）獲得的光譜圖如圖8 所示。根據(jù)光譜圖計(jì)算出琺珀腔腔長(zhǎng)，然后通過(guò)精密位移平臺(tái)調(diào)節(jié)光纖位置，直至獲得最優(yōu)的反射光強(qiáng)與所需腔長(zhǎng)，最后進(jìn)行膠封。圖9 所示為傳感器探頭及其樣品。

圖8 光纖琺珀傳感器反射光譜Fig.8 Reflection spectrum of fiber optic Fabry-Perot sensor

圖9 多孔式敏感膜片傳感器探頭Fig.9 Porous sensing diaphragm sensor probe

3 實(shí)驗(yàn)與結(jié)果分析

3.1 實(shí)驗(yàn)設(shè)置

實(shí)驗(yàn)采用可以發(fā)射出固定頻率和幅值超聲波信號(hào)的函數(shù)發(fā)生器作為聲源，向傳感器探頭發(fā)射標(biāo)準(zhǔn)正弦超聲波信號(hào)。在實(shí)驗(yàn)容器中以密度為400 kg/m3的變壓器油作為液體介質(zhì)，封裝的環(huán)氧膠黏合與防水透聲膜可以密封與保護(hù)傳感器探頭，油液不會(huì)進(jìn)入到琺珀腔而導(dǎo)致傳感器失效。函數(shù)發(fā)生器驅(qū)動(dòng)的聲源可以在液體中發(fā)射穩(wěn)定的標(biāo)準(zhǔn)超聲波信號(hào)，便于傳感器的性能測(cè)試。

傳感器的距離衰減與靜態(tài)壓力性能測(cè)試裝置如圖10 所示。整個(gè)探測(cè)系統(tǒng)的其余部分保持不變，探頭分別放置于裝滿油液的塑料管與玻璃燒杯中，塑料管上標(biāo)有刻度方便調(diào)節(jié)探頭與聲源之間的距離；靜態(tài)壓力測(cè)試中，使用無(wú)外殼封裝的探頭，調(diào)節(jié)桿可以控制探頭在液體中的深度，通過(guò)密度公式（3）來(lái)計(jì)算某一位置時(shí)的靜態(tài)壓力。

圖10 局部放電檢測(cè)實(shí)驗(yàn)裝置示意圖Fig.10 Schematic diagram of partial discharge detection experimental setup

其中：ρ為液體密度，h為探頭端面浸在液體中的深度，g為重力加速度。

3.2 傳感器靜態(tài)壓力性能測(cè)試

傳感器靜態(tài)壓力性能指直接對(duì)傳感器施加特定大小的壓力時(shí)，傳感器輸出信號(hào)隨壓力增加的波動(dòng)變化。在測(cè)量靜態(tài)壓力時(shí)，需要將傳感器探頭直接浸入液體中，膜片與液體直接接觸。實(shí)驗(yàn)在0~400 μm 內(nèi)進(jìn)行，將測(cè)量步長(zhǎng)設(shè)置為50 μm，同一個(gè)深度多次測(cè)量取平均值。

在小撓度彎曲情況下，膜片中心形變與壓力呈線性關(guān)系，則腔長(zhǎng)與壓力是一一對(duì)應(yīng)關(guān)系。如圖11 所示，在測(cè)量范圍內(nèi)，傳感器得到的電壓輻值變化與傳感器在液體中的深度呈線性關(guān)系，即與感受到的靜態(tài)壓力呈線性關(guān)系，靈敏度達(dá)到1.25 V/Pa，并可以長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作。

圖11 多孔式敏感膜片EFPI 傳感器液體中的靜態(tài)壓力響應(yīng)Fig. 11 Static pressure response of porous sensing dia?phragm EFPI sensors in liquids

3.3 傳感器距離衰減與方向響應(yīng)性能測(cè)試

傳感器距離衰減指?jìng)鞲衅鬏敵鲂盘?hào)隨探測(cè)距離變化產(chǎn)生的波動(dòng)變化；方向響應(yīng)指輸出信號(hào)隨探頭與聲源之間夾角變化產(chǎn)生的波動(dòng)變化。距離衰減測(cè)試實(shí)驗(yàn)中，研究多孔結(jié)構(gòu)式EFPI 傳感器在液體中1 m 以內(nèi)的距離衰減，始終將傳感器探頭與聲源置于同一水平線上，通過(guò)函數(shù)發(fā)生器產(chǎn)生在傳感器固有頻率附近的超聲信號(hào)，將探頭與聲源分別放置在不同刻度處，以10 cm 為步長(zhǎng)，測(cè)試探頭與聲源從對(duì)準(zhǔn)到1 m 處的信號(hào)幅度。將探頭與聲源無(wú)間隙對(duì)準(zhǔn)時(shí)，使用函數(shù)發(fā)生器生成標(biāo)準(zhǔn)正弦波超聲信號(hào)，示波器上顯示出標(biāo)準(zhǔn)正弦曲線，對(duì)測(cè)量所得數(shù)據(jù)進(jìn)行快速傅里葉變換，即可將時(shí)頻曲線轉(zhuǎn)化為所需要的幅頻曲線。

圖12 展示了時(shí)頻曲線與轉(zhuǎn)化后的幅頻曲線。觀察幅頻曲線可以發(fā)現(xiàn)：在接收到給定頻率的信號(hào)后，信號(hào)幅值遠(yuǎn)高于噪聲幅值，傳感器具有良好的信噪比。

圖12 多孔式敏感膜片EFPI 傳感器在液體中對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)正弦波信號(hào)的幅頻響應(yīng)曲線Fig.12 Amplitude-frequency response curve of porous sensing diaphragm EFPI sensor in liquid for stan?dard sine wave signal

另外，使用脈沖放電槍在距離傳感器探頭1 m 處模擬局部放電產(chǎn)生超聲信號(hào)，得到的放電響應(yīng)曲線如圖13 所示。從圖中可以發(fā)現(xiàn)，該傳感器對(duì)局部放電產(chǎn)生的超聲信號(hào)具有良好的檢測(cè)能力。

圖13 多孔式敏感膜片EFPI 傳感器對(duì)脈沖放電槍放電的響應(yīng)曲線Fig.13 Response curve of porous sensing diaphragm EF?PI sensor for discharge released by pulse dis?charge gun

對(duì)不同距離處測(cè)量得到的幅值結(jié)果如圖14所示，擬合后發(fā)現(xiàn)在0~20 cm 內(nèi)電壓幅值與距離可看作線性相關(guān)，20 cm 以后幅值隨著距離呈指數(shù)形式衰減，擬合得到的指數(shù)函數(shù)為：

圖14 多孔式敏感膜片EFPI 傳感器在液體中依據(jù)探測(cè)距離的信號(hào)變化Fig.14 Porous sensing diaphragm EFPI sensor in liquid based on signal change of detection distance

與空氣中的探測(cè)結(jié)果［4］相比，得到的電壓幅值有所減弱，電壓幅值與距離的相關(guān)性與空氣中基本一致，因此提升傳感器性能可從放大接收到的信號(hào)方面考慮。

測(cè)量傳感器的方向響應(yīng)時(shí)，將探頭固定于液體中，通過(guò)移動(dòng)聲源來(lái)改變聲源與探頭之間的夾角和位置，測(cè)量從0°~180°的方向響應(yīng)，測(cè)量角度步長(zhǎng)為30°，90°為聲源正對(duì)探頭位置。

實(shí)驗(yàn)結(jié)果如圖15 所示，當(dāng)探頭與聲源正對(duì)時(shí)響應(yīng)幅度最大，在側(cè)面幅度相應(yīng)減?。桓淖儍烧咧g的距離，可以得到相同的結(jié)果，因此在液體中EFPI 傳感器對(duì)不同方向上的信號(hào)識(shí)別能力較強(qiáng)。使用單個(gè)探頭結(jié)合方向響應(yīng)結(jié)果可大致確定液體中局部放電與探頭的夾角方向，如需定位，可使用多個(gè)探頭以三角定位法大致確定局部放電的位置。

圖15 多孔式敏感膜片EFPI 傳感器在液體中5，10 cm距離時(shí)的方向響應(yīng)Fig. 15 Directional response of porous sensing dia?phragm EFPI sensor at distances of 5 and 10 cm in liquid

通過(guò)傳感器的距離衰減與方向響應(yīng)測(cè)試可以發(fā)現(xiàn)：輸出信號(hào)在距離增加時(shí)主要以指數(shù)形式衰減，在一定范圍內(nèi)呈線性衰減，因此測(cè)量時(shí)可以通過(guò)信號(hào)衰減形式判斷出放電位置與探頭之間的大致距離；且在聲源正對(duì)探頭時(shí)輸出的信號(hào)幅值最大，向兩側(cè)偏移時(shí)逐漸減小，實(shí)際應(yīng)用過(guò)程中需要通過(guò)調(diào)整探頭方向獲得最佳信號(hào)輸出。

4 結(jié) 論

面向光纖琺珀超聲傳感器的多孔式敏感膜片不僅有效避免了完整膜片內(nèi)外壓的不平衡，而且有著同尺寸下幾乎不弱于圓形完整膜片的固有頻率，對(duì)信號(hào)測(cè)量無(wú)顯著影響。利用MEMS工藝可制造出僅有5 μm 厚的敏感膜片，敏感膜片上的通氣孔可以使內(nèi)外氣壓保持平衡。另外，在裝配時(shí)使用環(huán)氧膠黏合方式，并利用3D 打印技術(shù)進(jìn)行保護(hù)封裝，操作簡(jiǎn)單，價(jià)格低廉。性能測(cè)試表明，研制的傳感器在液體中具有較好的距離衰減與方向性響應(yīng)。靜態(tài)壓力測(cè)試結(jié)果表明：膜片在靜壓力的作用下，靈敏度可達(dá)1.25 V/Pa，在局部放電檢測(cè)領(lǐng)域有著較大的應(yīng)用潛力。