尹志堯和他的中國“芯”

文/高榮偉

他在硅谷從事半導體行業(yè)二十多年，專注于等離子體刻蝕設備的研發(fā)，個人擁有60多項專利，一度做到美國應用材料公司副總裁。功成名就之后，他出人意料地選擇回國，只因當年一句誓言，“學成只為他日歸來，報效祖國！”他，就是中微半導體設備公司董事長兼CEO尹志堯。

硅谷最有成就的華人之一

尹志堯出生在北京，大學畢業(yè)后在甘肅蘭州煉油廠和中科院系統(tǒng)工作了近十年。1978年，“不安分”的他考入北京大學化學系念碩士。在那里，他目睹了當時國內(nèi)最先進的計算機，內(nèi)存只有128K，卻占了兩棟大樓，“里面裝著數(shù)不清的電子管”。此情此景讓他夜不能寐，改變中國半導體狀況的想法在他心里涌動：“中國的電腦要擁有內(nèi)存更多、運行更快的芯片！”

1980年，在父親的鼓勵下，尹志堯前往美國加利福尼亞大學洛杉磯分校攻讀博士學位。此后，尹志堯一直在硅谷打拼。一開始，他在英特爾公司工作，負責電漿刻蝕業(yè)務。

在英特爾，尹志堯如魚得水。期間，他經(jīng)常與科林公司打交道，而他的任務之一，就是給對方的刻蝕機找毛病。在此過程中，尹志堯的才華給對方留下了深刻的印象，于是，科林極力邀請他加盟。

這是一個困難的抉擇。英特爾初露王者之相，而科林成立不到六年，因為業(yè)績不佳正在大幅裁員。出人意料的是，尹志堯選擇了科林?！耙苍S是對方的困境激起了我內(nèi)心勇于接受挑戰(zhàn)、敢于戰(zhàn)勝自我的基因?！币緢蚧貞浾f。在科林，尹志堯不負眾望，短短數(shù)年便開發(fā)出一系列成功的產(chǎn)品，幫助科林斬獲全球40%的市場。

這時，昔日被挑落馬下的霸主美國應用材料公司，也向這個青年才俊拋出了橄欖枝。尹志堯沒有猶豫，果斷接受邀請，迎接下一個人生挑戰(zhàn)。

1991年，尹志堯來到全球最大的半導體設備公司——美國應用材料公司擔任副總裁。應用材料公司是為電子行業(yè)提供納米制造技術方案的全球領先企業(yè)，在這里，尹志堯參與了刻蝕機的研發(fā)工作。眾所周知，刻蝕機是芯片制造的三大核心設備，加工精度在納米級，相當于在一根頭發(fā)絲幾千分之一的尺度上，蓋幾十層高樓，或者搭一座立交橋，難度可想而知。

幾年后，戲劇性的一幕出現(xiàn)了，刻蝕機市場的天平再一次向美國應用材料公司傾斜，尹志堯和同伴們所開發(fā)的產(chǎn)品，在這個領域占了全世界幾乎50%的份額。在美國應用材料公司，他一干就是14年，先后獲得了86項專利，被譽為“硅谷最有成就的華人之一”。

學成只為他日歸來

2004年，尹志堯已經(jīng)60歲，但他毅然放棄了美國的百萬年薪，攜30人的創(chuàng)業(yè)團隊踏上了回國之路。尹志堯的歸國之舉震驚了硅谷同行。臨行前，美國政府清查了他們所有的電腦和600多萬個文件。

在上海，尹志堯創(chuàng)辦中微半導體設備公司，任董事長兼CEO?；貒鴦?chuàng)業(yè)并非易事。為了籌資，他跑遍所有可能注資的機構(gòu)和企業(yè)，卻沒能拿回一分錢。當時，國內(nèi)對這種幾十億砸不出個水花的行業(yè)既不熟悉，也不感冒。無奈之下，他只好求助于硅谷。結(jié)果，短短兩周，數(shù)十家風投機構(gòu)就踏破門檻。

此情此景，讓一心報國的尹志堯情何以堪：難道只有美國人能造出刻蝕機？不甘心讓外資控股的尹志堯，將眾多急于入股的風投拒之門外，帶著3900萬美元回到國內(nèi)。

當時，信息技術正在引領新一輪技術革命浪潮，芯片的研發(fā)對于中國信息化至關重要。如果說在工業(yè)化時代，鋼鐵是工業(yè)的“糧食”，那么在信息化時代，芯片就是現(xiàn)代工業(yè)的“糧食”。然而，有人開玩笑說，中國什么都不缺，但是很缺“芯”。中國的芯片行業(yè)除了水和空氣以外，其他全是從國外進口的。

半導體芯片是當今尖端制造的制高點，刻蝕機是芯片制造及微觀加工的最重要設備之一，由于行業(yè)競爭激烈，幾十年前,這個領域有近三十個玩家，后來只剩下兩三個。中微如果不能在競爭中壯大，就只能等死。

尹志堯說：“要做就做世界第一，做中國第一也會被別人替代！”在半導體行業(yè)，尹志堯是少有的既懂技術，又擅長經(jīng)營的公司掌舵人。早在中學時，他就展現(xiàn)出過人的組織能力，先后做過六年少先隊和共青團工作；到了美國，又發(fā)起成立硅谷中國工程師協(xié)會，并擔任前兩任主席。這為他創(chuàng)業(yè)打下堅實的基礎。

回國僅三年，尹志堯團隊就開發(fā)出了第一臺國產(chǎn)的生產(chǎn)半導體芯片的設備——等離子體刻蝕機，在業(yè)內(nèi)首次采用雙反應臺，效率比國外同類產(chǎn)品高出30%以上。

對此，美國公司感到難以置信，作為龍頭老大的應用材料公司“理所當然”地認為，“尹志堯肯定是偷了我們的技術，當初他們肯定私藏了圖紙和資料?！庇谑菍χ形雽w提起專利訴訟。

對此，尹志堯早有準備，回國之際，他就要求團隊，“不許攜帶老東家的任何文件和資料?！泵绹鴳貌牧瞎镜穆蓭焾F隊氣勢洶洶來到中微檢查之后，并未發(fā)現(xiàn)任何“盜竊”證據(jù)，只好與中微握手言和。這件事導致中微的國際信譽大增。

有人說，中微半導體研發(fā)的中國大陸第一臺等離子體蝕刻機，為關鍵設備領域注入了一顆奔騰的中國“芯”。不過，這還只是開始。

沒過多久，中微又推出第二代產(chǎn)品，將刻蝕和除膠整合在一臺設備里，再次顛覆了行業(yè)慣例。芯片代工巨頭臺積電布局7納米工藝時，在全球遴選了五家設備供應商，中微是大陸唯一入選的企業(yè)。刻蝕機7納米制程是目前人類能夠在大生產(chǎn)線上制造出的最小集成電路布線間距，接近了微觀加工極限。

成功實現(xiàn)第一個目標

當所有的巨頭還在為10納米、7納米技術大肆進軍的時候，中微正式宣布掌握5納米技術。在迄今為止人類開發(fā)的最復雜的技術上，中微終于突破了外企壟斷的局面。這是中國半導體歷史上最重要的一筆，也是中國半導體技術第一次比肩世界領先水平。

5納米技術，是一個什么概念？“利用微雕技藝在米粒上刻字，一般能刻200個字已經(jīng)是極限，而我們的等離子刻蝕機在芯片上的加工工藝，相當于可以在米粒上刻10億個字?！币緢蜻@樣形容。

2015年2月，美國商務部宣布，解除等離子刻蝕機對中國的出口限制，理由是中國已經(jīng)可以生產(chǎn)相同水平的設備。而迫使美國政府做出這一決定的，正是尹志堯。

憑借占地面積小、產(chǎn)出效率高、質(zhì)量過硬的特點，中微的產(chǎn)品已經(jīng)成功打入英特爾、臺積電等一線大廠的生產(chǎn)線，并奪得國內(nèi)35%的市場。不僅如此，中微還將自己的產(chǎn)品線拓展至硅通孔、傳感器等領域，為意大利、法國半導體、博世等傳感器巨頭提供先進的設備。

“15年追趕，20年超越”是被譽為“半導體國產(chǎn)設備教父”的尹志堯2004年由硅谷歸國時設立的目標。如今十多年過去了，中微芯片技術已與國外同行水平比肩。據(jù)了解，目前，中微開發(fā)的等離子體刻蝕機已經(jīng)進入了國際最先進的7納米芯片生產(chǎn)線，并將進入5納米的試生產(chǎn)，成功實現(xiàn)了第一個目標。

中微半導體從事的刻蝕設備研發(fā)擁有良好的市場前景?！暗?020年，僅芯片前端設備的市場規(guī)模就將達到300億美元至400億美元?！币緢蛘f，“我們統(tǒng)計，2016年到2020年，國內(nèi)共有998億美元總投資，半導體設備投資為748億美元。其中，等離子體刻蝕設備投資大約為134.7億美元，中微的刻蝕機可以分得相當大的份額?！?/p>

尹志堯自豪地說，未來，中國將會變成世界上主要芯片生產(chǎn)制造基地之一。對此，我們充滿信心。