天津大學(xué)突破性開(kāi)創(chuàng)柔性射頻濾波技術(shù)

天津大學(xué)科研團(tuán)隊(duì)開(kāi)創(chuàng)了柔性射頻濾波技術(shù)，并且利用一項(xiàng)名為柔性微機(jī)電系統(tǒng)（FlexMEMS）的創(chuàng)新工藝成功開(kāi)發(fā)出柔性射頻濾波器，未來(lái)可直接應(yīng)用于柔性電子的無(wú)線射頻通信。團(tuán)隊(duì)首創(chuàng)的FlexMEMS工藝技術(shù)能夠在超薄的塑料基底上制造具有高精密可動(dòng)微結(jié)構(gòu)的微機(jī)電器件，解決了表面粗糙且不耐高溫的高分子材料基底與高質(zhì)量薄膜、高精密可動(dòng)微結(jié)構(gòu)在器件設(shè)計(jì)、制造及封裝中的不兼容問(wèn)題。此外，該技術(shù)還可以應(yīng)用于制造多種柔性微機(jī)電器件，如壓力計(jì)、加速度計(jì)、陀螺儀、超聲識(shí)別和成像單元、投影成像單元等，使柔性電子設(shè)備具備更強(qiáng)的感知外部世界（如虛擬現(xiàn)實(shí)）甚至影響外部世界（如現(xiàn)實(shí)增強(qiáng)）的能力。

（圖片來(lái)源：Wiley）