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    LPCVD Si3N4工藝中副產(chǎn)物NH4Cl去除的研究

    2018-05-09 01:28:24林洪春朱應(yīng)強(qiáng)
    微處理機(jī) 2018年2期
    關(guān)鍵詞:氮化硅副產(chǎn)物新工藝

    林洪春,朱應(yīng)強(qiáng),薛 斌

    (1.中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十七研究所,沈陽(yáng)110032)

    1 引言

    化學(xué)氣相薄膜淀積是集成電路制造中常用的基礎(chǔ)工藝之一,化學(xué)氣相淀積分為低壓淀積、常壓淀積和等離子體淀積等,文章重點(diǎn)研究低壓化學(xué)氣相淀積(Low pressure chemical vapor deposition)氮化硅薄膜。氮化硅薄膜的質(zhì)量直接關(guān)系集成電路的性能及良率,低壓化學(xué)氣相淀積過(guò)程中副產(chǎn)物的處理尤其重要,研究的目的是去除低壓化學(xué)氣相淀積LPCVD Si3N4工藝中的副產(chǎn)物NH4Cl,研究的主要成果在于有效的控制了LPCVD Si3N4片面的顆粒度,保證了Si3N4薄膜的生長(zhǎng)質(zhì)量[1]。

    集成電路加工工藝中,薄膜質(zhì)量直接影響器件的成品率,對(duì)于加工集成電路及光電系列產(chǎn)品的工藝線,低壓淀積氮化硅薄膜是IC產(chǎn)品預(yù)氧化后掩蔽層的關(guān)鍵工序,氮化硅薄膜質(zhì)量也關(guān)系有源區(qū)窗口質(zhì)量及邊緣鳥嘴的翹曲度。經(jīng)過(guò)系列實(shí)驗(yàn)摸索,使用原工藝造成LP Si3N4薄膜顆粒過(guò)大,MOS電路需要返工來(lái)重新淀積Si3N4薄膜,返工時(shí),要先利用磷酸在180℃條件下的高溫化學(xué)反應(yīng)除氮化硅,再使用50:1HF去除50nm預(yù)氧化層,而磷酸與稀釋之后的50:1HF都無(wú)法去除氮化硅表面的顆粒[2],如副產(chǎn)物NH4Cl,這樣導(dǎo)致返工后顆粒殘留。氮化硅薄膜由于其優(yōu)良特性廣泛應(yīng)用于光電器件的制造,通常采用熱氧化層與氮化硅薄膜組合作為光電產(chǎn)品的增透膜使用,如果氮化硅薄膜質(zhì)量不佳,且光電品種增透膜無(wú)法返工,直接的后果就是報(bào)廢。

    因此,研究氮化硅薄膜質(zhì)量問(wèn)題十分必要,對(duì)于氮化硅反應(yīng)中副產(chǎn)物NH4Cl去除的研究,有助于解決薄膜顆粒度以及副產(chǎn)物過(guò)多導(dǎo)致的氮化硅富硅現(xiàn)象,提升薄膜質(zhì)量,提高元器件可靠性。

    2 LPCVD Si3N4工藝原理

    低壓化學(xué)氣相淀積氮化硅是半導(dǎo)體工藝制膜的方法之一[3],其原理為低壓化學(xué)氣相反應(yīng),溫度選擇為790~810℃,壓力設(shè)定為200mtor,以此為基礎(chǔ)條件進(jìn)行工藝反應(yīng)[4],NH3SiH2Cl2N2等反應(yīng)氣體在高溫低壓抽真空的環(huán)境中進(jìn)行化學(xué)反應(yīng),生成的薄膜在晶圓表面形成小島逐漸成膜[5],成膜的質(zhì)量與工藝密切相關(guān)。通過(guò)改變氣體比例控制氮化硅薄膜的質(zhì)量,可從根本上避免反應(yīng)中副產(chǎn)物氯化銨(NH4Cl)的生成。經(jīng)過(guò)理論結(jié)合試驗(yàn)驗(yàn)證,通過(guò)工藝過(guò)程中的氣體比例調(diào)整,將化學(xué)反應(yīng)過(guò)程中氣體比例NH3:SiH2Cl2選擇為3:1,即氣體流量60sccm:20sccm,反應(yīng)壓力為200mtor,其優(yōu)點(diǎn)在于反應(yīng)過(guò)程中的氣體配比合理,副產(chǎn)物生成較少,反應(yīng)方程式如下[5]:

    通過(guò)深入研究氮化硅薄膜的特性,采用系列化的工藝試驗(yàn)來(lái)驗(yàn)證LPCVD Si3N4薄膜的質(zhì)量,其化學(xué)反應(yīng)使用三種氣體,分別是NH3、SiH2Cl2和N2,前兩種氣體的純度為6N,氮?dú)獾募兌葹?N,其理由是前兩種氣體為具體反應(yīng)氣體,后一種氣體為反應(yīng)過(guò)程中調(diào)節(jié)反應(yīng)管道壓力的飽和氣體,反應(yīng)溫度采用梯度溫度,管道口為790℃、管道中為810℃,管道尾為830℃。研究發(fā)現(xiàn)無(wú)法通過(guò)調(diào)整反應(yīng)溫度、反應(yīng)腔體壓力解決氮化硅表面顆粒問(wèn)題。通過(guò)試驗(yàn)發(fā)現(xiàn)NH3、SiH2Cl2的氣體流量比例是LPCVD Si3N4薄膜片面顆粒根除的關(guān)鍵,研究中通過(guò)調(diào)整這個(gè)比例來(lái)解決氮化硅表面顆粒度問(wèn)題。經(jīng)重新調(diào)整,將原有的工藝條件氣體氨氣、二氯二氫硅及反應(yīng)壓力,即NH3(30sccm):SiH2Cl2(60sccm)/Press(200mtor)更改為NH3(20sccm):SiH2Cl2(60sccm)/Press(200mtor),這樣大大增加了反應(yīng)氣體中氨氣的比例,使反應(yīng)氣體中氨氣的飽和量稍高,減少薄膜中富硅的現(xiàn)象產(chǎn)生,進(jìn)而減少副產(chǎn)物NH4Cl的生成。

    3 LPCVD Si3N4薄膜工藝優(yōu)化方案

    3.1 薄膜制備工藝流程

    實(shí)驗(yàn)選用硅基N<100>晶片,使用50:1HF漂洗表面的自然氧化層3~5nm[6],經(jīng)過(guò)清洗甩干,為防止氮化硅應(yīng)力過(guò)大,先進(jìn)行預(yù)氧化。預(yù)氧化使用50nm氧化工藝菜單,氧化薄膜采用熱氧化工藝。預(yù)氧化完成后,為防止清洗、甩干后氧化層表面有水汽等因素,導(dǎo)致淀積氮化硅薄膜質(zhì)量不佳,不清洗直接進(jìn)行氮化硅淀積,淀積厚度為180nm。工藝步驟如表1。

    表1 淀積氮化硅的工藝步驟

    3.2 工藝試驗(yàn)對(duì)比

    試驗(yàn)采取新老工藝對(duì)比的方式進(jìn)行,使用晶圓試驗(yàn)片進(jìn)行厚度測(cè)試比較及折射率測(cè)試。老工藝的條件為NH3(30sccm)/SiH2Cl2(60sccm)/Press(200mtor)/810℃,新工藝條件為NH3(20sccm)/SiH2Cl2(60sccm)/Press(200mtor)/810℃。

    老工藝 NH3(30sccm)/SiH2Cl2(60sccm)/Press(200mtor)/810℃ 進(jìn)行10片試驗(yàn),目標(biāo)值為180±10nm,使用膜厚儀測(cè)試的厚度及折射率如表2:

    表2 舊工藝的試驗(yàn)數(shù)據(jù)

    采用新工藝NH3(20sccm)/SiH2Cl2(60sccm)/Press(200mtor)/810℃進(jìn)行10片試驗(yàn),目標(biāo)值為180±10nm,使用膜厚儀測(cè)試的厚度及折射率如表3:

    表3 新工藝的試驗(yàn)數(shù)據(jù)

    采用新老工藝之后的片面對(duì)比情況如圖1所示。老工藝的片面四周顏色不均,代表了薄膜厚度的差異;新工藝的片面均勻,很大程度上改善了晶圓表面四周顏色不均的問(wèn)題。

    圖1 不同氣體比例下氮化硅薄膜差異

    4 實(shí)驗(yàn)結(jié)果

    通過(guò)對(duì)新舊工藝樣片測(cè)試結(jié)果對(duì)比,采用新工藝后,薄膜的厚度均勻性一致,折射率均為2.0[7],解決了因副產(chǎn)物NH4Cl較多而產(chǎn)生的薄膜厚度不均勻問(wèn)題,薄膜的折射率、均勻性、擬合度良好,薄膜質(zhì)量?jī)?yōu)良。圖2為膜厚儀的擬合曲線。

    圖2 新工藝薄膜的膜厚儀測(cè)試擬合曲線

    5 結(jié)束語(yǔ)

    通過(guò)以上理論及實(shí)踐的研究,解決了因氮化硅工藝氣體配比不合理而產(chǎn)生的副產(chǎn)物NH4Cl過(guò)多的問(wèn)題,繼而改善了氮化硅薄膜的顆粒及應(yīng)力帶來(lái)的薄膜質(zhì)量問(wèn)題,保證了低壓化學(xué)氣相淀積氮化硅薄膜的可靠性,有助于大幅度提高IC產(chǎn)品的成品率及光電器件增透膜的質(zhì)量[8]。

    參考文獻(xiàn):

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