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    基于云制造服務(wù)的半導(dǎo)體晶圓制造廠

    2017-11-07 23:55:04李繼承
    科技創(chuàng)新與應(yīng)用 2017年30期
    關(guān)鍵詞:半導(dǎo)體

    李繼承

    摘 要:云制造(CMfg)是新一代面向服務(wù)的網(wǎng)絡(luò)制造模式,能夠?yàn)榉植际接脩籼峁┘泄芾淼闹圃熨Y源、能力和服務(wù)。在本研究中,會將CMfg應(yīng)用到晶圓制造廠(wafer fab)中進(jìn)行仿真。通過云服務(wù)供應(yīng)商、軟件供應(yīng)商、設(shè)備供應(yīng)商和晶圓廠的合作,提出幾個(gè)CMfg服務(wù)來協(xié)助模擬活動,提升工廠競爭力。

    關(guān)鍵詞:云制造;制造模式;半導(dǎo)體;晶圓制造廠

    中圖分類號:TM23 文獻(xiàn)標(biāo)志碼:A 文章編號:2095-2945(2017)30-0018-02

    1 概述

    半導(dǎo)體行業(yè)的競爭,尤其是動態(tài)隨機(jī)存取存儲器(DRAM)行業(yè),正變得越來越激烈,在這個(gè)行業(yè)中生存是很困難的[1][2]。最近發(fā)生的一些事件突出了這個(gè)事實(shí):2008年12月,臺灣DRAM產(chǎn)業(yè)瀕臨破產(chǎn);2009年1月,德國DRAM制造商Qimonda宣布破產(chǎn);2012年2月,日本DRAM制造商Elpida申請破產(chǎn)保護(hù)?;谝陨犀F(xiàn)實(shí),本研究的目的是評估應(yīng)用CMfg技術(shù)來增強(qiáng)半導(dǎo)體制造商的競爭力和可持續(xù)性的可行性。將晶圓廠模擬成云服務(wù),作為一個(gè)例子來探討CMfg如何提高管理晶圓廠的效率。

    2 晶圓廠模擬成云服務(wù)(FSaaCS)

    未來的CMfg將會面臨六個(gè)問題,包括高速、遠(yuǎn)程工業(yè)控制系統(tǒng)、靈活性支持、商業(yè)模型、制造業(yè)中的云計(jì)算應(yīng)用以及有效的實(shí)施架構(gòu)[3]。從CMfg的制造業(yè)角度來看,通過重新分配機(jī)器來消除晶圓廠的瓶頸是一個(gè)可行的方向。

    晶圓廠是一個(gè)龐大而復(fù)雜的系統(tǒng),通常涉及數(shù)以千計(jì)的機(jī)器,這種系統(tǒng)的模擬是一項(xiàng)艱巨的任務(wù)。模擬晶圓廠步驟如圖1。

    其中,CMfg至少可以在以下幾個(gè)方面發(fā)揮作用:

    (1)準(zhǔn)備和分析數(shù)據(jù):云服務(wù)提供商使用他們的統(tǒng)計(jì)分析軟件來響應(yīng)用戶的請求,從而提供此功能,所謂的“統(tǒng)計(jì)分析”是一種云服務(wù)(SAaaCS)。

    (2)定義設(shè)備:盡管可視化對于模擬晶圓廠來說可能不太重要,但關(guān)鍵的組件是可視化的模型、圖片以及其他設(shè)備的基本數(shù)據(jù),都能從設(shè)備供應(yīng)商共同維護(hù)的一個(gè)范圍中引用,所謂的“設(shè)備定義”是一種云服務(wù)(EDaaCS),其概念如圖2所示。

    (3)構(gòu)建布局:諸如Autodesk 360之類的云服務(wù)已經(jīng)被設(shè)計(jì)用于設(shè)施布局,所謂的“設(shè)施布局”,即云服務(wù)(FLaaCS),F(xiàn)LaaCS對于晶圓廠的可伸縮性很重要(參見圖3)。

    (4)定義和轉(zhuǎn)換配方:在獨(dú)立的工廠仿真系統(tǒng)中,不同的系統(tǒng)記錄配方的格式通常不同;另外,其中一些系統(tǒng)是基于順序操作的,而另一些是面向?qū)ο蟮?;此外,一些嵌入到操作中的程序可以用不同的語言進(jìn)行編碼。在為定義配方設(shè)計(jì)云服務(wù)時(shí),必須解決這些困難,定義配方為一個(gè)云服務(wù)(DRaaCS)。此外,云服務(wù)提供商還可以幫助定義生產(chǎn)特定產(chǎn)品的配方,或者在設(shè)備供應(yīng)商的幫助下,轉(zhuǎn)換配方或制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)。所謂的“配方轉(zhuǎn)換”作為一種云服務(wù)(RCaaCS),如圖2中所示。這被認(rèn)為是晶圓廠的互操作性的重要一步。

    (5)運(yùn)行仿真:理論上,通過一些方法,CMfg能夠給晶圓廠仿真模型的運(yùn)行提供幫助,將運(yùn)行模擬作為一個(gè)云服務(wù)(RSaaCS)??紤]到這些不同治療方法的難度和效果,RSaaCS可以用一個(gè)四層的金字塔來概括(見圖4)。

    3 結(jié)束語

    上述一系列的云制造(CMfg)服務(wù)中,包括SAaaCS,EDaaCS,RCaaCS,F(xiàn)LaaCS,DRaaCS和RSaaCS,已經(jīng)被提議通過云服務(wù)供應(yīng)商、軟件供應(yīng)商、設(shè)備供應(yīng)商和晶圓廠的合作來協(xié)助完成相應(yīng)的模擬活動,將這些CMfg服務(wù)創(chuàng)建成了一個(gè)集成的晶圓廠云服務(wù)。通過加強(qiáng)云制造服務(wù),提升半導(dǎo)體制造商的競爭力和可持續(xù)性。

    參考文獻(xiàn):

    [1]ACEsuppliers.Available online: http://ssttpro.acesuppliers.com/semiconductor_news/hi_tech_enews_NewsId_6173.html (accessed on 11 November 2013).

    [2]The Liberty Times.Available online: http://www.libertytimes.com.tw/2013/new/sep/5/today-e12.htm(accessed on 11 November 2013.

    [3]趙陽,楊志和.基于云計(jì)算的半導(dǎo)體制造企業(yè)的制造執(zhí)行系統(tǒng)重構(gòu)[J]. 上海電機(jī)學(xué)院學(xué)報(bào),2015,18(05):306-310.endprint

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