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    相變存儲器(PCM)建設(shè)項目工藝技術(shù)及設(shè)備配置淺談

    2017-07-05 08:57:42韓敏娟
    智富時代 2017年6期
    關(guān)鍵詞:集成電路

    韓敏娟

    (信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院科技工程股份有限公司上海分公司,上海市 200233)

    【摘 要】集成電路產(chǎn)業(yè)是現(xiàn)代高科技的基礎(chǔ),也是現(xiàn)代社會的主要推動力之一。今天許多與生活密切相關(guān)的事物,均歸功于先進的半導(dǎo)體技術(shù)與器件。大多數(shù)電子系統(tǒng)的功能是處理及存儲數(shù)據(jù),而這一功能通常以內(nèi)存作為主要載體來實現(xiàn)。在許多新興的內(nèi)存技術(shù)中,相變存儲器(Phase Change Memory,PCM)是其中唯一接近大規(guī)模量產(chǎn)的技術(shù)。它同時具有高性能與非易失的特性,也可能是唯一全面兼容CMOS工藝、并能在近年內(nèi)迅速量產(chǎn)的技術(shù)。本文詳細表述PCM項目的生產(chǎn)工藝技術(shù)特點以及工藝設(shè)備配備需求。

    【關(guān)鍵詞】集成電路;PCM制程;相變存儲器;金屬化制程

    隨著集成電路技術(shù)的持續(xù)進步,新的內(nèi)存技術(shù)也繼續(xù)強化現(xiàn)有的系統(tǒng)或創(chuàng)造全新的應(yīng)用。在許多新興的內(nèi)存技術(shù)中,相變存儲器(Phase Change Memory,PCM)是其中唯一接近大規(guī)模量產(chǎn)的技術(shù)。它同時具有高性能與非易失的特性,也可能是唯一全面兼容CMOS工藝、并能在近年內(nèi)迅速量產(chǎn)的技術(shù)。預(yù)期相變存儲器將對現(xiàn)代電子產(chǎn)品與市場產(chǎn)生非常巨大而深遠的影響。相變存儲器擁有非常廣闊的應(yīng)用前景,整個市場潛能非常好。

    一、項目建設(shè)的必要性

    雖然中國是全球最大的芯片消費國,但是中國的半導(dǎo)體技術(shù)還遠遠落后,關(guān)鍵芯片仍需依賴進口,相變存儲器是未來中國取得全球半導(dǎo)體技術(shù)與電子產(chǎn)業(yè)領(lǐng)先地位的最佳選擇。根據(jù)半導(dǎo)體發(fā)展的經(jīng)驗,新技術(shù)能早期推出者將獲得最高的市場利益,后來者將面臨激烈的市場競爭。相變存儲器技術(shù)對于未來電子系統(tǒng)架構(gòu)有很大的影響,也是中國電子產(chǎn)業(yè)邁入下一階段必要獲得的技術(shù)。相變存儲器預(yù)計會有大量的市場需求,所以目前是大力發(fā)展相變存儲器的最佳時機。

    二、工藝技術(shù)

    (一)PCM簡介

    相變存儲器(phase change memory),簡稱PCM,利用硫族化合物在晶態(tài)和非晶態(tài)巨大的導(dǎo)電性差異來存儲數(shù)據(jù)的。是基于奧弗辛斯基在20世紀60年代末提出的奧弗辛斯基電子效應(yīng)的存儲器。

    奧弗辛斯基電子效應(yīng)是指材料由非晶體狀態(tài)變成晶體,再變回非晶體的過程中,其非晶體和晶體狀態(tài)呈現(xiàn)不同的反光特性和電阻特性,因此可以利用非晶態(tài)和晶態(tài)分別代表“0”和“1”來存儲數(shù)據(jù)。

    相變存儲器(PCM或PCRAM)作為下一代存儲技術(shù)的領(lǐng)先候選者。它不僅能取代閃存的應(yīng)用,而且能夠擴展非揮發(fā)性內(nèi)存(NVM)到主流內(nèi)存的應(yīng)用(低功耗DRAM)、汽車(耐高溫)、航空電子設(shè)備和軍事設(shè)備(抗核電磁輻射爆炸)、關(guān)鍵任務(wù)領(lǐng)域(低功耗以及實時)、甚至到計算機硬盤。

    (二)PCM工作原理

    在非晶態(tài)下,GST材料具有短距離的原子能級和較低的自由電子密度,使得其具有較高的電阻率。由于這種狀態(tài)通常出現(xiàn)在RESET操作之后,我們一般稱其為RESET狀態(tài),在RESET操作中DUT的溫度上升到略高于熔點溫度,然后突然對GST淬火將其冷卻。冷卻的速度對于非晶層的形成至關(guān)重要。非晶層的電阻通??沙^1兆歐。

    在晶態(tài)下,GST材料具有長距離的原子能級和較高的自由電子密度,從而具有較低的電阻率。由于這種狀態(tài)通常出現(xiàn)在SET操作之后,我們一般稱其為SET狀態(tài),在SET操作中,材料的溫度上升高于再結(jié)晶溫度但是低于熔點溫度,然后緩慢冷卻使得晶粒形成整層。晶態(tài)的電阻范圍通常從1千歐到10千歐。晶態(tài)是一種低能態(tài);因此,當對非晶態(tài)下的材料加熱,溫度接近結(jié)晶溫度時,它就會自然地轉(zhuǎn)變?yōu)榫B(tài)。

    (三)工藝技術(shù)方案

    本項目相變儲存器(PCM)芯片集成工藝,是在NMOS管的漏端上制作專有的PCM制程(GST制程)及多層金屬化制程,其在電路上表現(xiàn)為串聯(lián)連接。NMOS管作為選通串聯(lián)著的相變材料的開關(guān)器件,控制這對相變材料的擦操作和寫操作,從而實現(xiàn)信息儲存。

    1、加熱電極(Φ130nm)制備

    ·化學(xué)氣相沉積(CVD)

    本項目采用CVD的方式在外購NMOS半成品芯片上,依次沉積SiO2-Si3N4-SiO2層。

    ·加熱電極光刻

    ·加熱電極干法刻蝕

    ·去膠

    ·清洗

    ·W加熱電極濺射沉積

    ·化學(xué)機械拋光(CMP)

    2、通孔層電極(Φ260nm)制備

    通孔層電極制備工藝主要流程為Si3N4、SiO2沉積→通孔層光刻→通孔層干法刻蝕→去膠→清洗→Ti/TiN黏附層沉積→通孔層W電極沉積→化學(xué)機械拋光(CMP),其中Si3N4、SiO2沉積、通孔層光刻、通孔層干法刻蝕、去膠、清洗、通孔層W電極沉積及化學(xué)機械拋光(CMP)工藝同加熱電極(Φ130nm)制備。

    3、GST(鍺、銻、碲)層制備

    GST(鍺、銻、碲)層制備工藝主要流程為GST層光刻→GST層干法刻蝕→去膠→清洗→濺射沉積GST→化學(xué)機械拋光(CMP)→TiN濺射沉積。

    4、Cu制程制備

    Cu制程制備工藝主要流程為Si3N4、SiO2沉積→Cu制程光刻→Cu制程干法刻蝕→去膠→清洗→濺射沉積Cu→化學(xué)機械拋光(CMP)。

    5、Al制程制備

    Al制程制備工藝主要流程為濺射沉積→Al制程光刻→Al制程濕法刻蝕→去膠→清洗→化學(xué)機械拋光(CMP)。

    6、鈍化層(Si3N4)制備

    鈍化層(Si3N4)制備工藝主要流程為鈍化層(Si3N4)沉積→鈍化層光刻→鈍化層干法刻蝕→去膠→清洗。

    7、背面磨削減?。˙G)

    芯片背面減薄工藝是在晶片表面電路制作完成后,對芯片背面硅材料進行磨削減薄,使其達到所需的厚度。

    8、電學(xué)測試

    主要通過電學(xué)測試設(shè)備,對產(chǎn)品進行電性測試、然后進行包裝入庫。

    (四)主要工藝設(shè)備配備

    本項目主要工藝設(shè)備配備見表。

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