MEMS中試平臺(tái)：破解中小企業(yè)創(chuàng)新難題

記者 張小妹

MEMS中試平臺(tái)：破解中小企業(yè)創(chuàng)新難題

記者 張小妹

納米技術(shù)已經(jīng)逐漸融入到我們的日常生活中了？沒錯(cuò)，你知道嗎，女生平時(shí)使用的防曬霜，開車族經(jīng)常關(guān)注的汽車輪胎，時(shí)尚潮流的虛擬現(xiàn)實(shí)，這些都是納米技術(shù)的功勞。

事實(shí)上，我們所認(rèn)識(shí)的納米產(chǎn)業(yè)，大多只是局限于納米材料，其實(shí)，納米產(chǎn)業(yè)涉及的范圍十分廣闊，還包括微納制造、智慧健康、智能制造等等各方面。

產(chǎn)業(yè)發(fā)展的支撐服務(wù)平臺(tái)

納米產(chǎn)業(yè)作為蘇州工業(yè)園區(qū)長(zhǎng)期戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)，微納制造作為納米產(chǎn)業(yè)的重要領(lǐng)域之一，一直是園區(qū)重點(diǎn)發(fā)展領(lǐng)域。但是，由于微納制造設(shè)備投入巨大，運(yùn)行維護(hù)花費(fèi)大，中小型MEMS公司往往很難承受。而MEMS領(lǐng)域的代工廠和大封裝廠門檻較高，加上我國MEMS產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新鏈不完善，缺乏工業(yè)級(jí)中試線的支撐，科研團(tuán)隊(duì)在研發(fā)做出樣品后又無法直接進(jìn)入代工廠，中小MEMS企業(yè)難以實(shí)現(xiàn)漸進(jìn)式的規(guī)模化成長(zhǎng)。

為了解決中小MEMS企業(yè)創(chuàng)新面臨的產(chǎn)品工程化研發(fā)中試?yán)Ь常沃行EMS企業(yè)和產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展，按照蘇州工業(yè)園區(qū)管委會(huì)戰(zhàn)略部署，蘇州納米科技發(fā)展有限公司于2014年9月建成6英寸微納機(jī)電制造（MEMS）中試平臺(tái)，并專門成立了蘇州納米產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司微納制造分公司，負(fù)責(zé)平臺(tái)運(yùn)營。

江蘇省（蘇州）納米產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院副院長(zhǎng)，也是蘇州工業(yè)園區(qū)納米產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司微納制造分公司的研發(fā)總監(jiān)王敏銳博士參與了平臺(tái)的早期籌備工作。他告訴記者，早在2012年，平臺(tái)就開始策劃籌備了，2014年通線成功。該平臺(tái)是我國首個(gè)按照市場(chǎng)化、全開放模式運(yùn)營的MEMS中試平臺(tái)，與科研機(jī)構(gòu)的概念驗(yàn)證、樣品研發(fā)試驗(yàn)不同，平臺(tái)主要開展工程化中試和中小批量生產(chǎn)服務(wù)，前端與產(chǎn)品樣品研發(fā)銜接，后端與規(guī)模化工程銜接，是一個(gè)完全工業(yè)級(jí)別的中試線。

平臺(tái)的建成填補(bǔ)了我國MEMS產(chǎn)業(yè)研發(fā)機(jī)構(gòu)與規(guī)?；S之間的空白，構(gòu)建了我國MEMS產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域“研發(fā)—中試—規(guī)模生產(chǎn)”的完整產(chǎn)品創(chuàng)新技術(shù)支撐體系。

如今，平臺(tái)跟眾多企業(yè)和科研院合作，共同研發(fā)成功多種重要的MEMS產(chǎn)品技術(shù)平臺(tái)和特種設(shè)備。目前已成功導(dǎo)入應(yīng)用于移動(dòng)通訊、消費(fèi)電子、汽車電子、醫(yī)療器材、國防軍工等諸多領(lǐng)域的硅麥克風(fēng)芯片、壓力傳感芯片、紅外溫度傳感芯片、微掃描鏡芯片等產(chǎn)品，極大的支撐推動(dòng)了相關(guān)MEMS企業(yè)的產(chǎn)品創(chuàng)新和發(fā)展。

MEMS產(chǎn)業(yè)集群，一起狂歡

MEMS作為蘇州工業(yè)園區(qū)的優(yōu)勢(shì)產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，也是蘇州納米城聚焦推動(dòng)的重點(diǎn)領(lǐng)域。經(jīng)過多年的產(chǎn)業(yè)布局和運(yùn)作，目前蘇州工業(yè)園區(qū)MEMS產(chǎn)業(yè)的集群效應(yīng)逐漸顯現(xiàn)，形成了MEMS傳感器的芯片設(shè)計(jì)、研發(fā)、中試、封裝測(cè)試的全覆蓋的產(chǎn)業(yè)特色，涌現(xiàn)了晶方半導(dǎo)體、敏芯、明皜等一批國內(nèi)前十的知名企業(yè)，吸引了一大批海內(nèi)外MEMS專家來園區(qū)創(chuàng)業(yè)和工作。

平臺(tái)的投入運(yùn)行極大的降低了MEMS產(chǎn)業(yè)進(jìn)入門檻和投資成本，為初創(chuàng)企業(yè)的發(fā)展提供了絕好的機(jī)會(huì)。促進(jìn)更多的MEMS相關(guān)高端人才和項(xiàng)目聚集園區(qū)，壯大MEMS產(chǎn)業(yè)規(guī)模。平臺(tái)還為投資機(jī)構(gòu)提供了挖掘MEMS高端優(yōu)質(zhì)項(xiàng)目的舞臺(tái)，有利于提高項(xiàng)目投資針對(duì)性。產(chǎn)業(yè)諸要素的不斷聚集和有機(jī)結(jié)合，促進(jìn)園區(qū)包括MEMS產(chǎn)業(yè)在內(nèi)的納米產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，預(yù)計(jì)未來10年將逐步發(fā)展成為1000億元的產(chǎn)業(yè)規(guī)模。

平臺(tái)打通了中MEMS產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新鏈，也誕生了 一個(gè)中國MEMS產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域全新的品牌——MEMSRIGHT。目前，MEMSRIGHT服務(wù)客戶達(dá)300家，遍及江蘇、北京、上海乃至加拿大、美國、荷蘭等地，與世界知名MEMS研發(fā)、設(shè)計(jì)、封裝公司建立了合作關(guān)系。

在國際納米產(chǎn)業(yè)峰會(huì)上，曾有專家做出評(píng)判，蘇州的納米產(chǎn)業(yè)極巨潛力，甚至超過了北京、上海和深圳等一線創(chuàng)新城市，甚至美國國會(huì)舉行的針對(duì)中國新興技術(shù)發(fā)展的聽證會(huì)上，專門分析了蘇州的納米產(chǎn)業(yè)發(fā)展?fàn)顩r。總體上，園區(qū)MEMS微納制造產(chǎn)業(yè)屬于發(fā)展迅速新興產(chǎn)業(yè)，行業(yè)正處于產(chǎn)業(yè)爆炸性增長(zhǎng)的前期，極具前景。同時(shí)，行業(yè)人才匱乏問題也日漸顯現(xiàn)和需求迫切。

“發(fā)展MEMS產(chǎn)業(yè)，既要看清楚又是，又要找準(zhǔn)自身的不足。成立中試平臺(tái)只是蘇州MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的新起點(diǎn)，要構(gòu)筑MEMS產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈，還需要全國的產(chǎn)業(yè)資源，來突破資源限制、人才限制、技術(shù)限制?！蓖趺翡J認(rèn)為。

創(chuàng)新不是喊口號(hào)，我們又有新動(dòng)作

近日，蘇州納米科技發(fā)展有限公司又牽頭籌建江蘇省微納制造業(yè)創(chuàng)新中心，未來這家創(chuàng)新中心將落地在蘇州納米城內(nèi)，預(yù)計(jì)，中心將引領(lǐng)整個(gè)行業(yè)有深刻影響的產(chǎn)品和共性技術(shù)的創(chuàng)新發(fā)展。

中心針對(duì)未來3～8年將產(chǎn)生重大影響的目標(biāo)產(chǎn)品的共性技術(shù)進(jìn)行研發(fā)，同時(shí)構(gòu)建技術(shù)創(chuàng)新鏈和產(chǎn)業(yè)鏈。一旦共性技術(shù)完成，結(jié)合各個(gè)單位原本擁有的特殊技術(shù)，就可以差異化產(chǎn)品，形成共性技術(shù)共享、共贏的核心產(chǎn)業(yè)生態(tài)體系。

“這是相對(duì)核心的產(chǎn)業(yè)生態(tài)體系，在這個(gè)生態(tài)體系的外面，還有一個(gè)更大的生態(tài)體系——中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)?！边@是MEMS領(lǐng)域國內(nèi)唯一的行業(yè)協(xié)會(huì)，納入了包括MEMS產(chǎn)品應(yīng)用企業(yè)、MEMS芯片、器件封裝、專用處理電路、信號(hào)智能處理和設(shè)備的公司，納米公司既是協(xié)會(huì)的發(fā)起單位，也是秘書長(zhǎng)單位。行業(yè)的快速發(fā)展，造就了協(xié)會(huì)生態(tài)體系的快速發(fā)展，中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)理事長(zhǎng)曾經(jīng)開玩笑稱，中國半導(dǎo)體協(xié)會(huì)MEMS分會(huì)已經(jīng)有300多家會(huì)員單位，比協(xié)會(huì)里其他分會(huì)的所有會(huì)員加起來都還多。

在整個(gè)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新領(lǐng)域，王敏銳談了自己的看法。他認(rèn)為，高科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，存在一定的不確定性，大家都是在探索，這跟傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)梯度轉(zhuǎn)移的過程不同。同時(shí)，高科技產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新一旦突破，產(chǎn)業(yè)將具備的很強(qiáng)的爆發(fā)性和顛覆性，甚至?xí)鹣鄬?duì)應(yīng)的整個(gè)傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的滅亡。王敏銳給我們舉了一個(gè)例子，硅麥克風(fēng)的出現(xiàn)和規(guī)模化生產(chǎn)應(yīng)用，傳統(tǒng)的駐極體麥克風(fēng)企業(yè)80%以上倒閉，全行業(yè)岌岌可危。

在他看來，進(jìn)入“無人區(qū)”的產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新是逐步積累的過程，需要漫長(zhǎng)的沉淀。從歷程來看，需要經(jīng)歷緩慢起步和快速增長(zhǎng)的過程，對(duì)于蘇州來說，如果要在戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新方面有所作為，特別是在市場(chǎng)還不能充分發(fā)揮資源支配作用的戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)，離不開政府的大力支持和引導(dǎo)。一定要認(rèn)準(zhǔn)方向、科學(xué)布局、持續(xù)投入、有所作為，快速構(gòu)建完善的產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新支撐體系，聚集產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新諸要素，形成產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新鏈、產(chǎn)業(yè)鏈和生態(tài)圈，加快實(shí)現(xiàn)戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)的突破性發(fā)展。