一種光纖EFPI超聲波傳感器

申請?zhí)?201620021599.1

【公開號】 CN205373872U

【公開日】 2016.07.06

【分類號】 G01H9/00

【申請日】 2016.01.08

【申請人】 楊志強

【發(fā)明人】 楊志強;王偉;郭晨華

【摘 要】 本實用新型公開了一種光纖EFPI超聲波傳感器，包括傳感器頭單元和傳感器體單元。其中，傳感器體單元包括傳感器護套，傳感器頭單元設(shè)置在該護套內(nèi)部。傳感器頭單元包括毛細管以及一部分設(shè)置在毛細管內(nèi)的光纖和用于固定光纖的套頭支架，在毛細管的一端上還設(shè)置有用于感測超聲波振動的膜片，該膜片的內(nèi)表面、光纖的前端面以及毛細管的內(nèi)表面共同界定形成一個法布里-帕羅腔，光纖前端面構(gòu)成該法布里-帕羅腔的第一個反射面，膜片內(nèi)表面構(gòu)成第二個反射面。該光纖EFPI超聲波傳感器可實現(xiàn)對超聲波信號的高效響應(yīng)和采集，具有很高的靈敏度和測量精度。