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    統(tǒng)計(jì)過程控制在質(zhì)量管理上的應(yīng)用

    2016-09-12 00:24:00李曉潭林雪梅LIXiaotanLINXuemei北京京東方顯示技術(shù)有限公司北京100176
    制造業(yè)自動化 2016年8期
    關(guān)鍵詞:規(guī)格報(bào)警特性

    李曉潭,林雪梅LI Xiao-tan, LIN Xue-mei(北京京東方顯示技術(shù)有限公司,北京 100176)

    制造軟件

    統(tǒng)計(jì)過程控制在質(zhì)量管理上的應(yīng)用

    李曉潭,林雪梅
    LI Xiao-tan, LIN Xue-mei
    (北京京東方顯示技術(shù)有限公司,北京 100176)

    針對當(dāng)前制造企業(yè)在質(zhì)量管理上普遍存在的弊端,以TFT-LCD生產(chǎn)為例,采用統(tǒng)計(jì)過程控制這一成熟的質(zhì)量管理技術(shù),結(jié)合實(shí)際生產(chǎn)過程構(gòu)建出系統(tǒng)構(gòu)架,設(shè)計(jì)并實(shí)現(xiàn)了數(shù)據(jù)采集、統(tǒng)計(jì)量計(jì)算、異常判斷、報(bào)警處理、參數(shù)建模和統(tǒng)計(jì)分析等服務(wù),充分驗(yàn)證了統(tǒng)計(jì)過程控制在實(shí)際生產(chǎn)中的可靠性和實(shí)用性。

    統(tǒng)計(jì)過程控制;控制圖;判異準(zhǔn)則;質(zhì)量特性數(shù)據(jù)

    0 引言

    在工業(yè)4.0的大環(huán)境下,制造企業(yè)正在經(jīng)歷一次深刻的變革,其核心是現(xiàn)代信息技術(shù)與制造業(yè)的深度融合[1]。

    當(dāng)前國內(nèi)制造企業(yè)普遍把統(tǒng)計(jì)過程控制(Statistical Process Control,SPC)作為質(zhì)量管理的重要手段。這是休哈特博士(W.A.Shewhart)1924年在美國貝爾實(shí)驗(yàn)室首次提出的一種質(zhì)量控制技術(shù)。經(jīng)過多年的發(fā)展,現(xiàn)在ISO 9000質(zhì)量管理體系特別注重過程控制和統(tǒng)計(jì)技術(shù)的應(yīng)用,六西格瑪管理也把統(tǒng)計(jì)過程控制作為控制階段的主要工具之一[2,3]。

    在進(jìn)行數(shù)據(jù)收集和統(tǒng)計(jì)分析上,多數(shù)制造企業(yè)采用人工測量和記錄關(guān)鍵質(zhì)量特性數(shù)據(jù),再通過JMP、MINITAB等軟件來衡量產(chǎn)品批次的質(zhì)量情況。這樣做法存在如下弊端:手工記錄作業(yè)強(qiáng)度大、效率低、準(zhǔn)確性無法保證,而且做事后分析,時間嚴(yán)重滯后,一旦出現(xiàn)質(zhì)量問題,會導(dǎo)致產(chǎn)品過多損耗[4,5]。同時,使用現(xiàn)有的軟件無法與實(shí)際生產(chǎn)相集成,僅能作為靜態(tài)的數(shù)據(jù)處理分析工具,不能動態(tài)地對生產(chǎn)過程進(jìn)行干預(yù)或進(jìn)行質(zhì)量問題的層層追溯[6]。

    鑒于此,本文以薄膜晶體管液晶顯示器(thin-film transistor liquid crystal display,TFT-LCD)生產(chǎn)為例,針對其質(zhì)量控制點(diǎn),設(shè)計(jì)并開發(fā)了基于制造執(zhí)行系統(tǒng)(Manufacturing Execution System,MES)的統(tǒng)計(jì)過程控制系統(tǒng)。以此確定生產(chǎn)過程的關(guān)鍵質(zhì)量特性數(shù)據(jù),實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)采集;根據(jù)分布特性選擇對應(yīng)的控制圖對生產(chǎn)過程進(jìn)行監(jiān)控;發(fā)現(xiàn)引起波動的主要因素并采取相應(yīng)的措施[7]。

    1 研究對象

    TFT-LCD生產(chǎn)過程主要包括陣列、彩膜、成盒和模組工藝,為了保證產(chǎn)品的最終質(zhì)量,需要從現(xiàn)場測量數(shù)據(jù)中準(zhǔn)確地找到當(dāng)前已經(jīng)存在的質(zhì)量問題和預(yù)測未來的發(fā)展趨勢。其中陣列工藝流程如圖1所示。

    圖1 陣列工藝流程

    我們結(jié)合實(shí)際生產(chǎn)情況進(jìn)行需求分析后,對統(tǒng)計(jì)過程控制提出了個性化要求,以滿足質(zhì)量管理并提供決策支持。

    首先,對于生產(chǎn)的產(chǎn)品我們不可能也不必要做到全部測量,只需要按照一定規(guī)律抽取若干產(chǎn)品進(jìn)行測量即可。即當(dāng)一批玻璃(Glass)完成某一關(guān)鍵工序后,根據(jù)預(yù)先設(shè)定的抽檢頻率對某幾張玻璃進(jìn)行質(zhì)量測試,由統(tǒng)計(jì)過程控制系統(tǒng)采集過程質(zhì)量特性數(shù)據(jù)。如此通過抽樣產(chǎn)品的數(shù)據(jù)分析來推斷總體產(chǎn)品,風(fēng)險(xiǎn)性是不可避免的,但可以根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)情況調(diào)整抽樣的頻率,提高分析準(zhǔn)確度。

    其次,在進(jìn)行測量時,一臺設(shè)備同時上傳的質(zhì)量特性數(shù)據(jù)幾十個甚至上百個,我們需要選擇其中的關(guān)鍵數(shù)據(jù)作為采集項(xiàng)進(jìn)行處理,以便在緩解數(shù)據(jù)處理壓力的同時也不會造成數(shù)據(jù)存儲的浪費(fèi)。

    最后,需要實(shí)現(xiàn)多用戶、多層次地管理模式,包括設(shè)定產(chǎn)品規(guī)格限和控制限、判異準(zhǔn)則以及報(bào)警處理模式等等,以便提高系統(tǒng)的靈活性,使異常反饋更加多樣化。

    因此,切實(shí)地將統(tǒng)計(jì)過程控制與生產(chǎn)過程相集成,采集大量的抽樣檢測產(chǎn)品的質(zhì)量特性數(shù)據(jù)做統(tǒng)計(jì)分析,計(jì)算過程統(tǒng)計(jì)量并建立控制圖,從而科學(xué)準(zhǔn)確地掌握生產(chǎn)過程中產(chǎn)品質(zhì)量的偶然波動與異常波動,準(zhǔn)確發(fā)現(xiàn)過程異常并預(yù)警,采取措施盡快消除和避免異常波動,使過程處于正常波動狀態(tài),恢復(fù)生產(chǎn)過程的穩(wěn)定,從而持續(xù)優(yōu)化和改進(jìn)產(chǎn)品的質(zhì)量。

    2 所用工具

    2.1原理

    統(tǒng)計(jì)過程控制是指為了貫徹預(yù)防原則,應(yīng)用數(shù)理統(tǒng)計(jì)方法對過程中的各個階段進(jìn)行評估和監(jiān)控,建立并保持過程處于可接受且穩(wěn)定的水平,從而保證和服務(wù)符合規(guī)定要求的一種技術(shù),其主要表現(xiàn)形式是各種控制圖和相應(yīng)的過程能力分析。

    其中控制圖是對過程質(zhì)量特性值進(jìn)行測量、記錄、評估和監(jiān)測,以判斷過程是否處于統(tǒng)計(jì)控制狀態(tài)的一種用統(tǒng)計(jì)方法設(shè)計(jì)的圖形。由中心極限定律可知,任意一個總體中抽取樣本量為n的樣本,當(dāng)n充分大時,樣本的抽樣分布近似服從均值為、方差為的正態(tài)分布。而在范圍內(nèi)的樣本數(shù)占總樣本數(shù)的99.73%??刂茍D的基本原理可以用圖2概括表示。

    圖2 控制圖基本原理

    2.2控制圖

    控制圖的種類很多,常用的控制圖根據(jù)數(shù)據(jù)類型分成兩類:對于連續(xù)變量使用計(jì)量控制圖;對于離線變量使用計(jì)數(shù)控制圖,文本涉及的統(tǒng)計(jì)過程控制系統(tǒng)主要研究計(jì)量控制圖,包含均值-極差圖(Xbar-R Chart)、均值-標(biāo)準(zhǔn)差圖(Xbar-S Chart)和單值-移動極差圖(I-MR Chart)。

    其選擇原理如圖3所示。

    圖3 控制圖選擇原理

    3 應(yīng)用

    3.1系統(tǒng)構(gòu)架

    結(jié)合TFT-LCD生產(chǎn)的實(shí)際情況,系統(tǒng)架構(gòu)定義為四個層次:設(shè)備層、數(shù)據(jù)采集層、數(shù)據(jù)服務(wù)層和應(yīng)用層,如圖4所示。

    圖4 系統(tǒng)構(gòu)架

    設(shè)備層:設(shè)備層主要包括各類測量設(shè)備,每個設(shè)備具備標(biāo)準(zhǔn)化和網(wǎng)絡(luò)接口,可進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸。例如陣列工藝中,每次MASK后會進(jìn)行關(guān)鍵質(zhì)量特性數(shù)據(jù)的測量,舉例:CD(Critical Dimension),對各層相應(yīng)位置進(jìn)行關(guān)鍵尺寸的測量,要求各層CD數(shù)據(jù)要求在產(chǎn)品設(shè)計(jì)的規(guī)格范圍內(nèi);TP(Total Pitch),是分布在玻璃(Glass)上每張屏(Panel)周邊的測量標(biāo)記,通過與設(shè)計(jì)值比較,可以直觀看出玻璃形變的趨勢,TP如果不好,會直接影響對盒精度,發(fā)生漏光不良。

    數(shù)據(jù)采集層:設(shè)備層的設(shè)備通過HSMS通信協(xié)議將設(shè)備測量的數(shù)據(jù)以消息模式傳遞給EIS Server (Equipment Interface System Server,設(shè)備接口系統(tǒng)服務(wù)器)進(jìn)行消息重組,通過TIB/RV Middle Ware傳遞給MES Server接收標(biāo)準(zhǔn)化格式的測量數(shù)據(jù),其中統(tǒng)計(jì)過程控制模塊會根據(jù)用戶設(shè)定的處理機(jī)制篩選出相關(guān)數(shù)據(jù)并上傳給數(shù)據(jù)庫進(jìn)行分析、處理和存儲。

    數(shù)據(jù)服務(wù)層:生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的質(zhì)量特性數(shù)據(jù)首先存在On-Line DB中,該數(shù)據(jù)庫與實(shí)際生產(chǎn)相連,過多的查詢、分析勢必影響數(shù)據(jù)庫性能,這必然給生產(chǎn)帶來滯后影響。為了更好地進(jìn)行分析處理,另建Off-Line DB存儲離線數(shù)據(jù),方法是在Oracle數(shù)據(jù)庫中自定義存儲過程(Procedure),由Job(計(jì)劃任務(wù))定時提取相關(guān)數(shù)據(jù)存儲。

    應(yīng)用層:應(yīng)用層相當(dāng)于系統(tǒng)的用戶,用戶可訪問On-Line DB進(jìn)行統(tǒng)計(jì)過程控制建模,選擇關(guān)鍵質(zhì)量特性數(shù)據(jù),設(shè)定規(guī)格限、控制限,制定判異規(guī)則和報(bào)警處理模式等;也可訪問Off-Line DB進(jìn)行數(shù)據(jù)分析,計(jì)算統(tǒng)計(jì)量(如最大值、最小值、平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、長、短期過程能力指數(shù)等),繪制控制圖(Xbar-S Chart、Xbar-R Chart、I-MR Chart等)并且選取相應(yīng)的判異準(zhǔn)則確認(rèn)生產(chǎn)情況等。

    3.2功能實(shí)現(xiàn)

    在數(shù)據(jù)采集層中的MES server中統(tǒng)計(jì)過程控制模塊用來實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)采集(Data Collect)、統(tǒng)計(jì)量計(jì)算(SPC Data Generate)、異常判斷(Rule Out Check)、報(bào)警處理(Alarm Issue)、參數(shù)建模(DC Spec/SPC Rule/SPC Spec Modelling)以及統(tǒng)計(jì)分析(Data/Chart Query)等功能,其中統(tǒng)計(jì)量計(jì)算、異常判斷和報(bào)警處理是研究重點(diǎn)。

    3.2.1統(tǒng)計(jì)量計(jì)算

    判斷是否為預(yù)先設(shè)定的關(guān)鍵工序下的質(zhì)量特性數(shù)據(jù),是則計(jì)算Xbar-S Chart、Xbar-R Chart、I-MR Chart等的相關(guān)統(tǒng)計(jì)量,存儲在SPC Data數(shù)據(jù)集合中,否則不處理。

    圖5 統(tǒng)計(jì)過程控制模塊

    3.2.2異常判斷

    為了判斷過程是否處在受控狀態(tài),對于各測量工序上的質(zhì)量特性數(shù)據(jù),均可以添加一個或者多個判異準(zhǔn)則,各個準(zhǔn)則都進(jìn)行單獨(dú)運(yùn)行判斷,并可直觀體現(xiàn)在控制圖上,使監(jiān)控更加靈敏,加大管控力度。

    如果同時觸發(fā)了多個判異準(zhǔn)則,統(tǒng)計(jì)過程控制模塊會記錄全部的報(bào)警,并按最高優(yōu)先級別進(jìn)行報(bào)警處理。判異準(zhǔn)則定義如表2所示。

    表1 控制圖計(jì)算公式

    實(shí)際監(jiān)控中,對于測量的過程質(zhì)量特性數(shù)據(jù)我們采用兩種區(qū)間限制:規(guī)格限(Spec Limit)和控制限(Control Limit),規(guī)格限用來判斷產(chǎn)品是否滿足客戶要求,也就是判斷產(chǎn)品是否合格;控制限,是用于判斷過程是否穩(wěn)定的。前者對象是產(chǎn)品,后者是過程。通常情況下控制限是在規(guī)格限以內(nèi)的,表示過程能力初步可以接受,控制限可以作為生產(chǎn)穩(wěn)定預(yù)警線,如果控制限超出規(guī)格限表示過程能力嚴(yán)重不足,肯定會有部分過程輸出超出控制限,也就是出現(xiàn)了不合格產(chǎn)品。

    表2 判異準(zhǔn)則

    在控制圖的實(shí)際使用中,我們在規(guī)格限和控制限上提供了多元化選擇,其中規(guī)格限包含三種模式:

    1)On-Line SPC實(shí)時監(jiān)控報(bào)警狀態(tài)下按產(chǎn)品規(guī)格設(shè)定的Spec Limit,不定期更新,存儲在數(shù)據(jù)庫中。

    2)Off-Line SPC離線數(shù)據(jù)分析狀態(tài)下根據(jù)實(shí)際需要定義的區(qū)別于產(chǎn)品規(guī)格的Spec Limit,不定期更新,存儲在數(shù)據(jù)庫中。

    3) Off-Line SPC離線數(shù)據(jù)分析狀態(tài)下手動輸入用于當(dāng)次計(jì)算分析的Spec Limit,不存儲在數(shù)據(jù)庫中。

    控制限包含五種模式:

    1)On-Line SPC實(shí)時監(jiān)控報(bào)警狀態(tài)下人工維護(hù)的Control Limit,不定期更新,存儲在數(shù)據(jù)庫中。

    2)On-Line SPC實(shí)時監(jiān)控報(bào)警狀態(tài)下根據(jù)歷史數(shù)據(jù)計(jì)算的Control Limit,定時執(zhí)行,存儲在數(shù)據(jù)庫中。

    3)Off-Line SPC離線數(shù)據(jù)分析狀態(tài)下人工維護(hù)的區(qū)別于On-Line SPC模式下Control Limit,不定期更新,存儲在數(shù)據(jù)庫中。

    4)Off-Line SPC離線數(shù)據(jù)分析狀態(tài)下手動輸入用于當(dāng)次計(jì)算分析的Control Limit,不存儲在數(shù)據(jù)庫中。

    5)Off-Line SPC離線數(shù)據(jù)分析狀態(tài)下根據(jù)所選數(shù)據(jù)集合計(jì)算的用于當(dāng)次分析的Control Limit,不存儲在數(shù)據(jù)庫中。

    規(guī)格限和控制限各選一個進(jìn)行配對,規(guī)格限1)分別和控制限1)、2)構(gòu)成兩對,規(guī)格限2)、3)分別和控制限3)、4)、5)構(gòu)成六對,共計(jì)八種計(jì)算邏輯以滿足不同用戶的實(shí)際需要。

    現(xiàn)在我們選擇陣列工藝下的RS(Resistance,阻抗)作為質(zhì)量特性數(shù)據(jù),以Xbar-R Chart為例,選擇規(guī)格限1)和控制限1)作為判斷標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行監(jiān)控,模擬四種異常情況的發(fā)生。

    圖6 OOS異常

    圖7 OOC異常

    圖8 OOT異常

    說明:在展示的控制圖中,分上、下兩個圖,上方是控制位置特征值,下方是控制散步特征值,均使用折線圖。在位置控制特征值圖上還有六條線:紅色三條線為規(guī)格限(USL:Upper Spec Limit,規(guī)格上限;Target,目標(biāo)值;LSL:Lower Spec Limit,規(guī)格下限),藍(lán)色為控制限(UCL:Upper Control Limit,控制上限;CL:Center Line,中心線;LCL:Lower Control Limit,控制下限),并顯示對應(yīng)數(shù)值。正常點(diǎn)顯示顏色是黑色,異常點(diǎn)用紅色突出顯示(圖中使用綠色方框示意)。舉例如下:

    圖9 OOR異常

    1)1點(diǎn)落在限制區(qū)域之外,選擇規(guī)格限(Spec Limit)—OOS;

    2)1點(diǎn)落在限制區(qū)域之外,選擇控制限(Control Limit)—OOC;

    3)連續(xù)6點(diǎn)上升或下降—OOT;

    4)連續(xù)9點(diǎn)落在中心線一側(cè)—OOR。

    3.2.3報(bào)警處理

    導(dǎo)致質(zhì)量產(chǎn)生變異的因素很多,根據(jù)因素對產(chǎn)品質(zhì)量影響的大小和性質(zhì),通常分為特殊因素和隨機(jī)因素。特殊因素很多,如工藝過程的變動、設(shè)備的過度磨損、或者人員的變動更換等。這些因素對產(chǎn)品質(zhì)量的影響是顯著的,在技術(shù)上很容易識別并且消除。隨機(jī)因素也很多,例如溫濕度的輕微變化、機(jī)器的微小振動、原材料的席位差異等。這些因素對產(chǎn)品質(zhì)量的影響是細(xì)小的,在技術(shù)上不易識別,更不可能避免和消除,但是如果從根本上改變生產(chǎn)過程,則這類波動會大幅減少[8]。

    在質(zhì)量監(jiān)控中,一旦發(fā)現(xiàn)某個質(zhì)量特性數(shù)據(jù)違反已設(shè)定的判異準(zhǔn)則,則觸發(fā)報(bào)警功能,目前啟動多重預(yù)警確保事故責(zé)任人及時接到反饋并應(yīng)對:

    1)內(nèi)部Office Automation系統(tǒng)對相關(guān)責(zé)任人發(fā)送郵件;

    2)線上Operator Interface Client系統(tǒng)在相關(guān)科室使用人員界面上主動彈出報(bào)警提示信息;

    3)鎖定生產(chǎn)線上已經(jīng)生產(chǎn)的問題品,便于品質(zhì)部門介入調(diào)查;

    4)鎖定相關(guān)聯(lián)的前工藝設(shè)備或這整條生產(chǎn)線,防止危險(xiǎn)品再次產(chǎn)出,造成資源浪費(fèi)。

    發(fā)生報(bào)警后,對應(yīng)擔(dān)當(dāng)確認(rèn)異常波動的原因,評估問題嚴(yán)重性以及確定后續(xù)處理方案,并酌情對已鎖定的問題品進(jìn)行處理(報(bào)廢或者再加工等),對工藝設(shè)備或生產(chǎn)線可進(jìn)行恢復(fù)生產(chǎn)。目前僅有特殊權(quán)限的負(fù)責(zé)人員可以執(zhí)行解除報(bào)警和恢復(fù)生產(chǎn)的操作,在解除報(bào)警時系統(tǒng)也有規(guī)范要求,須填寫:異常產(chǎn)生的原因→原因的類型→糾正措施等,這樣有助于進(jìn)一步改善生產(chǎn),提高產(chǎn)品質(zhì)量。對于發(fā)生異常的原因類型就是上文提到的特殊因素和隨機(jī)因素,定義如表3所示。

    表3 異常原因類型

    4 結(jié)論

    本文以TFT-LCD制造企業(yè)為例,采用統(tǒng)計(jì)過程控制技術(shù),結(jié)合實(shí)際生產(chǎn)過程,構(gòu)建出設(shè)備層、數(shù)據(jù)處理層、數(shù)據(jù)服務(wù)層和應(yīng)用層的四層系統(tǒng)構(gòu)架,設(shè)計(jì)并實(shí)現(xiàn)了統(tǒng)計(jì)過程控制模塊中數(shù)據(jù)采集、統(tǒng)計(jì)量計(jì)算、異常判斷、報(bào)警處理、參數(shù)建模和統(tǒng)計(jì)分析等服務(wù)。從根本上將“事后檢驗(yàn)、發(fā)現(xiàn)問題、解決問題”的產(chǎn)品質(zhì)量管理方式轉(zhuǎn)變?yōu)椤笆虑邦A(yù)防、杜絕問題、缺陷趨零”,充分驗(yàn)證統(tǒng)計(jì)過程控制在實(shí)際生產(chǎn)中的可靠性和實(shí)用性。

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    Application of statistical process control in quality management

    TP249

    A

    1009-0134(2016)08-0005-07

    2016-05-30

    李曉潭(1984 -),女,北京人,高級工程師,工學(xué)碩士,研究方向?yàn)镸ES與SPC。

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