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    上海微電子:“智”造中國芯

    2016-08-19 08:51:27
    中國品牌 2016年4期
    關(guān)鍵詞:光刻機集成電路高端

    宋 杰

    ?

    上海微電子:“智”造中國芯

    宋 杰

    在光刻機領(lǐng)域,上海微電子裝備有限公司不僅在先進封裝光刻機產(chǎn)品方面形成了系列化和量產(chǎn)化,而且還實現(xiàn)了光刻機海外市場的銷售突破

    隨著信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,集成電路(也就是常說的“芯片”)成為手機、平板電腦等電子移動終端離不開的設(shè)備,而光刻機是半導體芯片制造業(yè)中的最核心設(shè)備。以光刻機為代表的高端半導體裝備支撐著集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展,芯片越做越小,集成的電路越來越多,能使終端變得小巧玲瓏。

    在光刻機領(lǐng)域,上海微電子裝備有限公司(簡稱“SMEE”)取得了重要突破,并在先進封裝光刻機產(chǎn)品方面形成了系列化和量產(chǎn)化,在國際同類產(chǎn)品中處于先進水平,還實現(xiàn)了光刻機海外市場的銷售突破。SMEE也被列入國家發(fā)改委2016 年1月底公布的國家認定企業(yè)技術(shù)中心名單。

    在微觀世界里“造房子”

    近日,在浦東張江園區(qū)SMEE展覽館里,SMEE人事總監(jiān)賀躍進介紹了組成光刻機的核心部件。他將制造光刻機比作是在微觀世界里“造房子”——成像系統(tǒng)由幾十個直徑為200~300毫米的透鏡組成,定位精度都是納米級。微米級的瞬時傳輸控制技術(shù),猶如兩架空客以1000/小時公里同步高速運動,在瞬間對接穿針引線;玻璃鏡面加工等精度,誤差不會超過0.5毫米。

    SMEE總經(jīng)理賀榮明表示,光刻機是集成電路裝備中技術(shù)難度最高、價值量最大的部分,由于技術(shù)的超高難度導致在全世界形成了超高的技術(shù)門檻。

    據(jù)了解,當今世界能夠擁有這種技術(shù)、生產(chǎn)這種產(chǎn)品的只有兩三個國家的兩三家公司。賀榮明表示,集成電路行業(yè)發(fā)展的很多技術(shù)路線、工藝路線是非常依賴于光科技的發(fā)展路線,所以從這個角度,它就成為信息產(chǎn)業(yè)集成電路行業(yè)發(fā)展的重要基石;從另一個角度來講,我國正在進行大的結(jié)構(gòu)調(diào)整,對集成電路產(chǎn)業(yè)提出了非常高的期待與要求,不僅涉及到整個國家的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)調(diào)整發(fā)展,從某種程度它也涉及到整個信息產(chǎn)業(yè)的安全,所以如何在集成電路行業(yè)擁有自己的核心裝備,對國家國民經(jīng)濟的發(fā)展就至為重要。

    光刻機是集成度非常高,涉及的門類、領(lǐng)域、科技種類非常廣泛的集成性的設(shè)備,由于這種設(shè)備的發(fā)展會牽引帶動很多關(guān)鍵單元技術(shù)、子技術(shù)、子學科的發(fā)展,“牽一發(fā)而動全身”,它可以牽引推動整個高科技基礎(chǔ)領(lǐng)域的發(fā)展。

    據(jù)了解,以光刻機為代表的產(chǎn)品主要應(yīng)用于四大領(lǐng)域,芯片制造、芯片先進封裝、LED制造、下一代顯示屏制造。另外還有類光科技產(chǎn)品,包括激光封裝、激光退火等設(shè)備,去年開始在試驗,今年逐步開始小批生產(chǎn),未來為移動穿戴、智能時代提供產(chǎn)品。

    賀榮明表示,光刻機的自主研發(fā)可以概括為一個“難”字,“因為難,有時候就逼著你沒有后路背水一戰(zhàn)去創(chuàng)新?!比魏我粋€行業(yè)的發(fā)展,特別是高端裝備的發(fā)展,其實最重要的還是人才,光刻機人才與其他行業(yè)相比,涉及面更廣,有幾十個專業(yè),所有的技術(shù)在這個產(chǎn)品上匯聚、交雜,形成異常復雜的設(shè)備,對人才的廣泛性、多樣性提出更高要求。

    從跟蹤國際專利到不斷掌握擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的高端光刻設(shè)備的總體設(shè)計技術(shù)、集成技術(shù)和關(guān)鍵單元技術(shù),SMEE形成了系列完整的產(chǎn)品,實現(xiàn)了“用中國人的光刻機造中國芯”的夢想

    創(chuàng)新路上要“沿途下蛋”

    賀榮明坦言,高端光刻機開發(fā)的周期非常長,難度也非常高,如果在整個過程中只是走研發(fā)的道路,而不是及時考慮產(chǎn)業(yè)化,那么對整個項目的開發(fā)、人才團隊的鼓勵都會帶來管理上的困難 。SMEE的決策者們在決定以高端光刻機開發(fā)為主線的同時,每天都在考慮當離高端產(chǎn)品的開發(fā)還有一定高峰要攀登的時候,在“半山腰”、在“山腳”下,能不能把已經(jīng)掌握、部分掌握的技術(shù)變成產(chǎn)品,去服務(wù)于行業(yè)。基于這個思路,SMEE就形成了很多“沿途下蛋”的產(chǎn)品。

    比如說,同樣是光刻機,它在前道的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用難度非常高,但是后道的先進封裝對光刻機的應(yīng)用越來越廣泛,可以先行進入,所以SMEE就抓住了這個契機,開發(fā)了一款適用于先進封裝行業(yè)的光刻機。此前,這種光刻機完全依賴于進口,而今SMEE 已經(jīng)占領(lǐng)了80%以上的國內(nèi)市場?,F(xiàn)在市場上高端智能手機上都有SMEE 自主研發(fā)的先進封裝光刻機的功勞。這樣一來,產(chǎn)品的研發(fā)形成了一種階梯、波浪,“前面在不斷瞄準高科技的發(fā)展,同時它不斷把掌握的技術(shù)輻射為具有應(yīng)用前景又能為國民經(jīng)濟、產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域提供很好技術(shù)支撐的產(chǎn)品,這樣兩個目標形成一種互動、良性循環(huán)。既通過高科技的研發(fā)來錘煉人才,又通過產(chǎn)品的市場化來打造工程性人才,這種人才的分合匯聚組合讓公司向兩維領(lǐng)域發(fā)展(一維是技術(shù)高度,一維是產(chǎn)業(yè)寬度),不讓公司變?yōu)榧兇獾难邪l(fā)機構(gòu),同時也不讓公司太功利化。這兩者融合能為公司將來高端光刻機的發(fā)展提供良好的發(fā)展模式?!辟R榮明表示。

    賀榮明直言,企業(yè)運營的最大壓力在于技術(shù)突破和人才團隊的聚焦與持續(xù)發(fā)展。由于我國技術(shù)基礎(chǔ)比較薄弱,不但要攻克技術(shù)上的難點,還要解決攻克過程中的管理問題。在供應(yīng)鏈的打造和高科技行業(yè)上受到國外的限制等,使得我國整個技術(shù)門類還不健全,整個資源鏈還不完善,現(xiàn)在一方面以自主創(chuàng)新為主,一方面用更寬泛的國際視野面向全球整合資源?!拔覈咚侔l(fā)展,吸引了全球高科技人才、組織對我們充滿期待,這樣迎來了利用國際資源解決自身瓶頸,使得SMEE在堅持自主創(chuàng)新的同時全球化、國際化?!?/p>

    從跟蹤國際專利到不斷掌握擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的高端光刻設(shè)備的總體設(shè)計技術(shù)、集成技術(shù)和關(guān)鍵單元技術(shù),SMEE形成了系列完整的產(chǎn)品,實現(xiàn)了“用中國人的光刻機造中國芯”的夢想。截至2015年底,SMEE獲得的專利總數(shù)1800項左右,85%是發(fā)明專利,800項已獲授權(quán),其中國際發(fā)明專利140多項,獲授權(quán)的國際發(fā)明專利42項。這些專利滲透在各個產(chǎn)品之中,為高科技產(chǎn)品走向世界提供自主知識產(chǎn)權(quán)的法律保障。

    SMEE在布局知識產(chǎn)權(quán)規(guī)劃時,很早就成立了知識產(chǎn)權(quán)與技術(shù)管理部,有20多位知識產(chǎn)權(quán)工程師、法律專家,定期分析收集全球?qū)I(yè)技術(shù)領(lǐng)域的各種專利,包括新產(chǎn)生專利、即將失效的專利等,每個季度,知識產(chǎn)權(quán)與技術(shù)管理部提交知識產(chǎn)權(quán)戰(zhàn)略工作報告,以供SMEE進行戰(zhàn)略決策。

    值得一提的是,每年SMEE以任務(wù)形式下達“專利指標”,并且與績效考核掛鉤,使產(chǎn)品進入市場不侵權(quán)不被起訴,“比如先進封裝光刻機技術(shù)有400項專利在保護著它,使它很好地進入市場,用戶可以放心使用,我們也不會受到競爭對手的干擾?!备呖萍计髽I(yè)發(fā)展,知識產(chǎn)權(quán)的戰(zhàn)略規(guī)劃與產(chǎn)品發(fā)展必須要同步。目前,SMEE已成為國家級知識產(chǎn)權(quán)示范企業(yè)。

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