基于NDIR的塑料薄膜厚度在線檢測(cè)系統(tǒng)

摘 要： 為了快速、精確的在線測(cè)量塑料薄膜厚度，提出了一種基于NDIR的塑料薄膜厚度在線檢測(cè)技術(shù)，此技術(shù)改進(jìn)了現(xiàn)代近紅外測(cè)厚方法中常采用的雙單色紅外光對(duì)比法，使用單光源簡(jiǎn)化了雙光源調(diào)制的難度，優(yōu)化了由于雙光源照射薄膜不同位置帶來(lái)的準(zhǔn)確性問(wèn)題。應(yīng)用上述技術(shù)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了此檢測(cè)系統(tǒng)，此系統(tǒng)應(yīng)用NDIR相關(guān)技術(shù)，將現(xiàn)代數(shù)字信號(hào)處理方法用于數(shù)據(jù)處理過(guò)程中。通過(guò)實(shí)驗(yàn)方式得到測(cè)量結(jié)果，并對(duì)測(cè)量結(jié)果進(jìn)行了數(shù)據(jù)分析和誤差統(tǒng)計(jì)，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，此系統(tǒng)具有精度高，穩(wěn)定性可靠等優(yōu)點(diǎn)，值得推廣。

關(guān)鍵詞： 塑料薄膜； 厚度檢測(cè)技術(shù)； 紅外測(cè)厚方法； NDIR； 在線測(cè)量

中圖分類號(hào)： TN247?34； TP23 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼： A 文章編號(hào)： 1004?373X（2016）11?0108?05

Abstract： In order to rapidly and accurately measure the plastic thin?film thickness on line， a NDIR?based on?line detec?ting technology of infrared thin?film thickness is proposed. This technology improved the double and monochromatic infrared light contrastive method common used in modern infrared thickness detecting method， simplified the modulation difficulty of double light sources by means of single light source， and optimized the accuracy problem coming from different film positions radia?ted by the double light sources. The detecting system was designed and realized with the above technology. The NDIR correlation technology is used in this system to apply the advanced digital signal processing method to data processing. The detecting results were obtained by the experiment， and then conducted with data analysis and error statistics. The experimental results show this system has the advantages of high accuracy and high stability， and is worthy to generalize.

Keywords： plastic thin?film； thickness detecting technology； infrared thickness measuring method； NDIR； on?line measurement

0 引 言

在中國(guó)塑料薄膜的產(chǎn)量約占塑料制品總產(chǎn)量的20%，是塑料制品中產(chǎn)量增長(zhǎng)較快的類別之一[1]。而厚度是其最基本的參數(shù)之一[2]，薄膜厚度是否均勻、是否與預(yù)設(shè)值一致、厚度偏差是否在指定的范圍內(nèi)，都成為薄膜是否具有某些特性指標(biāo)的前提。所以，薄膜厚度測(cè)量是薄膜制造業(yè)的基礎(chǔ)檢測(cè)項(xiàng)目之一，具有十分重要的現(xiàn)實(shí)意義。

現(xiàn)有的在線薄膜測(cè)厚方法主要是射線法和紅外線法。

射線法主要是借助X射線[3]或β射線對(duì)薄膜測(cè)厚。

X射線類對(duì)測(cè)量對(duì)象有選擇性，測(cè)量單一元素材料時(shí)精度高，不能用于測(cè)量塑料薄膜等聚合物，而且測(cè)量受環(huán)境濕度、溫度、材料波動(dòng)的影響大，光源壽命短，信號(hào)源更換費(fèi)用高。

β射線法測(cè)量范圍廣，是目前世界上應(yīng)用最普遍、應(yīng)用量最大的一種在線測(cè)量技術(shù)[4]，但信號(hào)源價(jià)格昂貴，且壽命一般為5年。

但是考慮到安全因素，射線具有放射性，放射源的使用需要使用申請(qǐng)證，使用時(shí)需要為設(shè)備加設(shè)保護(hù)裝置以避免輻射，這會(huì)使得設(shè)備非常笨重。

針對(duì)以上問(wèn)題提出了基于光學(xué)原理的測(cè)量方法，如偏振法、干涉法、反射法[5]及透射法等。經(jīng)過(guò)比較并結(jié)合幾種方法的優(yōu)缺點(diǎn)，采用透射式紅外技術(shù)可對(duì)單層薄膜、復(fù)合薄膜進(jìn)行測(cè)量，并且在線測(cè)量時(shí)，數(shù)據(jù)處理簡(jiǎn)單，實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)穩(wěn)定、精確。同時(shí)，采用紅外光既安全，光源價(jià)格也不高。

1 NDIR紅外光測(cè)厚原理

紅外線測(cè)厚是20世紀(jì)80年代初期出現(xiàn)的一種在線檢測(cè)方法，適用于透光、半透光的薄膜。紅外光譜的理論研究表明，光在紅外范圍內(nèi)的發(fā)射和吸收，通常對(duì)應(yīng)于多原子物質(zhì)的振動(dòng)狀態(tài)之間和轉(zhuǎn)動(dòng)狀態(tài)之間能量的躍遷，當(dāng)入射電磁輻射的頻率對(duì)應(yīng)于受輻照分子的振動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)的速率變化時(shí)便產(chǎn)生吸收。

光能的吸收符合朗伯?比爾（Lambert?Beer）吸收定律[6]。

式中：為比例常數(shù)，是由除吸收之外的其他因素，如反射、彎曲、散射、顏色變化、晶格及其排列等引起的輻射損耗；為材料吸收系數(shù)， 隨波長(zhǎng)和材料而變。對(duì)于同一種薄膜和不變[7]。

透射光的強(qiáng)度按吸收體的厚度或濃度成指數(shù)形式衰減。

含OH，NH，CH基的化合物在近紅外和中紅外、乃至遠(yuǎn)紅外區(qū)域發(fā)生對(duì)光的吸收。可以根據(jù)對(duì)入射紅外線吸收的程度來(lái)測(cè)定吸收體的厚度或濃度。

紅外線塑料薄膜測(cè)厚系統(tǒng)就是根據(jù)上述原理進(jìn)行開(kāi)發(fā)的。大多數(shù)塑料中都有CH鍵，CH鍵的特征吸收波長(zhǎng)為3.39 μm。因此，在這個(gè)波長(zhǎng)上，塑料薄膜對(duì)紅外線的吸收很強(qiáng)，透射光的強(qiáng)度對(duì)薄膜的厚度敏感，可以達(dá)到較高的靈敏度與精度。為補(bǔ)償環(huán)境光線的影響，以及補(bǔ)償光源的衰減，需要一個(gè)參考波長(zhǎng)做對(duì)比。一般選用4.10 μm，塑料對(duì)這個(gè)波長(zhǎng)的紅外線吸收弱。

現(xiàn)代近紅外測(cè)厚方法常采用雙單色紅外光對(duì)比法：將通過(guò)濾光片或光源在調(diào)制電路控制下獲得的測(cè)量波長(zhǎng)單色光脈沖和測(cè)量參比波長(zhǎng)單色光脈沖交替地照射塑料薄膜。光束透過(guò)薄膜后，根據(jù)兩種單色光脈沖強(qiáng)度獲得塑料薄膜的厚度值。

上述方法需要對(duì)兩種不同波長(zhǎng)的光源進(jìn)行調(diào)制，以前的機(jī)械調(diào)制方法和現(xiàn)在的電調(diào)制方法都增加了設(shè)備制作的困難性，與此同時(shí)，由于調(diào)制后的光仍為獨(dú)立的兩束光，其照射在被測(cè)薄膜的不同區(qū)域時(shí)，不同區(qū)域?qū)?yīng)的厚度可能不同，這也為測(cè)量帶來(lái)了不準(zhǔn)確性。

NDIR傳感器則沒(méi)有這種缺點(diǎn)，NDIR傳感器具有兩個(gè)不同的濾光窗口，分為測(cè)量窗口和參考窗口，可以通過(guò)不同波長(zhǎng)的紅外光。此方法使用一個(gè)近紅外光源，光源透過(guò)兩個(gè)濾光窗口分成測(cè)量和參考兩束光分別照射在傳感器上。相比分光法更加簡(jiǎn)潔，硬件制作更加簡(jiǎn)單，同時(shí)效果可以得到保障。

2 實(shí)現(xiàn)方案

系統(tǒng)主要由紅外光源，傳感器，工控機(jī)，控制電路，數(shù)據(jù)采集卡五部分組成，系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示，測(cè)量流程如下：將設(shè)備機(jī)架安裝在塑料薄膜生產(chǎn)線中，待生產(chǎn)開(kāi)始，薄膜從機(jī)架之間的空隙通過(guò)，機(jī)架上方為紅外光源，正對(duì)光源下方為傳感器，當(dāng)薄膜通過(guò)機(jī)架時(shí)，被調(diào)制的紅外光透過(guò)薄膜照射到傳感器上，傳感器接收到相應(yīng)的信號(hào)，經(jīng)過(guò)硬件濾波后輸入到采集卡中，由采集卡采樣送入工控機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)分析處理并顯示最終結(jié)果。

2.1 傳感器

NDIR傳感器被廣泛用于氣體成分測(cè)量，如CH4，CO2，汽車尾氣[8]等，技術(shù)比較成熟，系統(tǒng)選用中心波長(zhǎng)為3.39 μm的測(cè)量濾光片和中心波長(zhǎng)為4.10 μm的參考濾光片的NDIR傳感器（傳感器選用甲烷氣體傳感器[9]）。

2.2 紅外光源選擇

光源需要使用寬譜近紅外光源，使波長(zhǎng)范圍覆蓋1～20 μm，選用鹵素?zé)?，鹵素?zé)艄庠垂庾V可以覆蓋整個(gè)近紅外譜。

2.3 采集設(shè)備選擇

采集設(shè)備主要包含模擬信號(hào)采集，模數(shù)轉(zhuǎn)換功能，系統(tǒng)選用USB5935數(shù)據(jù)采集卡。

2.4 方波調(diào)制電路

方波調(diào)制電路主要實(shí)現(xiàn)紅外光源的調(diào)制功能，本系統(tǒng)中，光源調(diào)制頻率為1 Hz，1 Hz信號(hào)由晶振32 768經(jīng)過(guò)28分頻得：32 768震蕩產(chǎn)生的信號(hào)首先經(jīng)過(guò)CD4060進(jìn)行14分頻，再經(jīng)過(guò)74LS390進(jìn)行二分頻，得到1 Hz方波。1 Hz方波作為控制信號(hào)控制繼電器的通斷來(lái)控制光源的供斷電，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)鹵素?zé)綦娫吹恼{(diào)制。1 Hz方波產(chǎn)生電路圖如圖2所示。

3 信號(hào)處理

系統(tǒng)采用現(xiàn)代數(shù)字信號(hào)處理方法處理采集信號(hào)，濾除信號(hào)干擾，提高處理精度。

圖3（a）為傳感器測(cè)量曲線，圖中方波為控制信號(hào)，頻率為1 Hz，正弦波為傳感器響應(yīng)信號(hào)，實(shí)線表示參考窗口采樣信號(hào)，虛線表示測(cè)量窗口采樣信號(hào)。

數(shù)據(jù)采集時(shí)，硬件采集電路中，除使用鉭電容對(duì)原始數(shù)據(jù)進(jìn)行低通濾波處理之外，并無(wú)其他措施，但是系統(tǒng)在實(shí)際工作中，會(huì)受到環(huán)境中低頻和高頻信號(hào)的影響，這些影響會(huì)大大降低信號(hào)處理的精度，所以系統(tǒng)需要采取針對(duì)性的處理辦法來(lái)處理這些干擾。

高頻部分：控制紅外光源通斷的繼電器在不斷吸合和斷開(kāi)的過(guò)程中，會(huì)產(chǎn)生尖峰干擾，正如圖3中正弦波的第五個(gè)波峰中尖峰數(shù)據(jù)所示，這種干擾對(duì)采樣數(shù)據(jù)的峰峰值判斷產(chǎn)生很大影響；實(shí)際生產(chǎn)環(huán)境中，工況復(fù)雜，大型電機(jī)等設(shè)備會(huì)產(chǎn)生高頻震動(dòng)等因素會(huì)使采樣數(shù)據(jù)中存在高頻干擾成分，使波形失真。

對(duì)于高頻干擾，采取對(duì)原始采樣數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)字低通濾波處理的方法。

低頻干擾：環(huán)境中太陽(yáng)光和燈光的緩慢變化會(huì)對(duì)光源產(chǎn)生疊加和減弱的影響，而這些影響為低頻率的，低通濾波并不能排除這些干擾，為了濾除這部分干擾，后續(xù)處理中采用卡爾曼濾波方法。

3.1 數(shù)字低通濾波

濾波器選用具有等波紋特性的FIR低通濾波器。

3.1.1 濾波器參數(shù)

采樣頻率為1 100 Hz；通帶截止頻率為5 Hz；阻帶截止頻率為25 Hz；濾波器階數(shù)Order為139；通帶最大衰減為1 dB；阻帶最小衰減為80 dB。

3.1.2 濾波結(jié)果

濾波后的圖形如圖3（b）所示。圖中實(shí)線表示參考窗口采樣數(shù)據(jù)，虛線表示測(cè)量窗口采樣數(shù)據(jù)?？梢钥吹?，與原始數(shù)據(jù)相比，濾波后曲線有效地濾除了數(shù)據(jù)中的高頻分量，去除了曲線中的尖峰數(shù)據(jù)。

低通濾波后，取曲線的峰峰值作為后續(xù)處理的指標(biāo)。測(cè)量過(guò)程中，測(cè)量窗口反應(yīng)測(cè)量薄膜厚度的變化，參考窗口反應(yīng)環(huán)境的影響，用測(cè)量窗口的數(shù)據(jù)減去參考窗口的數(shù)據(jù)可以有效的減少環(huán)境影響。故將測(cè)量窗口和參考窗口測(cè)量數(shù)據(jù)求差。得到后續(xù)處理需要的電壓數(shù)據(jù)。對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行一維卡爾曼濾波處理。

3.2 一維卡爾曼濾波

卡爾曼濾波算法是最優(yōu)化自回歸數(shù)據(jù)處理算法[10]。常用于工業(yè)控制中的濾波過(guò)程。

3.2.1 原理分析

圖4所示為卡爾曼濾波流程圖，卡爾曼濾波主要由五個(gè)關(guān)鍵迭代方程組成。卡爾曼濾波本質(zhì)上是用系統(tǒng)的預(yù)測(cè)值和測(cè)量值以及各自的噪聲來(lái)估算出此時(shí)刻的最優(yōu)值。

式（1）為狀態(tài)預(yù)測(cè)方程，假設(shè)現(xiàn)在的系統(tǒng)狀態(tài)是可以由系統(tǒng)模型，根據(jù)系統(tǒng)的上一個(gè)狀態(tài)預(yù)測(cè)出現(xiàn)在的狀態(tài)，式中，表示系統(tǒng)狀態(tài)量，是上一狀態(tài)最優(yōu)的結(jié)果，是利用預(yù)測(cè)的結(jié)果。應(yīng)用在系統(tǒng)中，由于在測(cè)量厚度時(shí)，厚度測(cè)量周期為1 s，即前后兩次厚度測(cè)量時(shí)間間隔很短，根據(jù)經(jīng)驗(yàn)，可以認(rèn)為前后兩個(gè)時(shí)刻的狀態(tài)值相同，所以狀態(tài)預(yù)測(cè)方程為

式（1）中系統(tǒng)狀態(tài)已經(jīng)更新，現(xiàn)在需要更新對(duì)應(yīng)狀態(tài)的協(xié)方差，更新過(guò)程同樣是利用上一個(gè)狀態(tài)預(yù)測(cè)現(xiàn)在的狀態(tài)，式（2）中表示估計(jì)誤差協(xié)方差，表示上一狀態(tài)最優(yōu)的結(jié)果，是利用預(yù)測(cè)的結(jié)果，表示系統(tǒng)噪聲協(xié)方差，表示系統(tǒng)噪聲的大小。

由式（1）和式（2）得到了現(xiàn)在狀態(tài)的預(yù)測(cè)結(jié)果，下面收集現(xiàn)在狀態(tài)的測(cè)量值。結(jié)合預(yù)測(cè)值和測(cè)量值，可以得到現(xiàn)在狀態(tài)的最優(yōu)化估算值其中為卡爾曼增益，如式（3）和式（4） 所示。

式（3）中表示卡爾曼增益，值的大小代表預(yù)測(cè)結(jié)果和觀測(cè)結(jié)果的可信程度，越大，表示觀測(cè)值越被信任。表示觀測(cè)噪聲協(xié)方差，即觀測(cè)噪聲的大小。

式（4）表示狀態(tài)更新方程，表示測(cè)量結(jié)果，式中，此時(shí)刻狀態(tài)結(jié)果由狀態(tài)預(yù)測(cè)結(jié)果和測(cè)量結(jié)果加權(quán)而成。

現(xiàn)在已經(jīng)得到了狀態(tài)下最優(yōu)的估算值但是為了使卡爾曼濾波器不斷的運(yùn)行下去直到系統(tǒng)過(guò)程結(jié)束，還要更新?tīng)顟B(tài)下的協(xié)方差。

式（5）為估計(jì)誤差協(xié)方差更新方程，由這一個(gè)時(shí)刻的卡爾曼增益和估計(jì)誤差協(xié)方差計(jì)算得到。

以上描述了卡爾曼濾波的基本原理，卡爾曼濾波就是由五個(gè)基本公式組成，依靠五個(gè)基本公式的迭代完成卡爾曼濾波的濾波過(guò)程。

3.2.2 初始數(shù)據(jù)

對(duì)于不同的卡爾曼濾波收斂速度和收斂效果均不同，綜合比較兩種情況，在參數(shù)時(shí)，卡爾曼濾波器性能符合要求。

3.2.3 濾波結(jié)果

圖5為電壓估計(jì)誤差，在圖5（a）中，細(xì)實(shí)線為測(cè)量窗口和參考窗口差值，將其稱為原始測(cè)量電壓，其中水平粗點(diǎn)線表示均值，虛線表示經(jīng)過(guò)卡爾曼濾波之后的電壓。分析可得，原始測(cè)量電壓和卡爾曼濾波電壓均收斂于測(cè)量均值，電壓估計(jì)誤差有明顯改善。圖5（b）所示為電壓估計(jì)誤差曲線。電壓估計(jì)誤差由數(shù)據(jù)值與均值差值表示，虛線表示濾波后的電壓估計(jì)誤差，實(shí)線表示濾波前的電壓估計(jì)誤差。

3.3 滑動(dòng)平均濾波

經(jīng)過(guò)FIR低通濾波和卡爾曼濾波之后，觀察圖5，處理后的數(shù)據(jù)波動(dòng)仍然較大，數(shù)據(jù)在短時(shí)間內(nèi)有上升或者下降的趨勢(shì)，形成波峰和波谷，要抑制此情況出現(xiàn)需采用滑動(dòng)取平均值的方法。排序最新測(cè)量的30組數(shù)據(jù)，求取中間5組數(shù)據(jù)平均值，計(jì)算公式為：

4 測(cè)量結(jié)果分析

4.1 曲線分析

如圖6所示，實(shí)線表示測(cè)量電壓值，點(diǎn)線表示卡爾曼濾波電壓值，虛線表示滑動(dòng)平均濾波之后的電壓值，圖中三段曲線對(duì)應(yīng)測(cè)量的薄膜厚度分別為120 μm，60 μm和0，現(xiàn)在對(duì)曲線進(jìn)行誤差分析。

4.2 誤差分析

選取120 μm厚塑料薄膜的曲線進(jìn)行分析。選取圖6中第一段曲線，濾波結(jié)果如表1所示。

4.3 結(jié)果分析

4.3.1 濾波效果

分析表1數(shù)據(jù)可以得出：三組數(shù)據(jù)計(jì)算得到的均值十分接近，所以最終處理得到的數(shù)值可以反應(yīng)真實(shí)測(cè)量值，經(jīng)過(guò)卡爾曼濾波算法和滑動(dòng)平均濾波算法處理之后的數(shù)據(jù)方差有了明顯的改善，能夠有效抑制誤差。提高了系統(tǒng)測(cè)量的精度。

4.3.2 收斂時(shí)間討論

為了使系統(tǒng)具有更高的測(cè)量精度，文中采用了兩種濾波算法，卡爾曼和滑動(dòng)平均濾波算法，這兩種算法均具有一定收斂時(shí)間，若收斂時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，則無(wú)法靈敏反應(yīng)出厚度變化的情況。

但此系統(tǒng)應(yīng)用在連續(xù)生產(chǎn)的環(huán)境下，一旦開(kāi)機(jī)生產(chǎn)，就對(duì)一種厚度標(biāo)準(zhǔn)的塑料薄膜進(jìn)行連續(xù)測(cè)量，測(cè)量時(shí)間達(dá)到幾小時(shí)至十幾小時(shí)，測(cè)量初期，只需要接近60 s曲線就可以收斂（因?yàn)榭柭鼮V波收斂點(diǎn)數(shù)的差距，時(shí)間無(wú)法精確確定，平均情況在60 s），在測(cè)量過(guò)程中，測(cè)量厚度由于生產(chǎn)設(shè)備的偏差，緩慢變化，對(duì)于緩變過(guò)程，兩種濾波算法收斂時(shí)間基本可以忽略，可以很好的反應(yīng)出實(shí)時(shí)測(cè)量時(shí)的厚度變化，如需調(diào)整測(cè)量厚度，只需選擇新的測(cè)量厚度標(biāo)準(zhǔn)，待曲線收斂后進(jìn)行測(cè)量。所以，兩種濾波的收斂時(shí)間對(duì)測(cè)量不會(huì)產(chǎn)生影響。

4.3.3 實(shí)用性分析

對(duì)薄膜進(jìn)行標(biāo)定之后，測(cè)量薄膜厚度，圖7為90 min內(nèi)對(duì)120 μm薄膜的實(shí)測(cè)數(shù)值。測(cè)量精度為（120±1.8） μm。表2表示對(duì)不同厚度的塑料薄膜的實(shí)測(cè)精度。

經(jīng)過(guò)實(shí)際測(cè)量，對(duì)于厚度為60～200 μm的塑料薄膜，測(cè)量精度可以達(dá)到厚度±2.4 μm。

實(shí)際生產(chǎn)中，生產(chǎn)的薄膜為寬幅薄膜，所以系統(tǒng)中選用五組光源、傳感器，對(duì)寬幅薄膜的五個(gè)點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量，由五個(gè)點(diǎn)的厚度狀況估計(jì)整幅薄膜的厚度狀況。

5 結(jié) 語(yǔ)

紅外測(cè)厚作為一種十分有效的塑料薄膜測(cè)厚方法，已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用，文中提出了一種基于NDIR的紅外測(cè)厚方法——非分光NDIR傳感器雙窗口方法，其可以代替雙光源分光方法。這樣可以有效地簡(jiǎn)化光源調(diào)制過(guò)程，在系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)過(guò)程中，采用現(xiàn)代數(shù)字信號(hào)處理方法，提高了測(cè)量精度，經(jīng)過(guò)實(shí)驗(yàn)證明，此方法具有較高的測(cè)量準(zhǔn)確度和穩(wěn)定性，達(dá)到了設(shè)計(jì)目標(biāo)，值得推廣應(yīng)用。

參考文獻(xiàn)

[1] 廖正品.可持續(xù)發(fā)展中的中國(guó)塑料工業(yè)[J].國(guó)外塑料，2009（5）：1?32.

[2] 閆坤.塑料薄膜厚度在線測(cè)量系統(tǒng)的設(shè)計(jì)[J].儀表技術(shù)與傳感器，2011（2）：91?94.

[3] 李軍，賴萬(wàn)昌，周良平.X射線反散射法測(cè)量塑料薄膜厚度[J].廣東微量元素科學(xué)，2012（8）：62?66.

[4] 費(fèi)維強(qiáng).淺析在線厚度測(cè)量技術(shù)[J].塑膠工業(yè)，2006（4）：8?12.

[5] 陳文剛，丁建軍.幾種測(cè)厚儀器的研究與應(yīng)用[J].工業(yè)技術(shù)創(chuàng)新，2015（3）：380?384.

[6] 邱超，孫曉剛.積分光譜法測(cè)量塑料薄膜厚度研究[J].光譜學(xué)與光譜分析，2013（1）：163?166.

[7] 徐源，黃金強(qiáng)，崔燦，等.利用紅外光譜儀快速測(cè)量塑料薄膜厚度[J].物理實(shí)驗(yàn)，2012（5）：31?33.

[8] 姚寧，郭朝龍，翁凌云，等.基于AVR單片機(jī)的汽車尾氣檢測(cè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)[J].現(xiàn)代電子技術(shù)，2014，37（24）：118?120.

[9] 溫新竹，秦少平，郭堃.紅外甲烷氣體檢測(cè)傳感器的研究[J].化學(xué)工程與裝備，2015（1）：31?32.

[10] 彭丁聰.卡爾曼濾波的基本原理及應(yīng)用[J].軟件導(dǎo)刊，2009（11）：32?34.