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    LTCC工藝評(píng)價(jià)試驗(yàn)方法★

    2015-12-10 02:00:42董作典文平楊釗華熙
    關(guān)鍵詞:制樣通孔基板

    董作典,文平,楊釗,華熙

    (中國(guó)空間技術(shù)研究院西安分院,陜西 西安 710100)

    0 引言

    低溫共燒陶瓷 (LTCC)技術(shù)是將低溫?zé)Y(jié)陶瓷粉制成厚度精確而且致密的生瓷帶,在生瓷帶上利用激光打孔、微孔注漿、精密導(dǎo)體漿料印刷等工藝制出所需電路圖形,并將多個(gè)無(wú)源組件 (如低容值電容、電阻、濾波器、阻抗轉(zhuǎn)換器、耦合器等)埋入多層陶瓷基板中,然后層壓在一起。內(nèi)外電極可分別使用銀、銅、金等金屬,在900℃下燒結(jié),制成三維空間互不干擾的高密度電路,也可制成內(nèi)置無(wú)源元件的三維電路基板,在其表面可以貼裝IC和有源器件,制成無(wú)源/有源集成的功能模塊,可進(jìn)一步地將電路小型化與高密度化,特別適合用于高頻通訊用組件中。

    但是,在LTCC生產(chǎn)工藝過(guò)程中,通孔注漿不能過(guò)滿或不夠,特別是微帶線、帶狀線之間的匹配連接孔,如果出現(xiàn)孔洞就會(huì)影響微波電路的性能[1]。而且早期LTCC基板的失效分析也發(fā)現(xiàn)通孔與導(dǎo)帶間開(kāi)路是多層基板布線互連失效的主要模式,原因是基板在共燒工藝過(guò)程中,布線金屬與陶瓷材料收縮失配產(chǎn)生的界面應(yīng)力導(dǎo)致布線開(kāi)路[2]。垂直互連主要通過(guò)疊壓對(duì)位來(lái)實(shí)現(xiàn),但容易發(fā)生錯(cuò)位現(xiàn)象,即通孔與通孔搭接錯(cuò)位失效和通孔與導(dǎo)體搭接錯(cuò)位失效等兩種失效模式,引起垂直互連失效[3]。正是由于通孔容易出現(xiàn)開(kāi)路或錯(cuò)位而導(dǎo)致接觸電阻大等問(wèn)題,有學(xué)者通過(guò)對(duì)導(dǎo)帶形成技術(shù)、通孔柱形成技術(shù)進(jìn)行研究來(lái)解決這些工藝問(wèn)題[4]。

    在現(xiàn)代電子產(chǎn)品中,LTCC類電子產(chǎn)品的用量逐年增加,為了對(duì)這種產(chǎn)品的工藝質(zhì)量進(jìn)行評(píng)估,需要對(duì)LTCC模塊器件進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析 (CA)和破壞性物理分析 (DPA)。分析的第一步就是要制作高清晰度的剖面,這也直接決定了分析質(zhì)量的高低和分析結(jié)果的判定。有學(xué)者采用過(guò)濾后的氧化鉻拋光液加肥皂水對(duì)試樣進(jìn)行拋光,以減少試樣表面的變形層,提高制樣質(zhì)量和制樣速度,避免了以往試驗(yàn)的重復(fù)性[5]。但這種方法沒(méi)有從根本上解決軟金屬剖面受到力的作用發(fā)生微變形的問(wèn)題,只是改善,不能解決。

    1 傳統(tǒng)的LTCC產(chǎn)品剖面制樣方法

    下面以某LTCC濾波器產(chǎn)品為例來(lái)介紹傳統(tǒng)LTCC產(chǎn)品剖面制樣的制備方法,LTCC濾波器的剖面結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示。由圖1可見(jiàn),LTCC濾波器通孔包括:陶瓷、陶瓷間金屬化層及通孔內(nèi)的漿料等。

    為了分析LTCC濾波器通孔內(nèi)部工藝質(zhì)量,需要將LTCC濾波器的通孔部位制成剖面制樣,然后在顯微鏡下觀察制樣的剖面,以分析內(nèi)部工藝及過(guò)程控制質(zhì)量?,F(xiàn)有技術(shù)中的剖面制樣制備方法的流程圖如圖2所示。

    圖1 LTCC濾波器的剖面結(jié)構(gòu)示意圖

    圖2 傳統(tǒng)剖面制樣制備方法的流程圖

    以下結(jié)合圖2,以LTCC濾波器為試驗(yàn)樣品,進(jìn)行LTCC濾波器通孔剖面制樣的制作。

    將通過(guò)上述方法制成的剖面制樣放在顯微鏡下觀察其制樣剖面,LTCC濾波器剖面制樣在顯微鏡下觀察到的剖面照片如圖3所示。

    圖3 LTCC濾波器剖面制樣照片

    從圖3中可以看出,利用現(xiàn)有技術(shù)得到的剖面制樣可以大致看到LTCC濾波器通孔多層結(jié)構(gòu)。但其缺點(diǎn)是:磨制出的剖面在顯微鏡下觀察時(shí),由于Au金屬的延展性非常好,各層界面處已被延展的Au將缺陷覆蓋,導(dǎo)致各層的界面形貌難以觀察,各層材料的分界線不夠清晰,很難判斷LTCC層壓與漿料灌注工藝的好壞,以及過(guò)程控制質(zhì)量。

    2 新的制樣方法及其試驗(yàn)結(jié)果

    針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的對(duì)LTCC濾波器通孔進(jìn)行剖面制樣分析時(shí),由于Au的延展性導(dǎo)致缺陷被掩蓋的問(wèn)題,筆者提出一種新的制樣方法,試驗(yàn)步驟如圖4所示。

    圖4 新的LTCC樣品剖面制樣制作方法的流程圖

    參見(jiàn)圖4,以LTCC濾波器剖面制樣為例,新的制樣方法的試驗(yàn)步驟由樣品固定階段、試樣磨拋階段和試樣腐蝕階段配合完成。

    2.1 樣品固定階段的步驟

    a)步驟1:準(zhǔn)備待制樣LTCC濾波器樣品、模具 (鑲嵌樣品的容器)、脫模劑、環(huán)氧樹(shù)脂和固化劑、鹽酸和硝酸、玻璃棒、酒精棉球等。

    b)步驟2:將準(zhǔn)備好的脫模劑涂抹于模具內(nèi)表面。

    c)步驟3:將LTCC樣品放置在模具內(nèi),根據(jù)磨拋的位置固定樣品方向。

    d)步驟4:將環(huán)氧樹(shù)脂和固化劑按固定比例配置一定容量并攪拌均勻。環(huán)氧樹(shù)脂及固化劑可以選用STRUERS公司的EpoFix Kit型樹(shù)脂塑料。

    e)步驟5:將環(huán)氧樹(shù)脂固化劑混合液澆注到模具內(nèi),將LTCC樣品和模具間空隙填充。

    f)步驟6:將澆注好的制樣放在真空容器內(nèi)抽真空,排除樹(shù)脂內(nèi)的氣泡。

    g)步驟7:將抽完真空的試樣在室溫下放置6~8 h,使樹(shù)脂固化。

    h)步驟8:將已固化的試樣從模具中取出準(zhǔn)備磨拋。

    2.2 試樣磨拋階段的步驟

    a)步驟1:將固化好的試樣在切割機(jī)上在其剖面制樣目標(biāo)位置附近切斷,并留一定的磨拋余量。

    b)步驟2:將已切斷的試樣在磨拋機(jī)上用120號(hào)金剛砂紙加水粗磨至剖面制樣目標(biāo)位置附近。

    c)步驟3:將粗磨過(guò)的試樣繼續(xù)在磨拋機(jī)上分別用 220、320、500、1000號(hào)金剛砂紙加水細(xì)磨,每號(hào)砂紙大約磨1 min。

    d)步驟4:將經(jīng)過(guò)細(xì)磨的試樣放在拋光布上加適當(dāng)拋光液,對(duì)制樣剖面進(jìn)行拋光,時(shí)間約1.5 min,直至試樣剖面無(wú)劃痕,呈現(xiàn)鏡面特征,至此試樣磨拋階段結(jié)束。

    2.3 試樣腐蝕階段的步驟

    a)步驟1:將準(zhǔn)備的鹽酸和硝酸按照HCl:H3NO3=3:1的體積比配置成王水,并用玻璃棒攪拌均勻。

    b)步驟2:用玻璃棒蘸少許腐蝕液導(dǎo)流至試樣剖面表面,腐蝕液應(yīng)覆蓋剖面金屬位置, 腐蝕 2~3 min。

    c)步驟3:將腐蝕后的試樣剖面表面用去離子水清洗多次。

    d)步驟4:將清洗后的試樣用酒精棉球按一定方向和力度 (擦拭方向和力度以將腐蝕產(chǎn)物擦除的同時(shí)又沒(méi)破壞剖面表面金相結(jié)構(gòu)為宜)擦拭制樣剖面的腐蝕殘留物,使其露出清晰的剖面表面,完成剖面制樣的制作。

    將通過(guò)上述方法制作的剖面制樣放在顯微鏡下觀察其通孔剖面,以分析其層壓及澆注工藝及過(guò)程控制質(zhì)量。在顯微鏡下觀察時(shí),顯微鏡的放大倍數(shù)在200~500倍之間,新舊方法分別制成的剖面制樣照片對(duì)比情況如圖5所示。

    從圖5可以看出:采用新方法制作的LTCC濾波器通孔剖面制樣的界面缺陷非常清晰,采用舊方法制作的LTCC濾波器通孔剖面不夠清晰,缺陷被延展的Au覆蓋嚴(yán)重。

    圖5 試驗(yàn)前后制樣照片對(duì)比圖

    4 結(jié)論

    新試驗(yàn)方法制作的LTCC濾波器通孔剖面制樣可以得到非常好的剖面清晰度,極大地提高了觀察和分析水平。既解決了離子束切割法成本高周期長(zhǎng)的問(wèn)題又解決了傳統(tǒng)磨拋法破壞剖面延展金屬原貌的問(wèn)題,降低了對(duì)剖面制樣精度要求很高時(shí)的試驗(yàn)成本,同時(shí)復(fù)雜度并沒(méi)有增加多少,提高了產(chǎn)品剖面清晰度并可暴露生產(chǎn)工藝缺陷,還原了產(chǎn)品工藝質(zhì)量。本方法對(duì)于LTCC產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)分析 (CA)和破壞性物理分析 (DPA)十分有用,可供相關(guān)領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員參考,而且本方法操作簡(jiǎn)捷,成本低,有很好的工程應(yīng)用推廣價(jià)值。

    [1]MASLOWSKI A, SENKALSKI R, SHAHBAZI S.A new high-reliability ilver-compatible dielectric system with mixed-metalcapability[C]//Proc of the 1992 Int’1 Symp on Microelectronics.Atlanta: ISHM,1992:204-209.

    [2]何小琦,馬鑫,章瑜.通過(guò)控制LTCC多層基板收縮率消除通孔與導(dǎo)帶間的開(kāi)路失效 [J].電子產(chǎn)品可靠性與環(huán)境試驗(yàn),2002,20(3):4-8.

    [3]張長(zhǎng)鳳,郭繼華,賀志新.LTCC基板垂直互連失效模式分析及應(yīng)對(duì)措施 [C]//中國(guó)電子學(xué)會(huì)第十六屆電子元件學(xué)術(shù)年會(huì)論文集.2010.

    [4]汪繼芳,劉善喜.LTCC基板上薄膜多層布線工藝技術(shù)[J].電子與封裝,2010 (4):28-31.

    [5]衛(wèi)惠.軟金屬材料金相制樣方法 [J].理化檢驗(yàn):物理分冊(cè), 2002, 38 (1): 30.

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