試析輪胎行業(yè)EPS系統(tǒng)常見故障及處理

凌紅衛(wèi)

(安徽佳能輪胎有限公司，安徽 合肥 230601)

試析輪胎行業(yè)EPS系統(tǒng)常見故障及處理

Analysis of usual malfunctions and treatments of EPS system in tire industry

凌紅衛(wèi)

(安徽佳能輪胎有限公司，安徽 合肥 230601)

介紹了日本NHVS電子線輻照裝置（EPS）的系統(tǒng)構(gòu)成、工作原理、故障種類、常見故障分析、故障原因、解決方案，以及介紹鈦膜、離子泵等消耗組件定期更換時(shí)的實(shí)施要點(diǎn)。

；EPS；鈦膜（窗箔）；離子泵；QC泵；機(jī)械泵；真空度；真空閥門；燈絲；束流；加速管；加速腔；加速電壓；電源罐；RF線圈；振蕩器；SF6氣體；丙酮

1 EPS系統(tǒng)概述

EPS是英文Electron beam Processing System的縮寫，“Processing”通常是[處理]或者[過程]的意思，使用電子束處理工程是指[照射]，全稱就命名為電子束輻照裝置（EPS）。

電子束輻照裝置（EPS）是把產(chǎn)生的電子束（EB）照射于物質(zhì)，給予物質(zhì)能源，引起物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的裝置。

EPS技術(shù)是指采用高能量的X射線激活輪胎行業(yè)中纖維簾布橡膠分子，引發(fā)產(chǎn)生橡膠自由基，橡膠自由基再相互結(jié)合，使橡膠分子產(chǎn)生C—C交聯(lián)，最終形成三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，這樣能很好地解決輪胎行業(yè)成型工藝中胎體簾布層與層間出現(xiàn)的簾線偏移或稀疏變形，或胎體內(nèi)襯的氣密層出現(xiàn)膠料移動(dòng)、厚度不均等不良現(xiàn)象，從而改善了輪胎的化學(xué)穩(wěn)定性和耐熱性，增強(qiáng)輪胎的產(chǎn)品過程特性，提升輪胎品質(zhì)、降低生產(chǎn)成本。

當(dāng)前安徽佳通輪胎有限公司有2臺(tái)日本進(jìn)口的EPS電子束輻照裝置，分別安裝在日本IHI64×64四輥壓延機(jī)和德國TROESTER內(nèi)襯生產(chǎn)線上，構(gòu)成在線EPS系統(tǒng)。EPS系統(tǒng)屬高電壓、高絕緣、高真空度的精密設(shè)備，耗資千萬（RMB），備件十分昂貴，需定期更換鈦膜、離子泵、電子槍、加速管等消耗組件及維護(hù)和保養(yǎng)。

2 EPS系統(tǒng)主要構(gòu)成

2.1 直流高壓電源部分

包括：①壓力容器；②森克爾型直流升壓回路；③燈絲用配套；④直流高電壓測(cè)定裝置；⑤RF升壓器；⑥振蕩器；⑦柵極控制盤。

2.2 加速裝置

包括：①加速管；②分壓電阻；③燈絲座。

2.3 掃描管及真空排氣裝置

包括：①掃描管；②掃描部；③真空排氣裝置。

2.4 控制裝置

①控制板；②操作盤。

2.5 附帶設(shè)備

①SF6氣體；②窗冷卻風(fēng)機(jī)；③臭氧排氣風(fēng)機(jī)；④X射線監(jiān)視器；⑤電子束擋板；⑥電子束快門；⑦安全箱。

工作原理圖如圖1。

圖1 EPS工作原理圖

3 EPS系統(tǒng)工作原理

電子在真空中的靜電場中，被正極電荷吸引，產(chǎn)生移動(dòng)，電子在不斷的移動(dòng)過程中，電子產(chǎn)生了加速，不斷加速，其能量也不斷地增加。所以，加速就給予能量。

在真空容器（容器內(nèi)因?yàn)檎婵毡?，被維持超真空狀態(tài)）內(nèi)放置薄的金屬膜，被加速的電子透過金屬膜飛散到空氣中。這個(gè)電子物質(zhì)化，引起化學(xué)反應(yīng)。

EPS系統(tǒng)中，電子是通過直流高電壓來進(jìn)行加速的。這個(gè)時(shí)候,電子得到了直流高電壓部分的能量。電子的能量越高，穿透越深。

4 EPS系統(tǒng)故障種類

日本NHVS EPS系統(tǒng)較常見的故障，主要有真空度報(bào)警、加速電壓報(bào)警、束流束量報(bào)警、振蕩器高壓直流電源報(bào)警、掃描管電源報(bào)警、束像報(bào)警、柵極控制盤報(bào)警、電子燈絲電源報(bào)警、柱形電流報(bào)警、PLC控制模塊組件異常、外圍開關(guān)信號(hào)及線路異常、簾布導(dǎo)向輥筒及輥筒軸承異常、冷卻水冷卻風(fēng)機(jī)異常等等。

圖2中，EPS系統(tǒng)最為容易出現(xiàn)的報(bào)警主要為EPS真空度報(bào)警，其次為加速電壓報(bào)警。當(dāng)電子加速腔內(nèi)的真空度低于4.2×10-4Pa時(shí)，系統(tǒng)自動(dòng)停機(jī)，加速電壓停止，電子源不再發(fā)射電子，以保護(hù)裝置故障擴(kuò)大化。

5 EPS系統(tǒng)最常見故障

最常見的故障有兩類，主要是真空度故障、加速電壓故障。

圖2 EPS各種故障比例圖

5.1 真空度報(bào)警

一般情況下，其主要報(bào)警原因有：鈦膜（窗箔）損壞、離子泵異常、離子泵控制儀異常、離子泵線纜異常，離子泵泄露、鈦膜壓板泄露、掃描腔體（即加速腔）泄露、加速管損壞泄露、QC泵腔體泄露、真空閥門泄露等等，參見圖3。

圖3 真空度報(bào)警中各故障占比圖示

真空度故障主要表現(xiàn)在離子泵報(bào)警和真空腔體泄漏，離子泵報(bào)警主要檢查控制儀、高壓線路、離子泵接頭等；腔體泄漏涉及真空腔體多處法蘭連接密封點(diǎn)，很難實(shí)現(xiàn)快修，查漏過程需要丙酮檢漏、甚至氦氣檢漏，費(fèi)時(shí)費(fèi)工。

5.2 加速電壓報(bào)警

一般情況下，其主要報(bào)警原因有：真空管異常、真空管冷卻水異常、RF升壓器異常、PLC模塊模擬量信號(hào)異常、靜態(tài)繼電器故障、SCR功率調(diào)壓器異常、CU01控制單元異常、電源罐升壓器異常，電源罐絕緣損壞、SF6氣體流失等等，參見圖4。

加速電壓原因很多，涉及有真空管、RF罐和電源罐升壓回路等，真空管升壓回路、冷卻水管故障、外部線路及其相關(guān)信號(hào)檢測(cè)點(diǎn)檢修方便，但RF罐、電源罐內(nèi)部的升壓回路和冷卻管路均被罐體封閉，受內(nèi)部SF6絕緣、開罐維修時(shí)間等因素限制，平時(shí)無法點(diǎn)檢。目前我公司EPS加速電壓故障維修處理能力。

圖4 加速電壓報(bào)警中各故障占比圖示

5.3 掃描電源故障

一般情況下，掃描管電源故障主要原因有：電源保險(xiǎn)壞、電子元器件損壞、掃描線圈斷路、掃描線圈絕緣損壞、控制單元模擬量信號(hào)異常、掃描管控制器故障等。

6 EPS系統(tǒng)常見故障分析

6.1 真空度故障最主要原因

腔體或腔體各連接件法蘭泄露、離子泵異常、離子泵控制儀異常。離子泵使用壽命一般按自然年2年計(jì)算，到期不更換，其維持真空度水平會(huì)下降；另外鈦膜（窗箔）使用壽命一般按使用率2 000 h計(jì)算，到期不更換，其維持真空度水平也會(huì)下降，甚至自然破損，這時(shí)很可能受到大氣的沖擊，擊毀加速管。

6.2 加速電壓故障最主要的原因

高壓柜系統(tǒng)AC 400V供電電壓波動(dòng)、真空管高壓接線柱異常、真空管冷卻異常、高壓柜柜門門碰開關(guān)異常、真空管高壓線對(duì)地或絕緣異常、高壓振蕩直流電源柜靜態(tài)繼電器異常、RF罐、電源罐升壓器異常及電源罐、RF罐高壓絕緣異常等一系列因素，都會(huì)導(dǎo)致加速電壓故障。其中加速管是電子加速的核心元件，其加工制作工藝復(fù)雜，為玻璃制品，購貨周期漫長，費(fèi)用極其昂貴（人民幣約40萬元/件）。

6.3 掃描電源故障最主要的原因

掃描電源AC 220 V供電電壓波動(dòng)、掃描線圈斷路、絕緣損壞、信號(hào)線路異常、控制器異常。掃描單元控制器非常精密，購貨周期漫長，其費(fèi)用也極其昂貴（人民幣約25萬元/件）。

7 EPS系統(tǒng)常見故障解決方案

7.1 真空度報(bào)警

（1） 查看離子泵控制器有無報(bào)警，離子泵控制器電壓選擇為4 kV或6 kV，若4 kV有報(bào)警，可以選擇6 kV。

（2） 查看高壓電纜線是否破損，有破損或損壞，重新更換。

（3） 查看離子泵接頭是否接觸牢固，外圍絕緣皮是否破損，有松動(dòng)，需重新焊接。

（4） 在主操作安裝真空度報(bào)警指示燈，便與查看真空度報(bào)警。

（5） 定期檢查離子泵高壓電纜及電纜接線端子。

（6） 電子加速腔各法蘭接頭或密封件處檢漏，需要“丙酮”。

（7） 更換離子泵、QC鈦絲、鈦膜、真空閥等，EPS廠家實(shí)施。

7.2 加速電壓報(bào)警

（1）檢查穩(wěn)壓電源是否異常，用萬用表測(cè)量控制盤輸出通道1電壓是否波動(dòng)，無波動(dòng)，更換模擬量輸入模塊。

（2）查看真空管表面是否有打火痕跡，有打火痕跡，更換真空管。

（3）清洗過濾網(wǎng)，查看高壓柜柜門是否關(guān)閉正常。

（4）查看柵極控制盤是否有報(bào)警？有報(bào)警，更換柵極控制盤連接到RF罐檢測(cè)線。

（5）用膠木板隔離固定高壓電纜線，防止電纜線觸碰到金屬。

（6） 檢查高壓振蕩直流電源柜靜態(tài)繼電器。

（7）開罐檢查：RF罐、電源罐升壓回路，EPS廠家施。

7.3 掃描電源報(bào)警

（1）用萬用表產(chǎn)查看進(jìn)線電源是否為220 V，熔芯是否良好，輸出電壓是否正常。

（2）若有報(bào)警，先手動(dòng)復(fù)位，若無法復(fù)位，打開掃描管控制單元，查看電子元器件。

（3）用萬用表檢查掃描線圈是否斷路。

（4）用500 V兆歐表檢測(cè)線圈絕緣性。

（5）用萬用表測(cè)量掃描管控制單元模擬量輸入通道及檢測(cè)通道電壓是否正常。

（6）更換掃描管控制儀單元（必須進(jìn)行束像測(cè)試），EPS廠家實(shí)施。

故障對(duì)策措施：

（1） 積累經(jīng)驗(yàn)，編寫EPS檢修流程SOP，提高維修技能。

（2）確保對(duì)EPS的做日常維護(hù)，做好EPS設(shè)備日點(diǎn)檢表，按設(shè)備保養(yǎng)計(jì)劃跟蹤設(shè)備完好情況，備件充足。

（3）作業(yè)員在生產(chǎn)期間，多關(guān)注控制屏畫面真空度、束流等顯示參數(shù)，異常時(shí)及時(shí)停機(jī)，及時(shí)報(bào)修。

8 EPS消耗組件定期更換時(shí)的實(shí)施要點(diǎn)

以下主要論述更換鈦膜（窗箔）的詳細(xì)步驟。

8.1 熟悉更換流程

（1） 準(zhǔn)備窗箔等零部件、器材。

（2）中斷掃描管內(nèi)真空，利用N2等惰性氣體及控制真空閥門的開度緩慢“吸”入真空腔，直至平衡大氣壓水平。

（3）拆解輻照窗的周邊部件、拆解窗箔、拆解QC泵。

（4） 清掃輻照窗、清掃QC泵部件，更換鈦絲。

（5） 清洗窗箔壓板。

（6） 先安裝QC泵，再安裝輻射窗箔、鋁線，安裝窗箔壓板。

（7） 抽真空（機(jī)械泵、QC泵）。

（8） 抽真空（啟動(dòng)離子泵）。

（9） 輻照窗周邊部件復(fù)原。

（10）撤去零部件、器材。

（11）開始加速電壓、束流束像調(diào)整。

8.2 準(zhǔn)備好更換需要的器材

器材如表1所示。

8.3 更換鈦膜標(biāo)準(zhǔn)SOP

（1）切斷控制盤離子泵電源

檢查：是否貼上禁止啟動(dòng)離子泵的標(biāo)志。

（2）拆下輻射窗冷卻風(fēng)配管

檢查：鈦膜窗壓板的螺栓是否不夠緊，是否保護(hù)鈦膜。

（3）拿掉掃描管的粗抽用排氣口的夾具，打開保護(hù)蓋。把塑膠布蓋在粗抽用排氣口上，插N2鋼瓶的軟管到其間隙。

（4）把 N2氣瓶的減壓器設(shè)定為 0.05 MPa g (0.5 kgf/cm2g), 送出N2氣體直至溢出罐口）檢查：N2是否有溢出。

（5）二人分擔(dān)操作工作

①一人監(jiān)視鈦膜的變化，把變化情況告訴另一人。②另一人確認(rèn)N2氣體一直有溢出罐口，同時(shí)緩慢扭松超真空閥。（由于會(huì)吸入外部空氣，絕不可調(diào)為負(fù)壓）③鈦膜放松后，按照超真空閥、N2鋼化閥的順序關(guān)閉閥門。注意：2人互報(bào)情況，掌握窗箔的狀態(tài)。N2氣體開始封入，窗箔不會(huì)立刻顯示變化。（需要十分鐘以上）注意：窗箔會(huì)突然向外側(cè)膨脹。④保留二側(cè)各二處窗箔安裝螺栓，拆下其他螺栓。⑤2人固定好壓窗板，拆下剩下的4個(gè)螺栓。

表1 更換鈦膜所需器材

（6）取下壓窗板，運(yùn)到操作臺(tái)。

（7）拿開鋁密封時(shí)，注意不要遺漏二端各4個(gè)3×10 mm的彈簧及柱塞，如果很難弄開柱塞，可以把M2.6的小螺栓裝在柱塞上，然后用夾子夾出來。檢查：是否保管好彈簧及柱塞各4個(gè)。

（8）對(duì)掃描管底拿開窗箔的部分用丙酮除掉污物，貼上厚紙用于保護(hù)（紙板30 cm×150 cm）(檢查是否有保護(hù)掃描管的底部)。

（9）清潔壓窗板。

（10）窗箔會(huì)碰到的部分，使用金屬研磨劑進(jìn)行清潔。（對(duì)特別難除掉的污垢，可用砂紙#600加上金屬研磨劑，特別注意不要壓傷壓窗板）。

（11）用絲錐通一下螺栓安裝孔（M8）。

（12）使用丙酮來清潔。檢查: 壓窗板的清潔是否OK。

8.4 安裝窗箔

（1） 準(zhǔn)備窗箔密封用的鋁線。

（2） 拿掉防塵紙，以安裝彈簧和定位銷。

（3） 2名操作人員按照以下要用安裝鋁線。

（4） 1人把鋁線掛到掃描器一側(cè)的2個(gè)定位銷上，用大拇指輕輕固定以免掉下。

（5） 第2個(gè)人把鋁線掛到另一側(cè)的定位銷上，用拇指固定。

（6） 第3個(gè)人拉開鋁線，利用圓珠筆的筆帽等掛到余下的定位銷上。注意：由于鋁線容易拉伸，注意先從一側(cè)開始安裝。

（7） 在壓窗板上用透明膠（寬5 mm×25 mm）貼好窗箔。

（8） （把窗箔的彎曲處在下側(cè)進(jìn)行安裝，防止翹起）

（9） 把裝好窗箔的壓窗板移動(dòng)到裝置的下面，在法蘭兩端附近裝上定位銷。（M8 4根），調(diào)整螺孔的位置緩慢上升后，二端各裝上2個(gè)螺栓。

（10）在安裝螺栓的部分涂上少量的二硫化鉻潤滑劑，放入13片墊片后安裝。檢查：安裝用螺栓和墊片需每二年更換一次

（11）扭緊安裝螺栓時(shí)，安裝以下要領(lǐng)進(jìn)行。

（12）2名操作人員按照號(hào)碼順序，使用扭矩扳手扭緊至9.8 N-M (100 kgf-cm)

（13）（1→最后的螺栓）

（14）然后扭緊至N-M(150 kgf-cm)(1→最后的螺栓)

（15）然后扭緊至（230 kgf-cm）(1→最后的螺栓)

（16）最后按22.6 N-M (230 kgf-cm)逆向緊固（最后的螺栓→1）檢查 ：安裝螺栓是否按照22.6 N-M (230 kgf-cm)扭緊。

8.5 抽真空

（1） 關(guān)閉超真空閥。

（2） 按照抽真空配管參考圖進(jìn)行連接。

（3） 使用專用電纜連接QC電源及QC。

（4） 放QC冷卻水。（安裝冷卻水配管后）檢查：QC冷卻水是否流動(dòng)。

（5）運(yùn)行旋轉(zhuǎn)式泵，檢查配管內(nèi)是否有真空泄露。0.7 Pa（0.005 Torr）以下檢查：配管的真空是否泄露。

（6）觀察皮拉尼真空計(jì)的同時(shí)，稍微打開超高真空閥。

注意：保持2 700 Pa（20 Torr）以下。

旋轉(zhuǎn)式泵的氣體鎮(zhèn)定閥保持打開狀態(tài)。

真空度變好，維持2 700 Pa（20 Torr）以下，最終全開。

目測(cè)窗箔的伸展情況，確認(rèn)沒有褶皺。

檢查：是否保持2 700 Pa以下直至超真空閥全開。

（7）達(dá)到0.7 Pa（0.005 Torr）左右時(shí)，觀察皮拉尼真空計(jì)的同時(shí)，把丙酮噴撒到真空密封部分，檢查有無真空泄漏。（2人操作）

檢查：有無真空泄漏

（8）是否離子泵已經(jīng)排氣。

①打開QC的開關(guān)，把輸出電流設(shè)定為48 A。

②隨著燈絲的加熱，電流會(huì)減少，需要隨時(shí)進(jìn)行調(diào)整使之變?yōu)?8 A。

③把QC及粗抽泵并列運(yùn)行，如果優(yōu)于0.7 Pa，則關(guān)閉超高真空閥，只使用QC抽真空。

④2～3 min后，用電壓RANGE打開離子泵，電壓下降或停滯時(shí)關(guān)閉電源，等待2～3 min進(jìn)行同樣動(dòng)作（一次通電的時(shí)間不得超過3 min）。

⑤離子泵的電壓緩慢上升，確認(rèn)電流降低。

注意：如果真空度上升遲緩時(shí)，暫時(shí)關(guān)閉離子泵和QC泵后，再次打開超真空閥，進(jìn)行粗抽之后，重復(fù)1的操作。

⑥離子泵開始用4 kV模式，電流值下降后使用6 kV模式運(yùn)行，使用專用扭矩扳手把超高真空閥較之前增加0.49 N-M(5 kgf-cm)，并記錄該扭矩值。

檢查:是否記錄超真空閥的最終扭矩值。

⑦ 關(guān)閉皮拉尼真空計(jì)，粗抽泵的電源，拿開配管、配線。

（8） 安裝窗冷卻風(fēng)配管。整理屏蔽室內(nèi)，取出N2鋼瓶。

8.6 電子束形狀檢查模式

在輻照窗箔面安裝規(guī)格的感光紙，感光紙沿著箔面安裝在寬幅方向及兩端部分。

（1）準(zhǔn)備寬度為105 mm的三張感光紙，用膠布固定在窗箔的中央及兩端。

（2） 在窗箔約10 cm的位置放置與地線絕緣的對(duì)電極（鋁板等）。

（3） 檢查配線，可以用萬用表與測(cè)量電阻相同的方式進(jìn)行。

（4）在正極（+）端子觸到對(duì)電極的情況下把負(fù)極（-）端子接到地線，如果電流計(jì)（μA）的指針晃動(dòng)，則配線完成。

（5）在電子束分布檢查畫面，設(shè)定電子束圖像檢查的條件。

產(chǎn)生加速電壓：加速電壓到達(dá)設(shè)定值后，手動(dòng)操作（按下運(yùn)行畫面上的上升/下降開關(guān)）產(chǎn)生必要的電子束流。

（6）電子束流到達(dá)目標(biāo)值后，保持一定時(shí)間。

電子束形狀 40 μA×2分，電子束光點(diǎn) 50 μA×1分，關(guān)閉電子束流及加速電壓，

檢查感光紙的電子束像，確認(rèn)電子束圖像與檢查成績書一樣，沒有變化。

8.7 調(diào)整燈絲

（1）將所有配電柜的空開送上。

（2）切換到燈絲調(diào)整畫面，按一下報(bào)警復(fù)位按鈕，查看報(bào)警畫面，是否有報(bào)警？直到報(bào)警畫面無報(bào)警。

（4） 記錄燈絲調(diào)整畫面的實(shí)際值，真空度數(shù)值。

（4）設(shè)置數(shù)值為20，將操作開關(guān)按鈕切換到開位置，等一會(huì)，按一下開始按鈕。這是會(huì)看到燈絲實(shí)際值數(shù)值在變化，等燈絲實(shí)際值數(shù)值不變時(shí)，記錄燈絲實(shí)際值的數(shù)值，以及真空度，再查看控制柜內(nèi)變頻器的數(shù)值，都記錄下來。

（5） 重復(fù)4的步驟，將數(shù)值設(shè)置為30、40、50 ，最大設(shè)置數(shù)值為55。

（6）當(dāng)測(cè)試結(jié)束后，按一下停止按鈕，同時(shí)將切換開關(guān)切換到OFF。

8.8 束像調(diào)整確認(rèn)

（1） 控制板連接到陰極。

（2） 用萬用表（歐姆檔）測(cè)量阻值，約為10 kΩ,同時(shí)在觸摸屏上可看到對(duì)陰極電流約為10.01 μA。

（3） 切換到電子束調(diào)整畫面，按一下觸摸屏報(bào)警復(fù)位按鈕，查看報(bào)警畫面，是否有報(bào)警？直到報(bào)警畫面無報(bào)警。

（4） 將操作開關(guān)按鈕切換到開位置，這是觸摸屏?xí)崾尽罢袷幤髡婵展芗訜嶂小?，一段時(shí)間后，觸摸屏?xí)霈F(xiàn)提示“加速電壓準(zhǔn)備完畢”。這是按一下“開始”按鈕。這是會(huì)看到加速電壓的數(shù)值在增加，一段時(shí)間后會(huì)增加到400 kV,同時(shí)觸摸屏提示“束流準(zhǔn)備完畢”。這時(shí)再按一下“開始”按鈕，觸摸屏提示“束流輸出中”，手動(dòng)增加燈絲電源現(xiàn)在值的百分比數(shù)值，大約增加到24%左右時(shí)，會(huì)看到対陰極電流數(shù)值在增加。這時(shí)繼續(xù)手動(dòng)增加燈絲電源現(xiàn)在值的百分比，當(dāng)對(duì)應(yīng)極電流達(dá)到28 μA時(shí)，停止增加，等待2 min30 s后，即可按電子束停止按鈕。

（5） 打開罐門時(shí)，先到PLC控制柜處手動(dòng)按一下吹風(fēng)機(jī)，大約30 s左右，開吹風(fēng)機(jī)是為了排除罐內(nèi)的臭氧。

（6） 打開罐門，小心拆除貼在鈦膜上的感光紙。這時(shí)會(huì)看到感光紙上成的像。

8.9 束流調(diào)整確認(rèn)(400 kV-80 mA)

（1）切換到束流調(diào)整畫面，按一下觸摸屏報(bào)警復(fù)位按鈕，查看報(bào)警畫面，是否有報(bào)警，直到報(bào)警畫面無報(bào)警。

（2）將操作開關(guān)按鈕切換到開位置，這是觸摸屏?xí)崾尽罢袷幤髡婵展芗訜嶂小保欢螘r(shí)間后，觸摸屏?xí)霈F(xiàn)提示“加速電壓準(zhǔn)備完畢”。這時(shí)按一下“開始”按鈕。這時(shí)會(huì)看到加速電壓的數(shù)值在增加，一段時(shí)間后會(huì)增加到400 kV,同時(shí)觸摸屏提示“束流準(zhǔn)備完畢”。這時(shí)再按一下“開始”按鈕，觸摸屏提示“束流輸出中”，設(shè)定束流的設(shè)定值為“5 mA”，手動(dòng)增加束流現(xiàn)在值數(shù)值，會(huì)看到束流的現(xiàn)在值在增加,同時(shí)真空度在降低。

當(dāng)束流的數(shù)值達(dá)到5 mA時(shí)，將束流的設(shè)定值該為“10 mA”，以此往下為“15 mA，20 mA，25 mA”，一直到83 mA，這中間需要一直關(guān)注真空度的數(shù)值變化，真空度最低不能低于4.2×10-4Pa，當(dāng)束流的數(shù)值達(dá)到“83 mA”時(shí)，即可按電子束停止按鈕。

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10.13520/j.cnki.rpte.2015.15.010

凌紅衛(wèi)（1974-），男，畢業(yè)于安徽機(jī)電學(xué)院《工業(yè)自動(dòng)化》專業(yè)、北方工業(yè)大學(xué)《計(jì)算機(jī)科學(xué)與技術(shù)》專業(yè)，主要從事企業(yè)設(shè)備電氣技術(shù)和部門管理工作，現(xiàn)任安徽佳通輪胎有限公司預(yù)備維修處處長，同時(shí)兼管安徽工廠TPM推進(jìn)總計(jì)劃、TPM工作總結(jié)匯報(bào)。

2014-09-05