先進(jìn)的FOGALE測(cè)量技術(shù)為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)助力

本刊通訊員譚樂怡，周小可

先進(jìn)的FOGALE測(cè)量技術(shù)為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)助力

本刊通訊員譚樂怡，周小可

左起：FOGALE亞洲區(qū)負(fù)責(zé)人蘇武佑全球半導(dǎo)體部門副總裁Gilles FRESQUET富士德（中國(guó)）有限公司總經(jīng)理張宏兵

法國(guó)FOGALE Nanotech創(chuàng)立于1983年，是一家致力于高精確度非接觸式感測(cè)設(shè)備研發(fā)的公司，其產(chǎn)品在航空、車輛、醫(yī)學(xué)、生化及民生領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。在半導(dǎo)體及MEMS生產(chǎn)的晶圓減薄、臨時(shí)鍵合、高深寬比的TSV三維集成、MEMS器件測(cè)量、三維尺寸度量的解決方案中，憑借其領(lǐng)先的光學(xué)及電容量測(cè)及享有專利的TSV單點(diǎn)一次性量測(cè)技術(shù)提供有效的量測(cè)和在線工藝控制、成為眾多全球領(lǐng)先的客戶在3DIC與MEMS生產(chǎn)領(lǐng)域的合作伙伴?！峨娮庸I(yè)專用設(shè)備》雜志編輯有幸對(duì)FOGALE半導(dǎo)體部門的副總裁Gilles FRESQUET進(jìn)行了采訪，了解FOGALE公司對(duì)中國(guó)市場(chǎng)的戰(zhàn)略部署。

問：請(qǐng)您說說FOGALE公司目前產(chǎn)品情況和中國(guó)市場(chǎng)的拓展計(jì)劃？

答：從產(chǎn)品的應(yīng)用范圍來看，F(xiàn)OGALE現(xiàn)在主要提供半導(dǎo)體方面的量測(cè)儀器，還有光學(xué)元器件的組件、光學(xué)元器件的集成等支撐板塊。目前主要市場(chǎng)在美國(guó)、亞洲地區(qū)，歐洲地區(qū)，并且仍有不錯(cuò)的市場(chǎng)銷售成績(jī)。

從公司的產(chǎn)品來看，著重在全球先進(jìn)的封裝集成方面，比如先進(jìn)的3DIC、TSV、先進(jìn)封裝、銅對(duì)銅的鍵合等。我們?cè)贛EMS的微機(jī)電生產(chǎn)工藝當(dāng)中，也是相當(dāng)出色的。目前就世界范圍來講，我們?cè)谶@些應(yīng)用方面的量測(cè)儀器大約有40臺(tái)安裝在世界各地。這是現(xiàn)在FOGALE公司產(chǎn)品的狀況。

我們?cè)谥袊?guó)的業(yè)務(wù)拓展計(jì)劃著重在先進(jìn)封裝領(lǐng)域。除此之外，還有部分在3DIC、TSV、MEMS等。

問：您剛提到在全球安裝近40臺(tái)設(shè)備，在中國(guó)市場(chǎng)分布是什么情況？

答：由于3DIC的市場(chǎng)尚未挖掘出來，在同等水平的測(cè)量?jī)x器中，這40臺(tái)設(shè)備意味著在全球市場(chǎng)中占了很高比例。與此同時(shí)，中國(guó)也有部分企業(yè)已經(jīng)掌握了這個(gè)3DIC的技術(shù)，并且已經(jīng)開始著手操作，但它真正的市場(chǎng)開拓還未起步。所以現(xiàn)在FOGALE在中國(guó)的市場(chǎng)發(fā)展空間還很大。

問：FOGALE公司在中國(guó)的銷售模式是怎樣的？

答：目前是通過代理的形式運(yùn)營(yíng)。我們的代理商都非常有實(shí)力、有經(jīng)驗(yàn)。畢竟能否進(jìn)行直銷的主要因素還是在量的問題上，就現(xiàn)在以3DIC和先進(jìn)封裝來說，中國(guó)的量還是十分有限的，市場(chǎng)的需求還未增長(zhǎng)起來。大部分其他的廠商做法也是一樣的，先使用代理的機(jī)制，當(dāng)這個(gè)量變達(dá)到質(zhì)變的程度后，我們不排斥會(huì)在中國(guó)與一些院所進(jìn)行合作或者直接建立FOGALE CHINA分部。

問：您對(duì)于前不久國(guó)內(nèi)長(zhǎng)電科技收購(gòu)新加坡的星科金朋有什么看法？

答：這次的收購(gòu)事件會(huì)增加中國(guó)和新加坡的連接和交流，是好事。對(duì)于中國(guó)而言，收購(gòu)不失為一個(gè)又快又好的途徑去提升其全球競(jìng)爭(zhēng)力。收購(gòu)這種策略也不僅發(fā)生在中國(guó)，全球各地都會(huì)有這種情況。而我們了解到，長(zhǎng)電收購(gòu)星科金朋不僅是在全球封裝測(cè)試產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略地位考慮或看中它的3DIC技術(shù)，可能更多地是想在其鍵合技術(shù)領(lǐng)域更進(jìn)一大步。

問：您認(rèn)為國(guó)內(nèi)的技術(shù)方面與國(guó)外有什么差距？

答：事實(shí)上，我并沒有感覺到有太大的差距。現(xiàn)在國(guó)內(nèi)很多技術(shù)團(tuán)隊(duì)都有很高的“海歸”成員比例，他們?cè)诩夹g(shù)方面已經(jīng)和國(guó)際接軌。比如說我這個(gè)星期拜訪的一位客戶，之前在比利時(shí)的IMEC工作過，現(xiàn)在在中國(guó)的一家公司也是核心的技術(shù)成員。從這里可以看出，中國(guó)與國(guó)外的技術(shù)差距近乎于零，并且歐洲和中國(guó)進(jìn)行技術(shù)交流都是很早就開始的事情了。

問：您目前半導(dǎo)體行業(yè)激烈的競(jìng)爭(zhēng)怎么看？如何凸顯貴公司產(chǎn)品的價(jià)值以獲得客戶的青睞？

答：不得不承認(rèn)，在中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)越來越激烈。企業(yè)必須有附加價(jià)值才能立足于不敗之地。據(jù)我觀察，這些競(jìng)爭(zhēng)的廠商多數(shù)是一些大企業(yè)，因?yàn)槭袌?chǎng)的需求會(huì)反映你的產(chǎn)品是否過硬，弱者將會(huì)被一一淘汰。另一方面，在競(jìng)爭(zhēng)者越來越少的情況下，產(chǎn)品使用者的選擇也相對(duì)減少，這種情況對(duì)中小企業(yè)而言反而是一種機(jī)遇。如果能把握住市場(chǎng)動(dòng)向、做好做精，也能占得相當(dāng)一部分的市場(chǎng)份額。FOGALE憑借量測(cè)和顯微觀測(cè)整合等一系列技術(shù)上的優(yōu)勢(shì)，一臺(tái)機(jī)器可以集成幾個(gè)功能；同時(shí)，我們也積極與各大研究平臺(tái)(如LETI、IMEC、SEMATECH、ST Micro…等)合作，共同參與克服新技術(shù)開發(fā)過程所遇到的量測(cè)困難，藉由這樣的經(jīng)驗(yàn)來支持客戶潛在的量測(cè)問題解決，客戶體驗(yàn)會(huì)得到大幅提升。我們一直致力于研發(fā)更好的產(chǎn)品、提高服務(wù)水平，綜合一切競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)為我們公司加分。

問：作為設(shè)備生產(chǎn)廠商，您認(rèn)為先進(jìn)封裝、MEMS以及3DIC的市場(chǎng)要多久會(huì)發(fā)展起來？

答：以先進(jìn)封裝的產(chǎn)業(yè)來說，市場(chǎng)應(yīng)該是從現(xiàn)在開始發(fā)展，到2018年會(huì)完善。在MEMS領(lǐng)域，情況會(huì)不太一樣，畢竟它的特殊性造成了其不同的產(chǎn)品，需要不同的制程，相互之間無法通用。MEMS雖然實(shí)際上每個(gè)產(chǎn)品的量相對(duì)比較小，但現(xiàn)在手持儀器發(fā)展越來越快，所以它的成長(zhǎng)曲線呈急劇增長(zhǎng)的態(tài)勢(shì)。3DIC的市場(chǎng)情況可能會(huì)更復(fù)雜一些，不確定性更高。據(jù)我們的市場(chǎng)分析表明它正在慢慢發(fā)展，不過“成長(zhǎng)”的過程中遇到的問題比較多，并且成本比較高。如果說到技術(shù)方面，可能在未來2～5年之間慢慢成熟起來，大規(guī)模地使用應(yīng)該會(huì)在2018～2020年?，F(xiàn)在主要看到的是客戶對(duì)產(chǎn)品的需求，而不是生產(chǎn)，畢竟需求決定市場(chǎng)，我們對(duì)明天充滿著信心。

謝謝副總裁在百忙中接受我們的采訪！