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    接觸式干涉儀定度誤差分析及調(diào)整

    2015-06-09 23:29:02李景堯
    計量技術(shù) 2015年1期
    關(guān)鍵詞:濾光片物鏡干涉儀

    王 東 張 露 王 玉 李景堯

    (中航工業(yè)沈陽黎明航空發(fā)動機(集團)有限責(zé)任公司,沈陽 110043)

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    接觸式干涉儀定度誤差分析及調(diào)整

    王 東 張 露 王 玉 李景堯

    (中航工業(yè)沈陽黎明航空發(fā)動機(集團)有限責(zé)任公司,沈陽 110043)

    本文從接觸式干涉儀測微原理出發(fā),運用幾何光學(xué)的基本原理,導(dǎo)出接觸式干涉儀分度值表達式,并對定分度值所產(chǎn)生的誤差進行了分析,同時對減少定度誤差提出了具體的調(diào)整方案。

    接觸式干涉儀;干涉條紋;定度誤差;濾光片波長;物鏡畸變

    0 引言

    定度誤差是在調(diào)定分度值大小時產(chǎn)生的一種綜合誤差,它是影響接觸式干涉儀測量精度的重要因素,其中包括波長偏差、估讀誤差、對線誤差及物鏡畸變誤差等。在實際使用接觸式干涉儀測量時,常常由于對定度誤差了解不夠及調(diào)定分度值的方法不當(dāng),產(chǎn)生較大測量誤差,從而得出錯誤的測量結(jié)論。如何消除和減少定度誤差來提高測量精度,本文詳細闡述了接觸式干涉儀條紋形成原理、分度值表達式的推導(dǎo)、定度誤差來源分析及消減方法,并對實際調(diào)整時應(yīng)注意的問題進行了總結(jié)。

    1 測微原理

    接觸式干涉儀是應(yīng)用光波干涉原理,將微小的長度變化轉(zhuǎn)為干涉條紋的移動,即通過讀出干涉條紋的移動量實現(xiàn)微小長度的測量。在光學(xué)原理上,儀器的干涉系統(tǒng)部分,可看作測桿反射鏡M經(jīng)分光面A在可調(diào)反射鏡P的反射面附近成一虛像M′,如圖1所示。

    圖1 光學(xué)結(jié)構(gòu)原理圖

    當(dāng)入射平行光束1、2、3、…射至平面P時,就分成二路,一路反射成為1P、2P、3P、…;另一路透射后,經(jīng)平面M′的反射,再穿過P面成為1M、2M、3M、…。各組光束滿足相干條件,在P表面上將產(chǎn)生干涉條紋,如圖2所示。

    圖2 干涉測微原理圖

    S1表示1P與1M兩光束間沒有光程差(即S1=0),它處在二平面的交線位置上,在整個相交線上都沒有光程差。如果不考慮相位突變等其它因素,這條交線應(yīng)是直的亮條紋。在相交線的兩側(cè),隨著光程差的變化,依次出現(xiàn)相互間隔的暗條紋和亮條紋,即當(dāng)S2=l /2時,2P與2M光程差為l ;當(dāng)S3=l 時,2P與2M′光程差為2l ,交線都應(yīng)為亮條紋。

    如圖1所示,若平面M向上移動微小距離Δ,即相當(dāng)于M′向右移動距離Δ,原光束2、3、…的光程差變小,當(dāng)移動距離Δ為l /2時,相當(dāng)于干涉帶移動了一個條紋間距。若條紋間距為l,當(dāng)條紋移動一個l值時,表示M面移動了l /2。

    在干涉帶側(cè)面放一個標準刻度尺,使兩條紋的間距對準刻度尺上n1格,如圖2。若定義i為分度值,其含義是指干涉帶在刻尺上移動1格,代表M平面上下移動距離為i,則有i·n1=l /2,計算得

    i=l /(2n1)

    (1)

    在定分度值時,為了適應(yīng)不同的測量范圍,以及定值調(diào)整更加準確,應(yīng)選取多條干涉帶所包括的刻度尺格數(shù)進行調(diào)整和計算,以獲得最佳的平均效應(yīng)。設(shè)選取k條干涉條紋間距所包括的刻度尺格數(shù)為n定,則一個條紋間距所包括的刻度尺格數(shù)

    n1=n定/k

    (2)

    將式(2)代入式(1)得

    i=kl /(2n定)

    (3)

    另外,當(dāng)平面P相對于平面M′繞S1點旋轉(zhuǎn)時,二平面間的夾角將發(fā)生變化。當(dāng)角度減小時,條紋間距l(xiāng)將增大;當(dāng)角度增大時,條紋間距l(xiāng)將減小。由于l值的變化,使干涉條紋間距所包括的刻尺格數(shù)發(fā)生變化,由式(3)可知:i值大小可通過平面P與平面M′的夾角變化進行調(diào)整。一般推薦使用i及k值如表1所示。

    表1 分度值i和條紋間隔數(shù)k對應(yīng)表

    2 接觸式干涉儀定度誤差分析

    接觸式干涉儀的測量值L,是以干涉條紋在刻度尺上移過的格數(shù)n與i的乘積獲得的。因此,凡是造成n與i值誤差的因素,都要予以考慮。根據(jù)式(3)可知,分度值i的誤差是由波長的偏差Δl 、格數(shù)估讀誤差Δn定及物鏡畸變所引入的誤差組成,各項誤差具體分析如下。

    2.1 濾光片波長的偏差

    1)波長偏差產(chǎn)生的原因

    波長偏差是指計算分度值時,所采用的波長值與干涉條紋實際波長值之間的偏差。隨著時間的遷移,周圍環(huán)境的影響,透射光中心波長將產(chǎn)生變化,即形成波長漂移。有些干涉儀因使用場所潮濕,通風(fēng)恒溫條件差,會造成較大的波長漂移,有的甚至超過40nm,所以如長期不對濾光片的波長值進行復(fù)檢,將會引入較大的測量誤差。

    2)濾光片波長的標定方法

    濾光片波長值的準確與否直接影響接觸式干涉儀的測量精度。接觸式干涉儀示值超差,主要原因是波長標定值不準確引起的,必須重新標定濾光片的波長。標定濾光片波長的方法很多,下面介紹用量塊校準濾光片波長的方法。

    從物理光學(xué)知道,干涉儀一條干涉帶寬為l /2。如果讓一條干涉帶占干涉儀兩格刻度寬,則每一刻度值為l /4?,F(xiàn)將被檢定的濾光片放在干涉儀燈源下,調(diào)整干涉帶帶寬,使每一條干涉帶寬度占兩格刻度,均勻分布在整個刻度范圍內(nèi),由1.00、1.01、1.02、1.03、1.04、1.05二等量塊組成5對,即(1.01、1.00)、(1.02、1.01)、(1.03、1.02)、(1.04、1.03)、(1.05、1.04)。以1.00mm量塊為基準對零,然后用1.01mm量塊測量,測得格值為n1,再以相同的方法求出其它4對量塊所測得的格值n2、n3、n4、n5。

    因:n1·l /4=(1.01-1.00)

    n2·l /4=(1.02-1.01)

    n3·l /4=(1.03-1.02)

    n4·l /4=(1.04-1.03)

    n5·l /4=(1.05-1.04)

    求和得

    (4)

    按上述方法測得l 值后,在進行測量或使用時,i值應(yīng)按新標定的濾光片波長值進行調(diào)整。

    2.2 定分度值時估讀格數(shù)的誤差

    1)估讀格數(shù)的誤差

    測量時,以黑色條紋為指標線,與分劃板上刻線對準并估讀。在測帽接觸基準量塊對零時,一般使指標線調(diào)到對準零刻線,而在接觸被測物體測量時,往往需要估讀小數(shù)。前者引入對準誤差而后者將產(chǎn)生估讀誤差,誤差大約為0.007μm和0.02μm。

    2)減少估讀格數(shù)誤差的方法

    定分度值時,所認定的k個單色干涉條紋重疊在分劃板刻線的n定格上,也存在對準誤差和估讀誤差問題,為了減少此項誤差對測量精度的影響,可以采用以下措施:

    a.利用較低級的單色干涉條紋來定分度值對分劃板上的刻線,因為這些顏色較深的條紋便于提高操作人員的對準和估讀精度。

    b.根據(jù)具體的波長,選定適宜的條紋數(shù)k,使格數(shù)n定為一整數(shù),以減小Δn定。

    例如:干涉濾光片的l =0.540μm,分度值i采用0.1μm,從表1中知k取16,則

    即干涉帶的16個間隔調(diào)整到與分劃板上43.2格首尾相合,并且條紋與刻線保持平行。

    在上例中n含有小數(shù),估計小數(shù)時誤差較大。從精度分析中知,若根據(jù)具體的波長值,選定適當(dāng)?shù)膋值而使n為整數(shù),就可以把對準小數(shù)的估讀誤差降低為對準誤差。若把上例的k值選為20,則

    n定即為整數(shù),在調(diào)整中使干涉帶首尾二次對準刻劃線,并且可以在k=10的中間位置校對n定=27,這樣可提高儀器的定分度值的精度。

    2.3 物鏡畸變引入的誤差

    1)物鏡畸變誤差分析

    按光學(xué)設(shè)計要求,物鏡的最大畸變量V為0.17%。以n定=50,i=0.2μm,計算測量最大畸變誤差為δ畸=Vni=0.017μm。

    在用單色光定分度值時,也會產(chǎn)生條紋的畸變。偏差δ畸在計算中是以線性關(guān)系分配給分度值i的,但實際上物鏡畸變量和與光軸的距離h是成3次方關(guān)系分布的,即V∝h3,物鏡畸變量的影響可由圖3的V—h曲線說明,在視場邊緣畸變較大,而在小于1/2視場內(nèi)畸變較小。

    圖3 光軸距離與物鏡畸變量的曲線圖

    2)選定n定格數(shù)的方法

    當(dāng)定度格數(shù)n定選取在分劃板上大約±25格左右時,在±25格測量范圍內(nèi),直線變化量與物鏡畸變量接近,測量誤差較?。坏跍y量±50格附近的位置時,則邊緣畸變大大超過定分度值中所產(chǎn)生的量,而相互抵消的量值極少。

    δ畸=AA′-AA1=0.017-0.003=0.014μm

    直線②是以0~+40格來定分度值的抵消線的,適用于量程在40格以內(nèi)的范圍。直線③是以0~+50格來定分度值的抵消線的,雖然在n定=50的測量點上δ畸接近于零,但在量程較小的位置上誤差較大,對檢定高等級量塊時不宜采用。高等級量塊檢定中出現(xiàn)示值范圍在30格以內(nèi)較多,應(yīng)在±22.5格范圍區(qū)分來定分度值。

    特殊需要時,應(yīng)根據(jù)具體的測量范圍對分度值進行調(diào)整,可以提高檢測精度。

    3 結(jié)束語

    通過對接觸式干涉儀光波干涉原理及測微原理分析,并經(jīng)實踐證明,定度誤差是影響接觸式干涉儀測量精度的重要因素。在調(diào)整分度值大小時,首先要保證濾光片波長值的準確,定期進行檢定并加以修正;其次,要根據(jù)具體的波長值,選定適當(dāng)?shù)膋值而使n為整數(shù),把對準小數(shù)的估讀誤差降低為對準誤差;最后,應(yīng)根據(jù)具體的使用范圍對分度值進行調(diào)整,以減小物鏡畸變引入的誤差。

    以上闡述的觀點和方法是我們實際工作中的經(jīng)驗總結(jié)和技術(shù)歸納,希望對大家能夠起到參考和借鑒作用。

    [1] 李春堂,戈兆祥,余慶寰.光學(xué)計和接觸式干涉儀.機械工業(yè)出版社,1981

    [2] 張玉文,陳照聚.幾何量儀檢定/校準技術(shù).中國計量出版社,2004

    [3] 高素珍,鄔國耀.接觸式干涉儀濾光片波長的一種檢測方法.計量技術(shù),1988(03)

    [4] 邱圣虎.接觸式干涉儀使用中應(yīng)注意的問題.中國計量,2011(11)

    [5] 何頻,郭連湘,主編.計量儀器與檢測.化學(xué)工業(yè)出版社,2006

    10.3969/j.issn.1000-0771.2015.1.11

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