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    兩項(xiàng)電子氣體國(guó)標(biāo)頒布
    
                
    2015-03-24 15:29:51
    
                
    低溫與特氣 2015年1期 
    關(guān)鍵詞：這兩項(xiàng)工業(yè)用標(biāo)準(zhǔn)制
    
                    
    2015年元旦前夕，國(guó)家質(zhì)檢總局、國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)發(fā)布公告，《電子工業(yè)用氣體高純氯》和《電子工業(yè)用氣體氯化氫》正式頒布。
    參與這兩項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)制修訂工作的中昊光明化工研究設(shè)計(jì)院有限公司相關(guān)人士表示，高純氯和氯化氫是電子工業(yè)的重要原材料，它們主要在半導(dǎo)體制備過(guò)程中用作刻蝕劑和清洗劑等。這兩項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的制修訂對(duì)于規(guī)范高純氯和氯化氫產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和使用，提升行業(yè)技術(shù)水平都將起到有力的促進(jìn)作用。
    

    
                        
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