中國集成電路高端裝備自主化取得新突破

工業(yè)和信息化部近日，由北方微電子公司自主研發(fā)的12英寸28納米等離子硅刻蝕機，已經(jīng)全面通過中芯國際集成電路制造有限公司的生產(chǎn)線全流程工藝驗證，并獲得客戶訂單。這標志著中國集成電路高端裝備自主化取得了新的突破，并縮短了與國際一流設備的差距。

等離子刻蝕機是在硅片表面實現(xiàn)三維精細加工的高端設備，是集成電路制造中最核心的裝備之一。當前，國際上進入量產(chǎn)的最高水平是28納米技術，相比40納米技術，可使集成電路的功耗更小、速度更快、成本更低，主要應用于CPU、存儲器、移動通信、數(shù)字音視頻等高端芯片產(chǎn)品。目前，國際上僅美國和日本各有一家企業(yè)能夠提供滿足28納米生產(chǎn)線的成熟設備。

由于技術門檻高，高端刻蝕設備成為長期制約我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸。目前，我國大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線（8-12英寸）的芯片制造設備大量依賴進口，不僅嚴重影響我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展，也對我國電子信息安全造成重大隱患。

北方微電子28納米等離子硅刻蝕機通過自主創(chuàng)新，突破了精密等離子體控制、硅片表面溫度精確控制、高氣流均勻控制等多項關鍵技術，以全新的硬件設計達到了高速率、高均勻性、低損傷和低缺陷、精確尺寸和形貌控制、低顆粒污染等要求，多項關鍵指標達到國際先進水平。28納米刻蝕技術的突破，打破了國外對28納米集成電路生產(chǎn)設備的技術封鎖和市場壟斷，縮短了與國際先進水平的差距。