光學面形檢測儀

該儀器采用相移式橫向剪切干涉技術(shù)，是一種數(shù)字波面測試技術(shù).其原理是將相干兩個剪切波面中的一個波面作階梯式或連續(xù)變化，從而使干涉場中的干涉條紋作階梯式或連續(xù)式掃描，用CCD相機獲取干涉場中各點的光強，利用圖像中各點光強的變化關(guān)系，求出被測波面的位相信息或波面面形.由于橫向剪切干涉技術(shù)是利用被測波面自身實現(xiàn)干涉的，不需要標準的參考面，測試裝置簡單、測量速度快、測量精度高，且可以實時對剪切干涉圖進行采集與處理，得到被測原始波面的信息.

由西安工業(yè)大學研制的該測量儀器適合測量非球面度不高的光學非球面面形，如拋物面、橢球面、雙曲面等二次曲面或其他高次曲面的非球面鏡，克服了過去用刀口陰影檢驗不能檢驗高次曲面、只能定性不能定量及被檢工件中部有檢驗盲區(qū)的不足，是國內(nèi)開發(fā)的首臺非球面面形檢測儀器.其主要技術(shù)指標：①面形檢測精度0.1μm；②測量范圍，頂點曲率半徑凹面R：0～360mm，凸面R：0～100mm；③工件直徑：凹面0～190mm；凸面0～50mm.同時還可應(yīng)用于光學非球面元件生產(chǎn)線上快速測量非球面模具及非球面透鏡面形的重構(gòu).

該測量儀器解決了部分光學非球面面形測量問題，填補了國內(nèi)在非球面測量儀器領(lǐng)域的空白，為促進光學非球面的發(fā)展提供了保證，對國內(nèi)整個光電技術(shù)的發(fā)展起著積極的推動作用.光學非球面測試儀在兵器工業(yè)部205所已成功應(yīng)用于實際測量，同時還可以應(yīng)用于光學、光電儀器的設(shè)計、加工和研究等領(lǐng)域.