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    GaN基LED光柵結(jié)構(gòu)的特征參量對出光效率的影響

    2013-10-27 02:28:38牛萍娟于莉媛王景祥
    天津工業(yè)大學學報 2013年5期
    關鍵詞:深度效率結(jié)構(gòu)

    韓 龍,牛萍娟,于莉媛,王景祥

    (1.天津工業(yè)大學電子與信息工程學院,天津 300387;2.天津工業(yè)大學 電氣工程與自動化學院,天津 300387)

    發(fā)光二極管(LED)作為一種新型的半導體發(fā)光器件,廣泛應用于液晶顯示器的背光照明、交通信號燈、汽車車燈、室內(nèi)照明等各個領域.但是目前仍然存在著發(fā)光效率較低的問題,為了進一步提高LED芯片的出光效率,一般采取改變芯片的幾何外形、表面粗化技術(shù)和加反射鏡的方法、倒裝焊技術(shù)以及引入光柵結(jié)構(gòu)等方法[1].在LED里面引入光柵結(jié)構(gòu)的研究因其成本低、重復性好和可大面積制造而獲得了較為廣泛的關注.其中,一維光柵是較為普遍的結(jié)構(gòu),但因其結(jié)構(gòu)上的局限性,出光效率依舊受到限制.具有雙光柵結(jié)構(gòu)的高出光效率LED,增加了反射光柵并與金屬反射層結(jié)合,此結(jié)構(gòu)可以有效地突破傳統(tǒng)LED結(jié)構(gòu)的限制,采用雙光柵結(jié)構(gòu)可以有效地提取因全反射而被限制在傳統(tǒng)LED結(jié)構(gòu)中的光[3-4].本文對這種具有雙光柵結(jié)構(gòu)的LED芯片進行設計,主要是針對2個光柵結(jié)構(gòu)的高度、周期、占空比等具體參數(shù),利用時域有限差分(Finite Difference Time Domain,FDTD)方法分別對ITO層透射型光柵和金屬反射層反射型光柵的結(jié)構(gòu)參數(shù)對光效率的影響進行模擬和分析,實現(xiàn)LED出光效率的大幅度提高.

    1 LED雙光柵結(jié)構(gòu)模型

    傳統(tǒng)的GaN基LED由ITO層、外延層(p型GaN,有源層,n型GaN)、金屬反射層及藍寶石襯底組成.在傳統(tǒng)器件結(jié)構(gòu)的基礎上,在銦錫氧化層(ITO)電極上刻蝕一個透射光柵[5-6].同時,在GaN層的下表面刻蝕一個反射光柵作為反射鏡.由于提取效率的提高主要取決于光柵對反射光的多次衍射,因此設計時在GaN層和藍寶石襯底之間添加了金屬層作為反射鏡[7].于是輻射光可以由反射光柵反射到透射光柵上,然后被多次衍射.由于反射光柵減小了受限光的入射角,因此可有效地提取受限光,提高出光效率[8-9].結(jié)構(gòu)如圖1所示.

    圖1 雙光柵GaN基LED結(jié)構(gòu)Fig.1 Double grating GaN-based LED structure

    2 光柵結(jié)構(gòu)的模擬仿真

    2.1 理論分析

    FDTD方法是求解麥克斯韋微分方程的直接時域方法,該方法是直接由麥克斯韋方程對電磁場進行計算模擬的數(shù)值分析方法,由麥克斯韋方程組可以推導出:

    式中:ε(r→)、σ(r→)和 μ(r→)分別為介質(zhì)的介電常數(shù)、電導率和磁導系數(shù),均為位置的函數(shù).電場和磁場分量在空間和時間上交替排布,使麥克斯韋旋度方程離散后構(gòu)成顯式差分方程,并在時間軸上逐步推進地求解空間電磁場.因此,由給定相應的電磁場問題的初始值和邊界條件,利用FDTD方法就可以逐步推進的求解空間電磁場.

    本文采用的能流記錄用于記錄某一頻率下在指定時間內(nèi)通過指定截面上每一點的時間平均能流大小.表達式為:

    式中:N表示記錄的總的時間步數(shù).

    2.2 透射型光柵透射率的仿真模擬

    首先應用FDTD方法模擬在ITO電極上刻蝕的透射型光柵透射率,獲得最優(yōu)化的透射型光柵結(jié)構(gòu)參數(shù).在模擬過程中,選擇光柵寬度為0.3 a、0.4 a、0.5 a、0.6 a(a為晶格常數(shù)),在光垂直出射時,不同的占空比的條型光柵的全級數(shù)(-5級~5級)的透射率與刻蝕深度的關系曲線如圖2所示.

    圖2 一維條形光柵透射率隨刻蝕深度的變化Fig.2 Variety of strip gratting diifraction efficiency with different etching depth

    由圖2可知,不同的光柵寬度條件下,透射率最大的刻蝕深度有所不同,其中條形光柵的結(jié)構(gòu)參數(shù)為:占空比f為0.3,刻蝕深度為0.2 a時;占空比f為0.4,刻蝕深度為0.45 a時;占空比f為0.6,刻蝕深度為0.65 a時光透射率最大.

    由于LED發(fā)出的光為全角度光,本文對不同角度出射的光的衍射效率進行模擬,選擇占空比為0.4的條型光柵,透射率最大的刻蝕深度為0.45 a左右,計算不同入射角的光從條型光柵出射的全級數(shù)(-5級~5級)的衍射效率,如圖3所示.

    圖3 一維矩形光柵透射率隨入射角α的變化(f=0.4)Fig.3 Variety of strip grating diffraction efficiency with different angles(f=0.4).

    3 雙光柵結(jié)構(gòu)LED模擬

    根據(jù)以上得到的針對透射型光柵的結(jié)構(gòu)參數(shù)對LED透射率的變化的影響,固定透射型光柵結(jié)構(gòu)參數(shù),針對反射型光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)的變化對LED出光效率的影響展開分析.

    3.1 LED模型的建立

    本文采用EastFDTD軟件對具有雙光柵結(jié)構(gòu)的LED的出光進行模擬.首先應用EastFDTD軟件建立一個LED二維結(jié)構(gòu)的仿真模型.在本文中需要用到藍寶石襯底金屬、GaN、ITO材料,均為無色散電介質(zhì)材料,具體參數(shù)設置如表1所示.

    表1 材料參數(shù)設置Tab.1 Material parameters settings

    調(diào)整各層的位置,建立完整的結(jié)構(gòu).分別在ITO層表面和GaN層下表面加入光柵.在GaN層設置一個脈沖型面光源,出射方向為Y軸正方向.實驗中使用能流記錄器來記錄出射能量,設置記錄器的參數(shù).主要討論增加透射光柵和反射光柵,以及光柵高度、光柵周期和占空比等參數(shù)對出光效率的影響,并對結(jié)果進行了比較分析.

    3.2 反射型光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)對LED出光效率的影響

    將反射型光柵的固定參數(shù)設置成周期為400 nm、占空比為0.5,得到各光柵高度的出射能流.反射型光柵高度與出光效率之間的關系如圖4所示.

    圖4 光柵高度與出光效率之間的關系Fig.4 Relationship between grating height and light extraction efficiency

    由圖4可見,當光柵高度很小時,出光效率比較低;隨著光柵高度的增大,光柵的散射作用開始增強;當光柵高度繼續(xù)增大時,材料對光的吸收損耗也會增大,導致出光效率又開始下降.最終光柵高度大約在100~120 nm時,得到的出光效率最大.

    將光柵的固定參數(shù)設置成高度為100 nm,占空比為0.5.改變光柵周期的大小,得到各光柵周期的出射能流.光柵周期與出光效率之間的關系如圖5所示.

    圖5 光柵周期與出光效率之間的關系Fig.5 Relationship between grating period and light extraction efficiency

    由圖5可見,出光效率的最大值出現(xiàn)在300~400 nm之間,出光效率達到最大后,繼續(xù)增大周期,出光效率反而略有下降,證明發(fā)生光柵衍射時,最理想周期的大小應該與光在GaN或ITO中的波長相比擬.當周期遠小于光的波長時,不利于光的衍射;當周期遠大于光的波長時,將有更多光發(fā)生全反射,同樣不利于光的出射.

    光柵脊與光柵周期的比值,即為占空比.實驗表明,光柵的占空比會對出光效率造成一定的影響.將光柵的固定參數(shù)設置成高度為100 nm,周期為400 nm,分別對占空比為0.4、0.5、0.6、0.7的4種情況進行仿真,發(fā)現(xiàn)當占空比約為0.6時出光效率最大.占空比與出光效率之間的關系如圖6所示.

    圖6 占空比與出光效率之間的關系Fig.6 Relationship between duty cycle and light extraction efficiency

    由圖6可以看出,由于材料間不同的折射率以及光柵結(jié)構(gòu)引起的衍射現(xiàn)象,出光效率會隨著占空比的增大先升高后下降,當占空比大約為0.6時出光效率達到最大.

    4 采用雙光柵結(jié)構(gòu)的最優(yōu)化設計

    經(jīng)過對比分析,從理論上得到了最佳光柵高度、周期和占空比的設計參量,即透射型光柵占空比為0.4,刻蝕深度為0.45倍晶格常數(shù)時,反射型光柵高度大約在100~120 nm,光柵周期在300~400 nm之間,占空比大約為0.6時,得到出光效率最大,由此實現(xiàn)對光柵進行優(yōu)化設計的目的.圖7所示為傳統(tǒng)LED和雙光柵結(jié)構(gòu)LED最優(yōu)化設計的出射能流圖的對比,圖7(a)為傳統(tǒng)GaN基LED出射能流隨光柵位置變化曲線;圖7(b)為雙光柵結(jié)構(gòu)LED最優(yōu)化設計的出射能流隨光柵位置變化曲線.

    圖7 出射能流隨光柵位置變化曲線Fig.7 Curve of outgoing energy flux with grating position

    由圖7可知,分別增加透射光柵和反射光柵后,反射光被多次衍射,從而出光效率得到大幅度提高.經(jīng)過計算,增加雙光柵結(jié)構(gòu)后最優(yōu)化設計的出光效率大約提高了35.8%.

    5 結(jié)論

    本文針對全反射和材料的吸收導致的GaN基發(fā)光二極管出光效率低的問題,建立了雙光柵結(jié)構(gòu)LED模型,并利用FDTD計算方法進行模擬仿真,分析了透射型和反射型2個光柵的主要特征參量對LED出光效率的影響.通過模擬得到透射型光柵的參數(shù)為占空比為0.4,刻蝕深度為0.45 a,反射型光柵的參數(shù)為高度大約在100~120 nm,光柵周期在300~400 nm之間,占空比大約為0.6時光透射率最大,出光效率比傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)LED出光效率大約提高了35.8%.本文得到的模擬結(jié)果豐富了提高GaN基LED出光效率的方法,對LED的器件結(jié)構(gòu)設計及工藝具有重要的指導意義.

    [1]王亞偉,劉仁杰,金驥,等.基于雙光柵結(jié)構(gòu)下特征參量與GaN基LED光提取效率的動態(tài)關系[J].光子學報,2010,(7):1208-1212.

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