國防科大創(chuàng)造超精加工奇跡：亞納米成為“中國精度”

1納米是一根頭發(fā)絲的8萬分之一，而小于1納米則被稱為亞納米——這是國防科大精密工程創(chuàng)新團隊在超精密光學(xué)零件加工中創(chuàng)造的“中國精度”，有力支撐了“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”等3個國家重大科技專項創(chuàng)新突破，3年來為國家創(chuàng)造直接經(jīng)濟效益2億多元。近日，該校研制兩種超精拋光裝備通過國家重大科技專項驗收。

超精密加工是以高精度為目標(biāo)的先進制造技術(shù)，納米精度被譽為超精密加工技術(shù)皇冠上的明珠，西方發(fā)達國家將其視為戰(zhàn)略資源，嚴(yán)格限制出口。

面對我國光學(xué)零件制造水平的窘境，國防科大精密工程創(chuàng)新團隊在李圣怡教授率領(lǐng)下，跳過一、二代光學(xué)零件制造加工技術(shù)，直接瞄準(zhǔn)基于可控柔體制造的第三代光學(xué)加工方法開展攻關(guān)，在國內(nèi)首次研制出擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的磁流變、離子束兩種超精拋光裝備，創(chuàng)造了我國光學(xué)零件加工亞納米的“中國精度”奇跡，使我國光學(xué)自動化加工技術(shù)及工藝一躍進入世界先進水平，成為繼美、德之后第三個掌握高精度光學(xué)零件制造加工技術(shù)的國家，也是目前世界上唯一同時具有磁流變和離子束拋光裝備研發(fā)能力的國家。

近3年來，該團隊與中科院、中國航天科技集團、中國航空工業(yè)集團等合作，推動我國空間光學(xué)、高端裝備制造發(fā)展，自主研制出兩大類7個型號的磁流變和離子束拋光機床，為“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”“高分辨率對地觀測系統(tǒng)”等3個國家重大科技專項提供技術(shù)保障和裝備支撐，解決了一系列制約其創(chuàng)新發(fā)展的技術(shù)難題。

團隊先后獲得科技部重大科技專項頒發(fā)的“突出貢獻獎”和“突出成果獎”。