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    基于SOI懸浮波導(dǎo)的中紅外熱光調(diào)制器的分析

    2013-06-07 10:01:55檀亞松郝寅雷楊建義江曉清
    激光與紅外 2013年11期
    關(guān)鍵詞:方孔調(diào)制器波導(dǎo)

    檀亞松,余 輝,郝寅雷,楊建義,江曉清

    基于SOI懸浮波導(dǎo)的中紅外熱光調(diào)制器的分析

    檀亞松,余 輝,郝寅雷,楊建義,江曉清

    (浙江大學(xué)信息與電子工程學(xué)系,浙江杭州310027)

    設(shè)計了一種基于SOI(Silicon-On-Insulator)單模中紅外低損耗懸浮脊波導(dǎo)的MMI-MZI型熱光調(diào)制器。對單模懸浮脊波導(dǎo)和基于懸浮波導(dǎo)的調(diào)制器的參數(shù)進行了分析,并給出了工藝實現(xiàn)方法。在波長5.4μm,采用3D-BPM(Beam Propagation Method)方法對熱光調(diào)制器的模型進行了傳輸特性的仿真。結(jié)果表明在加熱電極長度為3 mm時,熱光作用區(qū)通過很小的溫度變化ΔT=5.3℃時,可以實現(xiàn)消光比為-40 dB。該中紅外器件尺寸大,設(shè)計和制作容差大,在中紅外硅基光子學(xué)有著重要的應(yīng)用。

    中紅外;懸浮波導(dǎo);熱光效應(yīng);調(diào)制器;集成光學(xué)

    1 引 言

    由于中紅外波段在眾多領(lǐng)域有著潛在的應(yīng)用,如化學(xué)-生物-物理傳感、醫(yī)藥、自由空間光通訊、熱成像和紅外軍事對抗等。中紅外(MIR)硅基光子學(xué)在過去的幾年里吸引著越來越多的關(guān)注[1-2],其最新進展有:基于藍(lán)寶石上硅(SOS)材料的工作波長為4.50μm、5.08μm、5.5μm的中紅外光波導(dǎo)器件[3-5],傳輸損耗分別為4.3 dB/cm、1.9 dB/cm、4 dB/cm;基于SOI材料的工作波長為3.39μm、3.73μm、3.8μm的中紅外脊波導(dǎo)[6-7],傳輸損耗分別為0.6-0.7 dB/cm、1.5±0.2 dB/cm、1.8±0.2 dB/cm;硅基工作波長為10.6μm的多模干涉功分器[8];基于SOI材料的懸浮脊波導(dǎo)[9],在工作波長2.75μm的傳輸損耗為3.0±0.7dB/cm。

    迄今為止,絕緣體上硅(SOI)材料已被廣泛地應(yīng)用在光電子集成電路(PIC)和光電集成電路(OE-ICs)中。然而SOI波導(dǎo)的工作波長范圍受到埋氧層(BOX)的透明窗口(低于2.6μm、3.4μm附近)的限制。為了克服這一限制,藍(lán)寶石上硅(SOS)材料作為一種替代方案被用于中紅外波導(dǎo)器件的制作。然而,藍(lán)寶石襯底在大于6.0μm的波段也有大的損耗。此外,SOS晶圓有更多的缺陷,制造流程復(fù)雜且比商用SOI更昂貴。而基于SOI材料的懸浮脊波導(dǎo)[9]通過氫氟酸溶液腐蝕掉波導(dǎo)正下方的埋氧層,消除了埋氧層的影響,使得SOI材料低損耗工作波長覆蓋到中紅外和遠(yuǎn)紅外波段(2.2~8.0μm和25~200μm,即硅的低吸收損耗波段)。

    中紅外調(diào)制器在中紅外自由空間光通信、中紅外光學(xué)傳感、和中紅外軍事對抗領(lǐng)域有著至關(guān)重要的應(yīng)用。本文介紹了基于SOI懸浮波導(dǎo)的工作波長為5.4μm的中紅外多模干涉馬赫-曾德型(MMI-MZI)熱光調(diào)制器的設(shè)計,對器件的結(jié)構(gòu)、參數(shù)進行了數(shù)值分析和軟件模擬,分析了硅的中紅外熱光調(diào)制效應(yīng),給出了工藝實現(xiàn)方法。

    2 工作原理

    SOI多模干涉馬赫-曾德型調(diào)制器是一個基于SOI材料的脊型波導(dǎo)制作成的對稱型馬赫-曾德干涉儀,它包含了一個1×2多模干涉分束器、傳輸臂、加熱電極、一個1×2多模干涉合束器,如圖1所示。

    圖1 MMI-MZI型熱光調(diào)制器的結(jié)構(gòu)示意圖Fig.1 Schematic configuration of MMI-MZI thermo-opticmodulator

    馬赫-曾德型調(diào)制器的基本工作原理:輸入的光場經(jīng)過3 dB分束器分束后在兩臂中傳輸,相移臂上的加熱電極通過硅的熱光效應(yīng)改變光束的傳播常數(shù),使得輸入到合束器的兩束光之間有相位差,當(dāng)兩束光波在合束器中發(fā)生相互干涉時,不同的相位差就會干涉輸出不同的光功率。通過控制相位差就能實現(xiàn)強度調(diào)制。

    由式(1)可得實現(xiàn)π相移所需的溫度變化為:

    假設(shè)輸入光功率被MMI均勻分束,當(dāng)兩臂相位差為Δφ時,調(diào)制器的輸出功率為:

    由式(1)、式(2)、式(3)可知,對波導(dǎo)進行適當(dāng)?shù)臏囟日{(diào)節(jié),就能達到強度調(diào)制的目的。

    3 器件的設(shè)計

    根據(jù)脊波導(dǎo)的單模條件[11],設(shè)計中紅外λ=5.4μm單模脊波導(dǎo),W=4μm、H=5μm、h=2.5μm。圖2(b)是對應(yīng)脊波導(dǎo)的模場分布,波導(dǎo)具有良好的單模特性。選擇較大的刻蝕深度是為了增強對光場的有效限制,從而減少波導(dǎo)的彎曲損耗。

    圖2 脊波導(dǎo)截面示意圖及模場分布仿真圖Fig.2 Cross-sectional schematic configuration and computed mode profile of rib waveguide

    如圖3所示,在脊波導(dǎo)兩側(cè)開出與脊波導(dǎo)平行的周期排列的方孔,通過方孔掏去脊波導(dǎo)正下方高損耗的埋氧層,從而實現(xiàn)中紅外懸浮光波導(dǎo)。具體實施方案如下:首先在SOI片上光刻刻蝕出脊波導(dǎo)(如圖3(a)),然后在脊波導(dǎo)的側(cè)邊光刻出周期排列的方孔(如圖3(b)),將方孔處深刻蝕到埋氧層(如圖3(c)),最終將波導(dǎo)器件放入氫氟酸溶液中浸泡,使得氫氟酸溶液通過小孔掏空脊波導(dǎo)正下方的埋氧層(如圖3(d))。

    圖3 懸浮光波導(dǎo)的制作方法(1-硅、2-二氧化硅、3-方孔,4空氣,W1=W2=L1=L2=4μm)Fig.3 Realization method of suspended rib waveguide(1-silicon,2-silica,3-square hole,W1=W2=L1=L2=4μm)

    根據(jù)耦合模理論[12],周期性方孔對波導(dǎo)模式的影響可以通過布拉格光柵耦合系數(shù)κ來表征:

    其中,E為電場強度;k0為真空中的傳播常數(shù);Δneff為方孔引起的有效折射率的變化。取W2=L1=L2=4μm,對于圖2所示脊波導(dǎo)結(jié)構(gòu),利用有限元法仿真得到當(dāng)W1=4μm時,κ趨近于0。

    1×2多模干涉分束、合束器的設(shè)計利用了多模干涉型器件的自映像原理[13],在多模波導(dǎo)中,由于多個導(dǎo)模相互干涉使得沿傳播方向會周期性的出現(xiàn)輸入場的一個或多個映像。對圖2所示脊波導(dǎo)的刻蝕深度,取多模波導(dǎo)寬度為30μm,用BPM算法仿真得多模波導(dǎo)長度為313μm時可以得到兩個輸出映像,如圖4所示。

    圖4 1×2多模干涉功分器的傳輸特性仿真Fig.4 Transmission characteristics simulation of1×2multimode interferometer

    最終器件的示意圖如圖5所示,其實現(xiàn)過程為:首先在SOI片上刻蝕出器件的波導(dǎo)結(jié)構(gòu);然后在波導(dǎo)的兩側(cè)邊開出小孔、兩傳輸臂間隔中央開矩形長孔,將小孔和長孔處刻蝕到埋氧層;將SOI片放入氫氟酸溶液中浸泡,使得氫氟酸溶液通過小孔掏空脊波導(dǎo)正下方的埋氧層從而形成懸浮波導(dǎo),而長孔出形成的凹槽將作為隔熱槽,將減少兩臂之間的熱串?dāng)_;最后在調(diào)整臂的側(cè)邊利用熱蒸發(fā)的方法鍍上鋁電極。

    圖5 基于SOI的單模中紅外低損耗懸浮脊波導(dǎo)的MMI-MZI型熱光調(diào)制器Fig.5 MMI-MZI thermo-opticmodulator based on SOI(Silicon-On-Insulator)single-modemid-infrared low-loss suspended rib waveguide

    4 調(diào)制特性的BPM仿真

    采用3D-BPM法對上述熱光調(diào)制器的傳輸特性進行仿真,如圖6所示,可以很直觀地看出在未加調(diào)制和發(fā)生π相移調(diào)制這兩這情況行下光場的傳輸情況。

    圖6 熱光調(diào)制器的傳輸特性Fig.6 Transmission characteristics simulation of the thermo-optic modulator

    圖7 輸出功率隨調(diào)制臂溫度變化而變化的特征曲線Fig.7 Transmission dependence on temperature variation of the thermo-optic area

    對調(diào)制器的熱光效應(yīng)進行仿真得到如圖7所示輸出功率隨調(diào)制臂溫度變化而變化的特征曲線,相移臂L=3000μm時,當(dāng)ΔT=5.3℃時,相移臂發(fā)生π相移,輸出功率最小,最大消光比可達-40 dB。

    5 結(jié) 論

    本文介紹了基于SOI懸浮波導(dǎo)的工作波長為5.4μm的中紅外多模干涉馬赫-曾德型(MMIMZI)熱光調(diào)制器的設(shè)計和制作方法。詳細(xì)說明了中紅外懸浮波導(dǎo)的制作方法,理論仿真了器件的參數(shù),BPM仿真結(jié)果表明在熱光作用區(qū)ΔT=5.3 K時,最大消光比可達40 dB。該種波導(dǎo)和器件的設(shè)計和分析方法同樣適用于中紅外2.2~8μm波段。器件結(jié)構(gòu)簡單,工藝容差大,易于實現(xiàn)。

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    Analysis ofm id-infrared thermo-optic modulator based on SOI suspended waveguide

    TAN Ya-song,YU Hui,HAO Yin-lei,YANG Jian-yi,JIANG Xiao-qing
    (Institute of Microelectronics and Optoelectronics,Department of Information Science and Electronics Engineering,Zhejiang University,Hangzhou310027,China)

    The MMI-MZI thermo-optic modulator based on SOI(Silicon-On-Insulator)single-modemid-infrared lowloss suspended ridge waveguide is designed and analyzed.Parameters of the single-mode suspended ridge waveguide and themodulator based on it are analyzed,and the implementation method is given.At the wavelength of 5.4μm,the transmission characteristics of the thermo-optic modulator model is simulated with 3D-BPM(Beam Propagation Method)method.The results show that a very small temperature change of5.3℃in the thermo-optic area can result in a extinction ratio of-40dBwhen the heating electrode length is3 mm.The dimensional tolerance of the MIR device is large,so it is easy to realize.The design will have important applications in themid-infrared silicon photonics.

    mid-infrared;suspended waveguide;thermo-optic effect;modulator; integrated optics

    TN256

    A

    10.3969/j.issn.1001-5078.2013.11.10

    1001-5078(2013)11-1248-04

    國家自然科學(xué)基金項目(No.61177055)和國家重大基礎(chǔ)研究發(fā)展計劃項目(No.2013CB6132105)資助。

    檀亞松(1988-),男,碩士研究生,主要從事集成光學(xué)波導(dǎo)器件的研究。E-mail:542952646@qq.com

    2013-03-28

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