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    微波等離子體炬法合成金剛石薄膜的研究

    2013-04-29 00:44:03黃芳亮
    科技創(chuàng)新與應用 2013年7期

    黃芳亮

    摘要:現(xiàn)采用微波等離子體炬法合成了金剛石薄膜,并探討了微波功率變化對對金剛石膜質(zhì)量的影響。結(jié)果表明:隨著微波功率的增加,制備的金剛石薄膜結(jié)晶性越來越好;通過拉曼分析在微波功率800W,發(fā)現(xiàn)在1332cm-1處金剛石峰的相對強度最高,金剛石相純度最高。

    關(guān)鍵詞:微波等離子體炬;金剛石薄膜;微波功率

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