0.引言
PECVD設(shè)備研發(fā)與生產(chǎn)長(zhǎng)期以來被歐美等少數(shù)發(fā)達(dá)國(guó)家的企業(yè)所壟斷。國(guó)內(nèi)同行業(yè)設(shè)備廠家大都對(duì)國(guó)外設(shè)備仿制,無法有效滿足客戶的實(shí)際需求。本文將根據(jù)對(duì)不同的顧客價(jià)值構(gòu)建層次結(jié)構(gòu)模型,運(yùn)用層次分析法[1]進(jìn)行分析,為PECVD設(shè)備和同類產(chǎn)品的開發(fā)提供必要的參考。
1.層次分析法(AHP)及其步驟
1.1 層次分析法的基本原理
層次分析法(Analytical Hierarchy Process,簡(jiǎn)稱AHP)是美國(guó)運(yùn)籌學(xué)家T.L.Saaty教授于20世紀(jì)70年代提出的一種定性和定量相結(jié)合的系統(tǒng)化、層次化分析方法。首先把要解決的問題形成層次結(jié)構(gòu)模型;其次給每一層次因素的相對(duì)重要性予定量表示;然后用數(shù)學(xué)方法確定每層次全部因素相對(duì)重要性權(quán)值;最后綜合計(jì)算各層因素相對(duì)重要性的權(quán)值,以此作為評(píng)價(jià)和選擇方案的依據(jù)。
1.2應(yīng)用層次分析法解決問題一般包括以下4個(gè)步驟[3]
(1)建立多級(jí)遞階層次結(jié)構(gòu)模型。第1級(jí)是目標(biāo)層;第2級(jí)是準(zhǔn)則層;第3級(jí)是措施層。
(2)構(gòu)造判斷矩陣。以上一級(jí)的某一要素A作為準(zhǔn)則,對(duì)本級(jí)的要素進(jìn)行兩兩比較。任何判斷矩陣應(yīng)滿足:bii=1;bij=1/bji (i,j =1, 2,..., n)(1)bij值的解釋:9(極為重要);7(重要很多):5(重要);3(稍重要);1(同樣重要),各自倒數(shù)則依次為稍次要,次要,次要很多,極為次要。
(3)層次單排序及一致性檢驗(yàn)。根據(jù)判斷矩陣求出其最大特征根λmax,再求出所對(duì)應(yīng)的特征向量W,本文采用“和積法”進(jìn)行權(quán)重計(jì)算,步驟為[4,5]:
①將判斷矩陣每一列歸一化: