韓國半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)發(fā)展策略研究

杜漸

(上海圖書館科技情報研究所，上海 200031)

設(shè)備業(yè)是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ)和支撐，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)達(dá)的國家均把設(shè)備業(yè)作為重要的戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)積極加以扶持。從20世紀(jì)80年代末開始，韓國就一直在努力打造本國的半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)，借助于政府、大型半導(dǎo)體企業(yè)的大力支持，韓國半導(dǎo)體設(shè)備逐漸取得質(zhì)的飛躍。盡管目前韓國國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)總體規(guī)模還不大，多數(shù)設(shè)備產(chǎn)品銷售還是主要依賴國內(nèi)市場，但在一些設(shè)備領(lǐng)域韓國企業(yè)技術(shù)水平已經(jīng)接近國際領(lǐng)先水平，如PSK的光阻去除設(shè)備，可以最大產(chǎn)出率達(dá)到440片/min，接近Novellus和Mattson設(shè)備性能。本文希望通過韓國半導(dǎo)體設(shè)備也發(fā)展策略，對國內(nèi)的設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供有益借鑒。

1 發(fā)揮產(chǎn)業(yè)集團(tuán)的作用，積極推動半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)設(shè)備采購本地化

韓國是2010年全球半導(dǎo)體設(shè)備的第四大市場，其設(shè)備市場規(guī)模約占全球半導(dǎo)體設(shè)備市場的17%。2011年，韓國最大兩家集成電路制造企業(yè)三星電子和海力士的設(shè)備投資預(yù)算分別為96億美元、30億美元，排在全球第一和第四位。韓國的半導(dǎo)體設(shè)備與制造企業(yè)之間有著很深的淵源，有相當(dāng)數(shù)量的設(shè)備企業(yè)早年是從韓國國內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)或其企業(yè)集團(tuán)中分離出來的（如：韓國領(lǐng)先的OLED設(shè)備企業(yè)SFA是由三星宇航工業(yè)旗下的自動化部門分拆出的），并且雙方在技術(shù)研發(fā)等方面有著長期、密切的聯(lián)系。近年來，三星電子、海力士為了降低設(shè)備、零部件及材料等的對外依存度，獲得穩(wěn)定的后備供應(yīng)來源（Second Source），均在強(qiáng)化設(shè)備采購本地化戰(zhàn)略，通過股權(quán)投資、合作開發(fā)或產(chǎn)品采購等多種方式支持、培育國內(nèi)設(shè)備企業(yè)發(fā)展。例如：2011年三星電子投資了韓國CVD、ALD設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)Wonik IPS相當(dāng)于公司9.4%股份的可轉(zhuǎn)化公司債券；三星電子、海力士與國內(nèi)設(shè)備企業(yè)均存在長期合作的關(guān)系，有共同實施的合作開發(fā)項目，并且按照三星電子、海力士的采購政策，韓國本土設(shè)備生產(chǎn)廠商只要取得驗證報告，即可獲得量產(chǎn)訂單。

2 積極參與國際研發(fā)合作

韓國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是以“技術(shù)引進(jìn)”為起點逐漸發(fā)展起來的，歷來重視參與國際研發(fā)合作。2007年，韓國與美國達(dá)成了一項半導(dǎo)體合作研發(fā)的協(xié)議，合作協(xié)議涵蓋半導(dǎo)體設(shè)計、制程、設(shè)備材料等三個領(lǐng)域，其中半導(dǎo)體設(shè)計的美方合作伙伴為加州大學(xué)伯克利分校，制程的合作伙伴為斯坦福大學(xué)，設(shè)備材料的合作伙伴為德克薩斯州大學(xué)達(dá)拉斯分校，項目將分兩階段進(jìn)行，第一階段（2007-2008年）雙方在硅谷及得克薩斯建立研發(fā)基地，第二階段（2009-2011年）雙方探索建立戰(zhàn)略性合作伙伴關(guān)系。同時，韓國政府將為合作提供相應(yīng)的匹配資金，并協(xié)調(diào)國際、國內(nèi)的相關(guān)研發(fā)活動。此外，近兩年得益于技術(shù)上的進(jìn)步，國際半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)合作、標(biāo)準(zhǔn)制定組織也開始吸收韓國的設(shè)備企業(yè)參與，如：Eugene Tech作為設(shè)備供應(yīng)商被吸收進(jìn)SEMATECH的“internation Sematech Manufacturing Initiative”（ISMI）450mm 生產(chǎn)線設(shè)備研發(fā)、標(biāo)準(zhǔn)制定項目。

2011年，韓美自由貿(mào)易協(xié)議被美國參眾兩院批準(zhǔn)通過，正式生效。由于美、韓兩國在半導(dǎo)體領(lǐng)域的技術(shù)存在一定互補(bǔ)性，美國半導(dǎo)體基礎(chǔ)技術(shù)領(lǐng)先，韓國則擅長應(yīng)用相關(guān)技術(shù)的開發(fā)，未來兩者的合作將進(jìn)一步增強(qiáng)。見圖1。

圖1 美國、韓國合作研發(fā)的半導(dǎo)體技術(shù)

3 政府規(guī)劃支持半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)發(fā)展

韓國知識經(jīng)濟(jì)部2009年底，宣布聯(lián)合三星電子、海力士等兩家半導(dǎo)體企業(yè)注資584億韓元（5050萬美元），發(fā)展本土半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)，重點推進(jìn)低溫化學(xué)氣相沉積（LPCVD）、蝕刻設(shè)備、銅制程化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備（Cu CMP）、關(guān)鍵點測量設(shè)備（CD-SEM）、離子摻雜設(shè)備等7個商業(yè)化項目，爭取2013年形成2500億韓元的銷售收入。見表1。

表1 韓國知識經(jīng)濟(jì)部宣布支持三星電子和Hynix核心半導(dǎo)體設(shè)備的開發(fā)