夏志偉,劉嚴慶,紀偉,高岳
(北京中電科電子裝備有限公司,北京 100176)
引線鍵合是半導(dǎo)體后道封裝的關(guān)鍵工藝,而且在相當長的一段時間里,是不可被替代的。其主要的功能是利用細小的金屬線連接芯片的Pad和管殼的引腳以實現(xiàn)電氣可靠導(dǎo)通,保證芯片的功能得以正常的實現(xiàn)。
引線鍵合的基本形式可以分為球形焊接和楔形焊接。兩種形式采用不同的設(shè)備,兩種設(shè)備采用不同的換能器、劈刀,不能互換通用。對于芯片焊接形式豐富的今天,用戶不得不通過購買更多的設(shè)備來滿足焊接需求。而鍵合原理,兩種焊接形式區(qū)別不大,本文根據(jù)兩種焊接形式的共同特點,分析如何通過改造焊接設(shè)備(機械結(jié)構(gòu)、軟件),并依據(jù)焊接試驗得出凸點的形狀,以及進行引線拉斷力的測試,總結(jié)和分析使用球焊設(shè)備、劈刀進行楔形焊接的可行性,從而使設(shè)備的通用性更強,降低用戶成本。
常見的引線鍵合工藝分可為三種,即:熱壓鍵合,超聲波鍵合,熱壓超聲波鍵合[1]。三種工藝各有優(yōu)缺點,在不同條件下的酌情使用,才可保證鍵合的穩(wěn)定性和一致性。
熱壓鍵合是利用高溫(>250℃),在適當壓力、一定時間內(nèi)使金屬線與焊接表面材質(zhì)產(chǎn)生塑性變形,使兩種材質(zhì)擴散融合,形成焊接。
超聲波鍵合與熱壓超聲波鍵合原理相同,利用換能器產(chǎn)生一個固定頻率的超聲波,這種超聲波是高頻小幅值的機械波,在焊接表面產(chǎn)生劇烈摩擦,使金屬原子共價鍵破壞,金屬發(fā)生塑性變形,形成焊接[2]。
對于不同金屬,破壞其共價鍵的能量不同,改變能量的方法是改變振動幅值,當幅值增大到不能滿足焊接時,可以通過加熱或加向焊接面方向的壓力來提升能量。加熱可以阻止焊接表面的能量散失,使摩擦產(chǎn)生的熱能更好的鍵合而不是補充周圍的溫度,加壓可以使超聲波振動在焊接面更好地摩擦而不是無效振動,保證充分產(chǎn)生焊接能量。
球焊鍵壓時先要制作金屬球,對金屬引線的材料要求較高,球狀凸點增加鍵合面積,提高鍵合力,但焊接需要的焊盤面積較大;楔焊更具靈活性,對引線材料和焊盤面積沒有要求,但鍵合力相對低。
球焊劈刀與楔焊劈刀無論外形、材料都有很大的區(qū)別:
球焊劈刀(見圖1)通常為陶瓷材料,空心吸管狀,前端為錐形,錐角根據(jù)型號不同會有變化,尖端是一個平面,出口處會有臺階和倒角,保證鍵壓出勻稱的凸點形狀,增加根腱處的鍵合強度。劈刀內(nèi)外孔處均有適當?shù)菇?,保證焊接后凸點的完整性。尖端平面決定凸點大小。
圖1 球焊劈刀圖形[3]
楔焊劈刀(見圖2)為金屬材料,主體為圓柱狀,但正前方有定位面,保證劈刀尖端始終朝前,尖端為楔狀平面,平面后方是一個固定角度的送線孔,金屬絲通過送線孔被平面鍵合成鏟狀焊點,平面面積決定焊點的大小。
圖2 楔焊劈刀圖形[3]
球焊、楔焊換能器工作原理相似,超聲波鎖相電源提供固定電信號,利用壓電陶瓷產(chǎn)生一個固定高頻超聲波(>80 Hz),使換能器變幅桿前后伸縮運動(見圖5),其運動幅值可調(diào),幅值越大產(chǎn)生的超聲波能量越大。
同品牌的球焊、楔焊換能器產(chǎn)生超聲波頻率相同,理論上無論夾持何種劈刀都應(yīng)該產(chǎn)生諧振,但是兩種換能器的夾持方式不同,球焊換能器(見圖3)的鎖緊頂絲在變幅桿前端的側(cè)面,因為球焊劈刀是圓柱狀,沒有安裝方向,為陶瓷材料不能直接接觸頂絲,否則在振動時會對劈刀造成損害。楔焊換能器(見圖4)的頂絲在劈刀正前方,因為楔焊劈刀有定位面,必須保證安裝方向,否則鍵合出的焊點會歪斜,影響焊接效果。換能器諧振。
圖3 球焊換能器
圖4 楔焊換能器
圖5 換能器諧振[3]
球焊的焊接流程如圖6所示。上一個流程中送出適當長度線尾,利用高壓放電將金屬絲熔化,在表面張力作用下,線尾變成金屬球(根據(jù)線尾長度和放電時間可調(diào)節(jié)金屬球大?。?,劈刀向下運動至焊盤,加力加超聲,使金屬球焊接在焊盤表面,劈刀抬起至第二焊盤,加力加超聲,第二點焊接在焊盤表面,線夾扯斷金絲,并送出適量線尾,完成一個焊接流程。
圖6 球焊過程[4]
楔焊的焊接流程如圖7所示。無需制作凸點時,移動至焊點位置直接焊接。
圖7 楔焊過程[4]
球焊兩個焊點的形狀不同,首點是鍵壓金屬球,壓出饅頭形凸起,末點根據(jù)劈刀型號不同,壓出面積不同鏟狀凸起(見圖8);楔焊焊點形狀相似,多為長條鏟狀凸起,首點因為存在線尾,前端會留出一小段金屬引線不被鍵合,末點末端是斷線處,是標準鏟狀凸起(見圖 9)。
圖8 球焊首、末點形狀[4]
圖9 楔焊首、末點形狀[4]
在楔焊設(shè)備中使用球焊換能器、劈刀,應(yīng)先測試其超聲波電源是否適用。將幅值調(diào)節(jié)范圍分成25等份,每100 ms疊加一等份輸出,最大值時停留500 ms,如圖10所示,其波形均勻,變化線性,最大幅值在11 V左右,表明利用楔焊設(shè)備的超聲波電源可以驅(qū)動球焊換能器,輸出正常的焊接能量。
圖10 超聲波示意圖
3.2.1 線尾不可控
經(jīng)過多次試驗,球焊劈刀首點是球焊接,沒有方向性,楔焊焊接時首點朝向前方,使用球焊劈刀焊接楔焊,造成焊接的線尾方向不可控。可以使用打火桿,令其擺下(見圖11),將線尾撥向前方,這樣焊接時朝向統(tǒng)一,且線尾長度一致性較好。
3.2.2 線弧不可控
因為首點為楔焊,鍵合強度沒有球焊大,多以對引線的機械力不夠,通常引線會在劈刀內(nèi)發(fā)生扭轉(zhuǎn),使其在劈刀下降過程中,回到劈刀內(nèi),無法成線弧??梢栽谂哆\動部分加上光柵尺(見圖12),當劈刀的運動方向發(fā)生由上向下的改變時,關(guān)閉線夾,使得引線更好成弧。
圖11 打火桿確定線尾方向
圖12 光柵尺確定線夾關(guān)閉時間
3.2.3 焊點選擇
為了使焊點形狀規(guī)則飽滿,成為規(guī)則的鏟狀,如圖13,T應(yīng)該越大越好,這樣的點形會更細長,更完整,縱向凸起更大,鍵合力更高,底面盡量要平,既FACE ANGLE越小越好,這樣在斷線時才易扯斷線尾,并且一致性較好。
更新運動程序,重新編寫運動流程,如圖14所示。上一個流程中送出適當長度線尾,打火桿擺下,將線尾撥向正前方,此時線夾張開,劈刀向下運動至焊盤,加力加超聲,使引線焊接在焊盤表面,劈刀抬起至第二焊盤上方,開始向下運動時,關(guān)閉線夾,劈刀運動至第二焊盤表面,加力加超聲,第二點焊接在焊盤表面,線夾扯斷金絲,并送出適量線尾,完成一個焊接流程。
圖13 劈刀選型[4]
本次試驗采用30 μm硅鋁絲(天津有色金屬研究所 規(guī)格:0.03 mm,拉斷力:5~11 g,延伸率:0.5%~3%),劈刀采用 GSISER公司的1548-35劈刀(T:442 μm,劈刀焊接面角度:0°,特殊定制型號)。
焊接點形如圖15所示,為標準鏟狀,完整性較好,一致性高。比傳統(tǒng)楔焊劈刀鍵合出的焊點變形更均勻,縱向更具完整性,根腱處更厚實,做破壞試驗后,焊點完全留在焊盤處,殘留點完整性好(見圖 16)。
圖14 新楔焊流程(球焊劈刀)
圖15 楔焊首、末點形狀
圖16 拉力測試后殘留點
焊線拉斷力測試,采用CpL值分析法:
共測試100組引線拉斷力,得出CpL值為1.46∈(1.33,1.67),說明拉斷力一致性較高,且符合國軍標要求。
經(jīng)過試驗測試,采用特制劈刀,對焊接設(shè)備進行適當改造,則可以實現(xiàn)楔焊工藝中使用球焊劈刀,這樣可以實現(xiàn)設(shè)備焊接的多樣性,使單一設(shè)備滿足多種工藝需求,為用戶節(jié)約成本。
[1] 晁宇晴,楊兆建,喬海靈.引線鍵合技術(shù)進展[J].電子工藝技術(shù),2007,28(4):205-210。
[2] 呂磊.引線鍵合工藝介紹及質(zhì)量檢驗[J].電子工業(yè)專用設(shè)備,2008,37(3):53-60.
[3] 美國.SPT公司劈刀樣本[Z].2011.
[4] 美國.GAISER公司劈刀樣本[Z].2011.