集成人生路 宇耕大講堂——訪北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院首席科學(xué)家、中國科學(xué)院院士王陽元

本刊記者 黃雪霜 楊 潔

集成人生路 宇耕大講堂
——訪北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院首席科學(xué)家、中國科學(xué)院院士王陽元

本刊記者 黃雪霜 楊 潔

語文課上，王陽元交了一篇曾引起全班爭鳴的作文，題目是《未來的科學(xué)家——宇耕在成長》?！坝罡笔峭蹶栐o自己起的筆名，意思是“宇宙的耕耘者”，從此，在科學(xué)探索的夢想舞臺(tái)上，他辛勤耕耘，樂此不疲。

燕園婆娑，博雅未名；

學(xué)問深處，朗朗書聲；

星漢燦爛，若出其里；

日月之行，若出其中。

草長鶯飛的季節(jié)，燕園深處，有那么一首套用曹操《步出夏門行》的名句來表明自己心志和對(duì)年輕一代學(xué)子成長與期望的詩歌，在未名湖畔上空回蕩。詩的作者是我國微電子領(lǐng)域戰(zhàn)略科學(xué)家、北京大學(xué)教授，北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院首席科學(xué)家、中國科學(xué)院院士王陽元。雖為科學(xué)家，但他的言談舉止里總能透出儒雅的氣質(zhì)，與北大深厚的文學(xué)底蘊(yùn)交相呼應(yīng)。

仰望北大百年歷史星空，名師薈萃，星光燦爛，包羅萬象。作為現(xiàn)代中國學(xué)術(shù)建立和發(fā)展的縮影，北大每個(gè)發(fā)展階段，都吸納和涌現(xiàn)出許多在學(xué)界領(lǐng)銜的著名學(xué)者，其中赫然寫有王陽元院士的名字。這位大半生都在北大學(xué)習(xí)和工作的世紀(jì)老人，一生中有太多叫人敬佩的閃光點(diǎn)：

20世紀(jì)70年代，他主持研究成功我國第一塊3種類型1024位MOS動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器，是我國硅柵N溝道MOS技術(shù)開拓者之一；

在1024位MOS DRAM研制基礎(chǔ)上，從實(shí)踐中他提出了兩個(gè)重要的科學(xué)問題，并在80年代對(duì)此開展了系統(tǒng)的研究工作：

多晶硅薄膜物理和電學(xué)性質(zhì)的研究。20世紀(jì)80年代，他提出了多晶硅薄膜“應(yīng)力增強(qiáng)”氧化模型與應(yīng)用方程，被國際同行認(rèn)為“在微電子領(lǐng)域處理了一個(gè)對(duì)許多研究者都有重要意義的問題”。他還與韓汝琦教授合作研究了多晶硅薄膜摻雜濃度與遷移率的關(guān)系，解釋了國際文獻(xiàn)報(bào)導(dǎo)的看似相互矛盾的結(jié)果；發(fā)現(xiàn)了磷摻雜對(duì)硅固相外延速率增強(qiáng)效應(yīng)以及CoSi2柵對(duì)器件抗輻照特性的改進(jìn)作用；

MOS絕緣層物理研究。先與吉利久教授合作提出了新的可動(dòng)離子輸運(yùn)過程分析及其測試方法；繼則與譚長華、許銘真教授合作在國際上首次提出了MOS絕緣層三個(gè)基本物理參量的獨(dú)立測試方法；

上世紀(jì)90年代，他在SOI/CMOS器件模型和電路模擬工作方面，主持提出了SOI器件浮體效應(yīng)模型和通過改變器件參量來抑制浮體效應(yīng)的工藝設(shè)計(jì)技術(shù)，擴(kuò)充了SPICE模擬軟件。在SOI/ CMOS新結(jié)構(gòu)電路研究方面，開發(fā)了新的深亞微米器件模型和電路模擬方法，研究成功了多種新型器件和電路；與張利春教授、倪學(xué)文教授等一起提出了超高速多晶硅發(fā)射極晶體管的新器件與工藝模型，開發(fā)了成套的先進(jìn)雙極集成電路工藝技術(shù)，這對(duì)獨(dú)立自主發(fā)展我國集成電路產(chǎn)業(yè)具有重要意義；

上世紀(jì)90年代后期，他開始研究微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS），主持開發(fā)了三套具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MEMS工藝，開發(fā)了多種新型MEMS器件并向產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移，獲得一批發(fā)明專利。

21世紀(jì)以來，他又致力于研究亞0.1μm納米新結(jié)構(gòu)器件和集成技術(shù)的研究開發(fā)；并著重產(chǎn)學(xué)研結(jié)合，注重我國納米級(jí)的集成電路產(chǎn)業(yè)大生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)的研究，以建設(shè)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

在1986～1993年期間，他領(lǐng)導(dǎo)研制成功了我國第一個(gè)大型集成化的ICCAD系統(tǒng)，使我國進(jìn)入能自行開發(fā)大型ICCAD工具的先進(jìn)國家行列；在研究集成電路發(fā)展規(guī)律基礎(chǔ)上提出了我國集成電路產(chǎn)業(yè)和設(shè)計(jì)業(yè)的發(fā)展戰(zhàn)略建議。為此，他曾于2001年2月根據(jù)國務(wù)院科教領(lǐng)導(dǎo)小組的安排，走進(jìn)中南海直面國務(wù)院領(lǐng)導(dǎo)和各部委領(lǐng)導(dǎo)作《微電子科學(xué)技術(shù)和集成電路產(chǎn)業(yè)》的科技講座。

為推動(dòng)我國微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，作為發(fā)起人之一，他與國際集成電路業(yè)界的同事共同創(chuàng)建了中芯國際集成電路制造有限公司，成為我國集成電路制造業(yè)的領(lǐng)軍公司，領(lǐng)導(dǎo)建成了我國第一條12英寸納米級(jí)集成電路大生產(chǎn)線。

50余年來，王陽元共發(fā)表科研論文320多篇，出版著作8部，現(xiàn)有20項(xiàng)重大科技成果；獲全國科學(xué)大會(huì)獎(jiǎng)、國家發(fā)明獎(jiǎng)、國家科技進(jìn)步獎(jiǎng)、光華科技基金一等獎(jiǎng)等共21項(xiàng)國家級(jí)和部委級(jí)獎(jiǎng)勵(lì)，并獲得北大首屆蔡元培獎(jiǎng)。

歷大半世紀(jì)風(fēng)雨砥礪，青絲變白發(fā)。近5年，王陽元將更多的精力轉(zhuǎn)移到了國家發(fā)展及行業(yè)領(lǐng)域戰(zhàn)略性思考及關(guān)注年輕一代的培育工作上，正如他所說：“只要人類社會(huì)存在，教育就是永恒的主題；只要人的生命存在，學(xué)習(xí)就是不竭的任務(wù)?！币苍S正是因?yàn)樗嗄陮?duì)園丁這一職業(yè)的眷顧，才有了他將我們的采訪當(dāng)成是一次“講堂”的特殊模式，在寬敞的辦公室里，他將早已準(zhǔn)備好的課件娓娓道來，以集成電路的科技與產(chǎn)業(yè)發(fā)展為主線，上至國家戰(zhàn)略，下至國計(jì)民生，加之以耐心詳盡地答疑解惑，給我們上了一堂深入?yún)s不乏生動(dòng)的課。

國之講堂 ——強(qiáng)國轉(zhuǎn)變，路在何方？

基于國家經(jīng)濟(jì)發(fā)展和集成電路如何從消費(fèi)大國走向產(chǎn)業(yè)強(qiáng)國的戰(zhàn)略需求都有哪些？

如何抓住21世紀(jì)前30年微納電子學(xué)科發(fā)展的機(jī)遇期？

微納電子學(xué)科發(fā)展戰(zhàn)略研究的基礎(chǔ)性與戰(zhàn)略性、規(guī)律性與前瞻性、創(chuàng)新性與實(shí)踐性，凝聚性與開放性如何體現(xiàn)？

“開課”之初，王院士就引出了三大發(fā)人深省的戰(zhàn)略性思考，而這三大思考也正是他近5年來，不斷在思索的問題。

緊跟著王院士的講述，我們首先進(jìn)入到了我國從集成電路消費(fèi)大國走向產(chǎn)業(yè)強(qiáng)國的美好愿景和要實(shí)現(xiàn)這一愿景我國所面臨的尷尬困境里。

1987年，在中共召開的第十三次全國代表大會(huì)上，有一位中國建設(shè)“總設(shè)計(jì)師”鄧小平，畫下了中國到21世紀(jì)30年代至50年代中葉，基本達(dá)到中等發(fā)達(dá)國家水平的宏偉藍(lán)圖。時(shí)至今日，事實(shí)證明，鄧小平這一構(gòu)想的落實(shí)和實(shí)施，遠(yuǎn)遠(yuǎn)高出了預(yù)想的進(jìn)度——

1978-2010年，我國GDP總量在32年間就增長了109倍。據(jù)初步預(yù)計(jì)：按2010-2020年增長率7%，2020-2030年5%左右，2030-2040年4%測算，2020年，中國人均GDP接近8000美元，將跨越中等收入陷阱；2030年，中國人均GDP將超過11000美元，開始進(jìn)入發(fā)達(dá)國家行列；2040年，中國人均GDP接近20000美元，成為中等發(fā)達(dá)國家；2049年，中國GDP總量將超過美國，成為世界第一大經(jīng)濟(jì)體。

一面是令人歡欣鼓舞的飛速發(fā)展，而另一面卻是令人堪憂的局面：

“未來幾十年，世界上包括中國13億人口在內(nèi)的20億至30億人將逐步進(jìn)入現(xiàn)代化行列，能源資源需求和生態(tài)環(huán)境壓力將大幅上升，經(jīng)濟(jì)社會(huì)快速發(fā)展與地球有限承載能力的矛盾將日益尖銳。”2010年6月7日，胡錦濤在中國科學(xué)院第十五次院士大會(huì)、中國工程院第十次院士大會(huì)上曾做過如此闡述。而這一矛盾不只在中國，同時(shí)也是全世界面臨的一個(gè)共性問題。

工業(yè)社會(huì)的發(fā)展以能源為代價(jià)，換取了生產(chǎn)效率的提高和生活質(zhì)量的改善，在社會(huì)生產(chǎn)力得到極大提高的同時(shí)，能源與環(huán)境及無法滿足發(fā)展需要之間的矛盾迫使世界經(jīng)濟(jì)重組。產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型時(shí)期，信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)被推上了歷史發(fā)展的舞臺(tái)。信息已經(jīng)成為繼紡織，鋼鐵，電力、石化，汽車以后第五周期經(jīng)濟(jì)長波的驅(qū)動(dòng)力，并煥發(fā)出更為強(qiáng)大的生命力和作用力。

王院士介紹，21世紀(jì)初，以集成電路為基礎(chǔ)的信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展速度約為紡織等傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的2倍。2004年，信息產(chǎn)業(yè)已經(jīng)成為世界第一大產(chǎn)業(yè)；2007年，信息產(chǎn)業(yè)對(duì)全球GDP增長的貢獻(xiàn)率達(dá)到7.2%。

值得一提的是，集成電路對(duì)節(jié)約能源有革命性貢獻(xiàn)。為此，王院士舉了個(gè)生動(dòng)的例子加以說明：2006年，美國整個(gè)半導(dǎo)體技術(shù)的應(yīng)用節(jié)約的電能源，約相當(dāng)于9個(gè)三峽水電站的年總發(fā)電量！從這個(gè)例子可以映射出一個(gè)結(jié)論：在全世界各國經(jīng)濟(jì)紛紛轉(zhuǎn)型的時(shí)期，誰抓住了信息和集成電路科學(xué)技術(shù)發(fā)展的歷史機(jī)遇，誰就能盡快搭上轉(zhuǎn)型成功的班車，進(jìn)而駛向經(jīng)濟(jì)發(fā)展良性循環(huán)的春天。

但是，我國在這一結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)型時(shí)期，遭遇了來自本國集成電路發(fā)展現(xiàn)狀的尷尬困境。有多尷尬？做個(gè)比較，可見一斑：我國集成電路市場規(guī)模世界第一，市場增速世界第一；集成電路在我國進(jìn)口產(chǎn)品中位列第一！據(jù)《中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展?fàn)顩r報(bào)告》統(tǒng)計(jì)的數(shù)據(jù)顯示：2010年，我國集成電路市場為7349.5億元，本土集成電路企業(yè)銷售額為1440億元，僅占19.6%。因?yàn)槿狈ψ灾髦R(shí)產(chǎn)權(quán)的核心芯片，我國PC機(jī)中95%的部件都是境外制造的，一位知名電腦制造商因此感嘆：“我們生產(chǎn)一臺(tái)P C機(jī)的利潤，就相當(dāng)于賣掉一把大蔥！”

由此可見，我國從集成電路消費(fèi)大國向產(chǎn)業(yè)強(qiáng)國轉(zhuǎn)變迫在眉睫！

“中國經(jīng)濟(jì)將向集約、內(nèi)需拉動(dòng)、低碳經(jīng)濟(jì)、技術(shù)進(jìn)步、自主創(chuàng)新和環(huán)境友好型轉(zhuǎn)變。而微納電子將在轉(zhuǎn)方式、調(diào)結(jié)構(gòu)、重民生、促發(fā)展的過程中發(fā)揮重大作用?！蓖蹶栐菏繌?qiáng)調(diào)了微納電子、集成電路科學(xué)技術(shù)發(fā)展在國家轉(zhuǎn)型中的地位和作用。

也正因有此意識(shí)，近5年來，王陽元院士所做的第一件事情就是關(guān)心國家怎么在經(jīng)濟(jì)轉(zhuǎn)型的過程當(dāng)中，由發(fā)展中國家跨入到中等發(fā)達(dá)國家的行列，這其中包含有我國怎樣從集成電路消費(fèi)大國轉(zhuǎn)化為產(chǎn)業(yè)強(qiáng)國的思考。

那么，我國怎樣才能從集成電路消費(fèi)大國轉(zhuǎn)變?yōu)楫a(chǎn)業(yè)強(qiáng)國呢？王院士給出了答案：把握微納電子和集成電路科學(xué)技術(shù)發(fā)展的歷史機(jī)遇，大力發(fā)展微納電子與集成電路科學(xué)技術(shù)與產(chǎn)業(yè)！由此引出了“課堂”的第二部分內(nèi)容。

科技講堂 ——國圖變成掌中本？集成芯片的科技產(chǎn)業(yè)路

技術(shù)篇

人類文明每一次重大進(jìn)步都與科學(xué)技術(shù)的革命性突破密切相關(guān)。愛因斯坦相對(duì)論的提出是物理學(xué)領(lǐng)域的一次重大革命；波爾、狄拉克等著名物理學(xué)家建立的量子力學(xué)，為近代物理研究開辟了道路，與此同時(shí)，居里夫人、玻恩、普朗克等大師紛紛在20世紀(jì)初期為物理學(xué)作出重要貢獻(xiàn)，從而推動(dòng)了科學(xué)技術(shù)的大力發(fā)展。

1958年，德州儀器公司的J.Kilby發(fā)明了第一塊集成電路（他因此獲得了2000年諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)）至今，集成電路的集成度提高為最初的109倍，而集成電路上的晶體管價(jià)格下降為最初的108分之一。隨著科學(xué)技術(shù)呈螺旋式上升發(fā)展，至21世紀(jì)，納米科學(xué)、納米電子學(xué)的興起將過去微電子學(xué)追求小型化的目標(biāo)擴(kuò)展至滿足低功耗、高性能等多方面需求。伴隨著石墨烯、碳納米管等原子分子器件和自旋器件等量子器件的發(fā)明和發(fā)展，微納電子科學(xué)技術(shù)在21世紀(jì)30年代將迎來發(fā)展歷史機(jī)遇期。

集成電路科學(xué)新技術(shù)如此迅猛發(fā)展，將會(huì)對(duì)我們未來的生活產(chǎn)生怎樣的變化？王院士列舉了幾個(gè)有趣的例子：

有了集成電路芯片，中國國家圖書館2700萬冊的藏書就可以濃縮為一本筆記本大小的電子產(chǎn)品放到您的掌心里；

有了集成電路芯片，您的身份證不再只是一個(gè)身份憑證，還可以當(dāng)做是個(gè)人檔案甚至是病歷本，里面詳細(xì)記錄有持證人從小到大學(xué)習(xí)、工作以及身體狀況等信息；

有了集成電路芯片，您不必再為胃鏡等一類痛苦的病檢查手段而苦惱，將裝有攝像頭的芯片變成“膠囊”，吞入腸胃中，就可以清晰地將里面的信息傳遞給外界！

小小的集成芯片在王院士講述里被變幻為無所不能的小“超人”，它可以變成太陽能光伏發(fā)電從而應(yīng)對(duì)未來的核能信任危機(jī)；也可以變成小射頻傳感器解決當(dāng)前困擾大眾的食品安全問題，這一神奇的裝置一旦植入食品體內(nèi)，就可以記錄其生產(chǎn)全過程，到時(shí)，哪怕是一棵白菜、一袋牛奶，甚至是一根蔥，消費(fèi)者都可以詳細(xì)知道其生產(chǎn)全過程，從而放心食用?！爱?dāng)然，一根蔥內(nèi)植入芯片要考慮成本問題?！蓖踉菏啃χf。

笑談過后，話鋒一轉(zhuǎn)，王院士提到了集成電路發(fā)展存在的挑戰(zhàn)：“當(dāng)然，集成電路科學(xué)技術(shù)的發(fā)展并不可能盡如人意，它還存在來自物理、功耗、制造、經(jīng)濟(jì)等方面的障礙，其中，集成電路發(fā)展中功耗密度的制約問題值得關(guān)注?！?/p>

他舉了幾個(gè)例子加以說明：“Google在全世界擁有37個(gè)數(shù)據(jù)中心，其中俄勒岡州（Oregon）的數(shù)據(jù)中心需要一個(gè)1.8GW的水力發(fā)電站專門為其供電；另外，一個(gè)中產(chǎn)家庭包括電腦、數(shù)碼相機(jī)、電話、冰箱等IT產(chǎn)品所消耗的能耗已經(jīng)可以與照明的能耗相比擬！此外，集成電路在制造過程中也要消耗電力和水資源，并進(jìn)行一定的污染排放，因此綠色集成電路制造勢在必行！”

“所以，為應(yīng)對(duì)這一系列的挑戰(zhàn)，近5年來，我所做第二件事情就是瞄準(zhǔn)國際前沿，立足于行業(yè)領(lǐng)域的長遠(yuǎn)需求，做一些超前性的基礎(chǔ)性研究工作。確保我國微納電子集成行業(yè)能抓住科學(xué)發(fā)展歷史機(jī)遇，從而走在世界前列。”

據(jù)王院士介紹，近年來，集成電路科學(xué)技術(shù)發(fā)展趨勢體現(xiàn)在器件、設(shè)計(jì)、工藝、系統(tǒng)及材料發(fā)展上，而北京大學(xué)對(duì)這些研究都有涉足。令人欣慰的是，以青年科學(xué)家為骨干的研究團(tuán)隊(duì)，他們在局部領(lǐng)域取得了長足的發(fā)展，居于世界領(lǐng)先地位。如在器件上，他們研制的圍柵納米線器件（GAA SNWT）和HfO2、氮氧化硅的RRAM特點(diǎn)鮮明，關(guān)于SNWT的工作已被ITRS2009引用，并被認(rèn)為可能是10nm節(jié)點(diǎn)集成電路新器件結(jié)構(gòu)的候選者之一；在工藝上，他們研發(fā)了新型的高K柵介質(zhì)/雙金屬柵集成工藝等。

“當(dāng)今科技時(shí)代，誰最先掌握了先進(jìn)技術(shù)，誰就能占領(lǐng)至高點(diǎn)”?？茖W(xué)研究實(shí)際上是一個(gè)不斷你追我趕的過程，同樣的研究課題，你做，別人也在做。為不至于落后于人，我們的研究要呈現(xiàn)出‘百花齊放，百家爭鳴’的繁榮景象，例如，在研究22納米技術(shù)的同時(shí)，15乃至10納米技術(shù)的研究也在同步進(jìn)行，研究第一代技術(shù)的同時(shí)，我們很有可能已經(jīng)在研究第三代技術(shù)了。凡是國際前沿性的研究，我們都要敢于去探索，這樣才不至于落后于人。”對(duì)當(dāng)前存在的跨越式研究，王院士如是詮釋。

產(chǎn)業(yè)應(yīng)用篇

“當(dāng)然，消費(fèi)大國向產(chǎn)業(yè)強(qiáng)國轉(zhuǎn)變，光靠技術(shù)不行，還得靠產(chǎn)業(yè)。產(chǎn)業(yè)的作用，毋庸多說：所有的高新技術(shù)不管有多精深?yuàn)W妙，如果得不到應(yīng)用，都只能是一紙空談。”談過技術(shù)發(fā)展后，王院士很自然地就提到了產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

眾所周知，集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展多年，應(yīng)用已經(jīng)很廣泛。上至航天飛機(jī)，下至人們每天使用的手機(jī)、銀行卡，隨處可見。集成電路產(chǎn)業(yè)帶動(dòng)著高端科技和人民生活水平的發(fā)展，而王陽元可以說是推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)前行的先行者，其一手創(chuàng)辦的中芯國際成為我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的風(fēng)向標(biāo)之一。

“對(duì)于我創(chuàng)建中芯國際這件事情，大家都很看重，其實(shí)在我看來，這只是我邁出產(chǎn)業(yè)實(shí)踐的第一步，未來，我還有很多問題需要去思考，還有很多事情要做，所以近5年來我所做的第三件事情，就是在不斷思考我國集成電路科學(xué)技術(shù)與產(chǎn)業(yè)發(fā)展之路應(yīng)該如何去走的問題?！?/p>

“2011年1月28日，國務(wù)院正式發(fā)布了《進(jìn)一步鼓勵(lì)軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干政策》（國發(fā)【2011】4號(hào)文），這一文件將引領(lǐng)我國集成產(chǎn)業(yè)發(fā)展進(jìn)入一個(gè)新階段?！痹谖覈呻娐钒l(fā)展尚還存在困境的時(shí)候，王陽元依然對(duì)其發(fā)展充滿信心，他認(rèn)為中國應(yīng)積極貫徹落實(shí)這一文件，確定集成電路產(chǎn)業(yè)在國家經(jīng)濟(jì)轉(zhuǎn)型時(shí)期的重要戰(zhàn)略性地位，培育一批有實(shí)力和影響力的行業(yè)領(lǐng)先企業(yè)；優(yōu)先發(fā)展設(shè)計(jì)業(yè)，以制造業(yè)為中堅(jiān)，完善材料、設(shè)備等產(chǎn)業(yè)鏈。

“產(chǎn)業(yè)突破的焦點(diǎn)在于優(yōu)先發(fā)展設(shè)計(jì)業(yè)”，王院士認(rèn)為集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展應(yīng)從系統(tǒng)需求出發(fā)，進(jìn)行創(chuàng)新設(shè)計(jì)。為強(qiáng)調(diào)設(shè)計(jì)的重要性，他舉了一個(gè)很有說服力的例子：“現(xiàn)在市面上流行的iPhone4售價(jià)約為600美元，其中系統(tǒng)設(shè)計(jì)公司Apple所獲得的利潤最大，為360美元，是售價(jià)的一半多；而富士康組裝公司獲取的利潤只有6.54美元，相形見絀?！?/p>

設(shè)計(jì)之外，王陽元院士還對(duì)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展提出了諸多建議，如致力于發(fā)展高端制造業(yè)；重點(diǎn)在新器件、新工藝、新材料的創(chuàng)新并在此基礎(chǔ)上開發(fā)與之相結(jié)合的、具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的新型裝備；加強(qiáng)高端創(chuàng)新人才隊(duì)伍的建設(shè)；進(jìn)行機(jī)制改革；轉(zhuǎn)變觀念和文化等。

多年產(chǎn)業(yè)路，王陽元對(duì)我國產(chǎn)學(xué)研嚴(yán)重脫節(jié)的狀況給產(chǎn)業(yè)化所造成的嚴(yán)重阻礙深有感觸，因此，他提出了“發(fā)揮國家科技重大專項(xiàng)的引導(dǎo)作用，大力支持軟件和集成電路重大關(guān)鍵技術(shù)的研發(fā)，加強(qiáng)產(chǎn)學(xué)研的結(jié)合，建立自主的知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系”的想法。為此，他建議根據(jù)不同的發(fā)展階段，建設(shè)三個(gè)實(shí)驗(yàn)室：聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，產(chǎn)前聯(lián)盟實(shí)驗(yàn)室和國家研究實(shí)驗(yàn)室。這三大實(shí)驗(yàn)室各有特色：聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室以產(chǎn)業(yè)中的主要企業(yè)例如中芯國際為基礎(chǔ)，面向國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)3～5年內(nèi)的技術(shù)需求，如32/22nm技術(shù)等，力爭使產(chǎn)學(xué)研緊密結(jié)合，研究成果向產(chǎn)品轉(zhuǎn)移；產(chǎn)前聯(lián)盟實(shí)驗(yàn)室是聯(lián)合具有實(shí)力的企業(yè)，聯(lián)合進(jìn)行核心技術(shù)開發(fā)，在此基礎(chǔ)上，各個(gè)企業(yè)將研發(fā)成果和技術(shù)人才帶回企業(yè)進(jìn)行各自的產(chǎn)品開發(fā)；而國家研究實(shí)驗(yàn)室則以10年后的下一代技術(shù)（如特征尺寸≤10nm）為目標(biāo)，大學(xué)、研究所和博士生可共享實(shí)驗(yàn)室資源，建立科研成果轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)力的渠道，開放國際合作，培育高素質(zhì)人才等。

當(dāng)集成系統(tǒng)與電路產(chǎn)品無孔不入地深入影響到我國經(jīng)濟(jì)發(fā)展和我們生活的時(shí)候，我們不能不正視它的重要性。集成系統(tǒng)與產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化是一條不同尋常的產(chǎn)業(yè)路，雖然一路走來，也有過風(fēng)雨，也有過坎坷，但王院士卻依然保持著“斗士”的姿態(tài)，關(guān)于產(chǎn)業(yè)的思索他將還會(huì)繼續(xù)……

人生講堂 ——堅(jiān)持一下，勝利在前方

和其他早已功成名就的科學(xué)家一樣，王陽元從來都不缺鮮花和掌聲，“三十功名塵與土，八千里路云和月”，過去的成就與輝煌，早已看淡，所以在采訪的過程當(dāng)中，他很少會(huì)去提及自己過去的成就，而更傾向于近5年來的工作及思考，偶有提及，也是從經(jīng)歷中升華感悟，從反省中提取教訓(xùn)。

“小嘛小二郎，背起那書包上學(xué)堂，不怕太陽曬，不怕那風(fēng)雨狂，只怕先生罵我懶，沒有學(xué)問無臉見爹娘… …”，從婦孺皆知的童謠里，我們看到了一個(gè)勤奮好學(xué)的小陽元。1935年1月1日出生于寧波柴橋鎮(zhèn)一個(gè)平凡的個(gè)體勞動(dòng)者家庭的他，從小深受“傳家有道唯存厚，處事無奇但率真（曾國荃楹聯(lián)）”的傳統(tǒng)家教熏陶，自從踏入學(xué)堂的那一天起，就知道要認(rèn)真學(xué)習(xí)，成績從記事起就一直名列前茅。如果在哪次考試中偶然得了第二名，他就感到對(duì)不起父母，羞愧難當(dāng)。

“書藏古今，港通天下”，沐澤在寧波得天獨(dú)厚的歷史人文地理環(huán)境下，王陽元有幸先后就讀于柴橋小學(xué)和寧波中學(xué)這兩所百年名校，良好的學(xué)校教育幫助他早早地樹立了一生的抱負(fù)。在一次語文課上，他寫了一篇題為《未來的科學(xué)家——宇耕在成長》的作文，盡情抒發(fā)了自己渴望成為原子物理學(xué)家的情懷。“宇耕”，是他當(dāng)時(shí)給自己起的筆名，意思是宇宙的耕耘者。在這樣一座甬江邊上的普通的學(xué)校，這樣一位不起眼的中學(xué)生，在一篇作文練習(xí)中表達(dá)了這樣一個(gè)耕耘宇宙的大理想，在同齡人中掀起了一陣波瀾。于是有人說他“狂”，有人說他“傻”。但對(duì)于王陽元來說，他的理想是真真切切的，他清楚地知道，他將為這個(gè)理想付出一生。

青年時(shí)代的王陽元有一個(gè)好習(xí)慣，就是堅(jiān)持一天早晚兩次體育鍛煉。王陽元最喜歡向著終點(diǎn)沖刺的感覺，盡管已經(jīng)精疲力竭，心中一個(gè)聲音卻越來越響亮：“不能停下，繼續(xù)向前，堅(jiān)持一下，就是勝利”！從體育鍛煉中他悟出了深刻的道理：體育和科學(xué)研究是相通的，勝利往往產(chǎn)生于再堅(jiān)持一下的努力之中。從此“再堅(jiān)持一下”，成為王陽元幾十年科研和人生道路上克服困難的精神動(dòng)力。

1953年，王陽元終于迎來了實(shí)現(xiàn)自己最初科學(xué)夢想的機(jī)會(huì)，高考填報(bào)志愿，他毫不猶豫地選擇了北大物理系，并最終如愿以償。從此，博雅塔下，未名湖畔，多了一位潛心學(xué)海的學(xué)子。在黃昆教授，王竹溪教授、褚圣麟教授、虞福春教授等大家名師言傳身教、叮嚀教誨下，王陽元迅速成長，不僅學(xué)習(xí)了有關(guān)半導(dǎo)體理論與技術(shù)的多方面知識(shí)，為長期在微電子領(lǐng)域開展工作奠定了扎實(shí)的基礎(chǔ)，還對(duì)為人為學(xué)有了更深刻的領(lǐng)悟。

1958年，王陽元畢業(yè)并留校任教，開始了他真正意義上獨(dú)立的微電子、半導(dǎo)體集成研究之路。漫漫科學(xué)探索路，王陽元有夢想陪伴，所以一路持之以恒，不管是披荊斬棘開墾我國集成電路研究“荒地”，攻堅(jiān)克難解決集成電路技術(shù)難題，鞠躬盡瘁建立和完善北大微納電子學(xué)科體系，還是排除萬難推動(dòng)中國集成電路產(chǎn)業(yè)前行，他都樂此不疲，毫無怨言?；仡櫰饋?，他只寥寥列舉了兩次難忘的經(jīng)歷以做總結(jié)。

1975年，我國第一塊1024位MOS動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器問世，這被稱為是我國MOS集成電路技術(shù)和產(chǎn)業(yè)發(fā)展過程中具有里程碑意義的事件，它比Intel公司研制的同類型存儲(chǔ)器只晚了4年，獲得了1978年全國科學(xué)大會(huì)獎(jiǎng)。光環(huán)背后，是王陽元帶領(lǐng)下的一批“不識(shí)時(shí)務(wù)者”“八年抗戰(zhàn)”的艱辛和努力，在微電子學(xué)的社會(huì)價(jià)值還幾乎沒有得到體現(xiàn)，又是文革的20世紀(jì)60年代，他們認(rèn)定了這一對(duì)國家微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展有巨大推動(dòng)性的課題，在沒有凈化室、沒有進(jìn)口先進(jìn)設(shè)備的條件下，當(dāng)時(shí)奮斗的艱難和研究人員的犧牲精神是他人無法想象的。對(duì)王陽元來說，每一項(xiàng)工作的完成都伴隨著一次十二指腸潰瘍大出血，甚至失血過多暈倒在工藝線上?！巴馊硕颊f這一成果是辛勤汗水澆注的，而我可以毫不羞愧地說它是用鮮血換來的。”王陽元笑著說。最后，他悟出人生哲理：“勝利往往產(chǎn)生于再堅(jiān)持一下的努力之中”。

集成電路的計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)技術(shù)與軟件工具的研制與產(chǎn)業(yè)化過程是王陽元列舉的第二個(gè)經(jīng)歷，而這次經(jīng)歷之所以難忘，是因?yàn)橛羞z憾。據(jù)王院士回憶，微電子學(xué)和集成電路技術(shù)在20世紀(jì)80年代得到了較大的發(fā)展，而我國卻缺乏與之相關(guān)的計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)技術(shù)與軟件工具。當(dāng)時(shí)有這樣的說法：如果說集成電路科學(xué)技術(shù)是高新技術(shù)的“皇冠”，那么集成電路的計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)技術(shù)與軟件工具則被稱為是皇冠上的“明珠”。誰擁有這顆“明珠”，就意味著誰擁有了發(fā)展高新技術(shù)的主動(dòng)權(quán)。鑒于我國當(dāng)時(shí)的技術(shù)水平和科研條件，我國政府試圖通過技術(shù)引進(jìn)解決這個(gè)問題，但是西方國家在技術(shù)和設(shè)備上對(duì)我國實(shí)行封鎖禁運(yùn)，技術(shù)引進(jìn)的問題經(jīng)政府領(lǐng)導(dǎo)人之間的磋商也沒有結(jié)果。因此，我國決心自己開發(fā)這項(xiàng)技術(shù)。時(shí)任國家電子工業(yè)部部長的李鐵映專門致函當(dāng)時(shí)的北大黨委書記和校長，請(qǐng)王陽元擔(dān)起開發(fā)研究重任。臨危受命，王陽元毫不猶豫挑起了重任。在有關(guān)領(lǐng)導(dǎo)部門的支持下，他將全國優(yōu)勢力量組織起來，并引進(jìn)國外優(yōu)秀人才，產(chǎn)學(xué)研相結(jié)合，國內(nèi)外相結(jié)合，帶領(lǐng)科研人員發(fā)誓要攻克這一技術(shù)。6年奮戰(zhàn)，我國第一個(gè)按軟件工程方法開發(fā)的集成化的超大規(guī)模集成電路計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)系統(tǒng)研制成功了。它的研制成功使我國繼美國、西歐、日本之后進(jìn)入到能自行開發(fā)大型集成電路計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)系統(tǒng)的先進(jìn)行列，具有完全的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。這不僅打破了資本主義國家對(duì)我國的禁運(yùn)，而且為我國集成電路產(chǎn)業(yè)特別是設(shè)計(jì)業(yè)的發(fā)展奠定了重要技術(shù)基礎(chǔ)。這一成果使我國揚(yáng)眉吐氣，從此能夠在平等基礎(chǔ)上與西方國家進(jìn)行國際合作與交流。

“當(dāng)時(shí)國外合作的總設(shè)計(jì)師曾提出以部分股份轉(zhuǎn)讓作為將該產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化推向全世界的條件，但以當(dāng)時(shí)的觀念認(rèn)為已經(jīng)付出薪酬了，還出讓股份不合情理，部里領(lǐng)導(dǎo)討論沒有通過，致使這件事情流產(chǎn)，非常令人遺憾。雖然最終我們自己也完成了部分產(chǎn)業(yè)化推進(jìn)，但時(shí)機(jī)喪失了，范圍也沒有那么廣了。這樣的事情如果放在當(dāng)今時(shí)代，就不會(huì)有那么大的阻力了，所以我說做產(chǎn)業(yè)要及時(shí)更新觀念。”

研究多年，王陽元總是這樣在不斷地總結(jié)和反省中改進(jìn)和完善自己，凝結(jié)為幾句話與后人共享：

“人生貴在執(zhí)著，機(jī)遇只給那些隨時(shí)準(zhǔn)備為祖國服務(wù)的人”；

“人生的意義就在于享受克服困難后的喜悅，克服的困難越大，成果就越豐碩，喜悅之情就越激越，對(duì)人生哲理的理解也就越深刻”；

“貴在執(zhí)著，重在分析，在系統(tǒng)的研究工作中必將有所發(fā)現(xiàn)，有所創(chuàng)造”。

創(chuàng)新講堂 ——寬容創(chuàng)新以樹人

“近5年來，我所做第四個(gè)事情就是培育年輕一代，這也是我最想去做的一件事情！”一提起年輕一代，王院士的眼里總會(huì)散發(fā)出慈愛的目光，言語也因感懷而開始變得激動(dòng)起來。

“‘人生易老天難老’，從18歲進(jìn)入北大，如今已年過古稀，可是未名湖依舊。人生總是苦短，再偉大的人物也不能不服從自然規(guī)律，何況我們呢？雖心猶存‘老驥伏櫪、志在千里’之志，但終究力不從心了，后來的要靠年輕人了，本來微納電子事業(yè)就是年輕人的事業(yè)?！?/p>

回首五十年科研的道路，面對(duì)一張張年輕的探索者的面孔，王陽元多想把一生的體會(huì)和心得都告訴他們，讓他們能夠超越自己，做出更大的成績。

對(duì)年輕人的教育，王院士特別提到了“寬容”二字，而這兩個(gè)字對(duì)己是要寬以待人，對(duì)年輕一代則是要幫助他們在寬松的環(huán)境下自由成長。他建議下一代將才或者帥才，要有“黃河落天走東海，萬里寫入胸懷間”的氣度，要知道如何用人。用其所長，避其所短，創(chuàng)造環(huán)境，構(gòu)建平臺(tái)，把被領(lǐng)導(dǎo)的人的積極性調(diào)動(dòng)起來。

此外，他還提到對(duì)創(chuàng)新要有寬容度，“我國集成電路產(chǎn)業(yè)要想從消費(fèi)大國轉(zhuǎn)變?yōu)楫a(chǎn)業(yè)強(qiáng)國，關(guān)鍵在于創(chuàng)新，而缺乏用原始創(chuàng)新造就的核心競爭力又是我國無法向強(qiáng)國轉(zhuǎn)變‘病灶’之所在，所以年輕一代一定要學(xué)會(huì)創(chuàng)新?！薄爱?dāng)然，創(chuàng)新要在科學(xué)發(fā)展觀的指導(dǎo)下進(jìn)行，無序的創(chuàng)新活動(dòng)只能造成重復(fù)開發(fā)和浪費(fèi)資源的惡果。原始創(chuàng)新活動(dòng)要納入系統(tǒng)工程才更有可能轉(zhuǎn)化為核心競爭力。建議建立一個(gè)以企業(yè)為主體的產(chǎn)、學(xué)、研、用相結(jié)合的原始創(chuàng)新體系，以推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。”

“說到寬容，我認(rèn)為有一件事情必須要強(qiáng)調(diào)，對(duì)作假絕不能寬容。你可以在創(chuàng)新的過程中出錯(cuò)，可以失敗，這是允許的，但你不能不誠信，這是原則性問題！”“該寬則寬，該嚴(yán)則嚴(yán)，寬嚴(yán)有度”。王陽元此番話嚴(yán)肅而有力。

改革開放以來，王陽元培養(yǎng)了逾百名以博士生為主，包括碩士、博士和博士后研究人員的學(xué)生，其中有的入選“千人計(jì)劃”已回國成為學(xué)術(shù)帶頭人，也有即將畢業(yè)的博士生在2010年獲得IEEE電子器件學(xué)會(huì)全球優(yōu)秀博士生獎(jiǎng)學(xué)金，這一獎(jiǎng)學(xué)金在當(dāng)年全球只有3人，亞洲就只此一人?，F(xiàn)任的北大軟微學(xué)院院長、北大微納電子學(xué)研究院院長、北大微納電子學(xué)系系主任都是他培養(yǎng)的博士生或博士后研究人員。他歷來主張培養(yǎng)學(xué)生要讓他們打好扎實(shí)的基礎(chǔ)，重在培養(yǎng)分析問題和解決問題的能力。因此他的研究生選題都是聚焦國際科技發(fā)展前沿，從事原始創(chuàng)新的課題。至今他還與十幾名博士生在綜合考試、博士論文開題報(bào)告、中期研究匯報(bào)、論文預(yù)答辯和最后的畢業(yè)答辯等各關(guān)鍵環(huán)節(jié)上保持著面對(duì)面地與他們討論交流的形式。

他主張培養(yǎng)學(xué)生要開放式培養(yǎng)，即要“走出去，請(qǐng)進(jìn)來，加強(qiáng)國際合作”，為了使青年學(xué)者和研究生有與海外學(xué)者交流對(duì)話的平臺(tái)，王陽元與國內(nèi)外同行在上世紀(jì)80年代共同創(chuàng)建了兩個(gè)系列的國際會(huì)議—固態(tài)和集成電路技術(shù)國際會(huì)議（ICSICT）和專用集成電路設(shè)計(jì)會(huì)議（ASCON），每隔一年在中國系列化地舉行。作為美國IEEE FELLOW 、英國IEE（后改為IET）FELLOW和中國CIE FELLOW（他在CIE Fellow中的編號(hào)為0008號(hào)），他長期主持、領(lǐng)導(dǎo)和支持這兩個(gè)國際會(huì)議。直到2008年第9屆ICSICT會(huì)議，他把接力棒交給了年青一代學(xué)者。IEEE Beijing Section決定授予他ICSICT終身名譽(yù)主席的稱號(hào)和終身成就獎(jiǎng)。同樣，在中芯國際，他也將董事、董事長職務(wù)轉(zhuǎn)給較年青的一代，而董事會(huì)基于他對(duì)中芯國際作出的不可磨滅的歷史性貢獻(xiàn)授予他名譽(yù)董事長和首席科學(xué)顧問的頭銜。

文化講堂 ——科技興國重在文化傳承

科技無論取得怎樣的突破，沒有傳承就沒了發(fā)展。王陽元特別注重強(qiáng)調(diào)科技與文化的關(guān)系，為此，他還刻意用了一張圖來勾勒解讀其中的關(guān)系。（如下圖）

“世界發(fā)展史本身就是一部科技進(jìn)步與文化發(fā)展相互作用的進(jìn)步史。早在十八世紀(jì)以前，中國的儒家文化曾深刻地影響了歐洲啟蒙運(yùn)動(dòng)；而發(fā)源于意大利的文藝復(fù)興運(yùn)動(dòng)，特別是他們中的優(yōu)秀代表和代表作，文學(xué)思想上如但丁的《神曲》、薄伽丘的《十日談》（他們與彼特拉克并稱為文化復(fù)興時(shí)代的文化三杰）；藝術(shù)上如達(dá)芬奇、米開朗基羅和拉斐爾藝術(shù)三杰等都對(duì)英國工業(yè)革命的發(fā)生有著直接的影響?！?/p>

縱橫歷史，古今中外，王陽元總能細(xì)數(shù)出科技與文化傳承的實(shí)例。越是重視，看得越透徹：“再有30～40年的時(shí)間，我國完全可能成為世界第一大經(jīng)濟(jì)體（當(dāng)然人均GDP美國仍比我國高3.5倍），但是我們整體的教育水平與文化素質(zhì)則可能需要今后整個(gè)一個(gè)世紀(jì)甚至更長的時(shí)間努力才能真正稱得上具有世界第一大經(jīng)濟(jì)體的文化內(nèi)涵?！?/p>

王陽元在北大微納電子學(xué)研究院也反復(fù)強(qiáng)調(diào)“重在傳承”的意義，也就是需把老一輩“發(fā)展未有窮期，奮斗永不言止”的不斷攀登科學(xué)高峰的精神和以祖國發(fā)展、民族復(fù)興為己任的人生價(jià)值觀能不斷傳承下去。他曾給微納電子研究院題詞：“得人才者得天下，集人心者集大成”，現(xiàn)如今，這句話已成為北大微納電子研究院的文化了。

“當(dāng)前，我國正處于發(fā)展轉(zhuǎn)型期，處于從計(jì)劃經(jīng)濟(jì)向社會(huì)主義市場經(jīng)濟(jì)轉(zhuǎn)型時(shí)間。一邊是高速發(fā)展；一邊是人為的或自然的災(zāi)害與事故頻發(fā)，這是一個(gè)歷史階段的現(xiàn)象，但人類面前，災(zāi)難并不可怕，一切問題之大莫過于誠信的缺失。誠信乃立國、立身之本，沒有誠信何以取信于社會(huì)，何以立業(yè)？”王陽元如是說。

宋代胡瑗說過：“致天下之治者在人才，成天下之才者在教化，教化之本者在學(xué)校?！贝髮W(xué)是什么？王陽元給出了答案：他認(rèn)為大學(xué)就是一代代年輕學(xué)子在有造詣的教授指導(dǎo)下，從事學(xué)習(xí)、創(chuàng)新和文化傳承以及社會(huì)服務(wù)的過程，把這個(gè)過程有效地組織起來就是大學(xué)。

以培養(yǎng)一批批高素質(zhì)的人才和不斷產(chǎn)生的新知識(shí)奉獻(xiàn)給人類和我們的祖國，才能使我們的國家，我們的科技事業(yè)，我們的微納電子學(xué)科得以持續(xù)的發(fā)展。

“中華民族經(jīng)過幾十年到一個(gè)世紀(jì)的努力，必將以科學(xué)發(fā)達(dá)、民主、文明、環(huán)境優(yōu)美、社會(huì)和諧、人民有素養(yǎng)的面貌而屹立于世界！”王陽元激情澎湃地如是說。

“只要人類社會(huì)存在，教育就是永恒的主題；只要人的生命存在，學(xué)習(xí)就是不竭的任務(wù)?！辈稍L最后，王陽元的這一番話再一次浮現(xiàn)在記者的眼前。教育本身就是一門博大精深的學(xué)問，言傳身教，無疑是最具說服力的方法。王陽元以他特有的方式，向我們傳遞著他為師，為學(xué)，為人的經(jīng)驗(yàn)感悟。俗語說得好：“一年之計(jì)，莫如樹谷；十年之計(jì)，莫如樹木；終身之計(jì)，莫如樹人?！倍@“樹人”，何止只是王陽元個(gè)人的“終身之計(jì)”，它是我國微納電子學(xué)的發(fā)展之計(jì)，是國家強(qiáng)大之計(jì)，是科學(xué)延續(xù)之計(jì)，是推動(dòng)社會(huì)進(jìn)步之計(jì)。

封二人物

集成人生路 宇耕大講堂

仰望北大百年歷史星空，名師薈萃，星光燦爛，包羅萬象。作為現(xiàn)代中國學(xué)術(shù)建立和發(fā)展的縮影，北大每個(gè)發(fā)展階段，都吸納和涌現(xiàn)出許多在學(xué)界領(lǐng)銜的著名學(xué)者，其中赫然寫有王陽元院士的名字。這位大半生都在北大學(xué)習(xí)和工作的世紀(jì)老人，一生中有太多叫人敬佩的閃光點(diǎn)。而今，歷大半世紀(jì)風(fēng)雨砥礪，青絲變白發(fā)，他將更多的精力轉(zhuǎn)移到了國家發(fā)展及行業(yè)領(lǐng)域戰(zhàn)略性思考及關(guān)注年輕一代的培育工作上，正如他所說：“只要人類社會(huì)存在，教育就是永恒的主題；只要人的生命存在，學(xué)習(xí)就是不竭的任務(wù)?！?/p>

王陽元——北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院首席科學(xué)家、中國科學(xué)院院士

王陽元院士，1935年1月1日生于寧波，1958年畢業(yè)于北京大學(xué)物理系，同年留校任教?，F(xiàn)任北京大學(xué)教授，北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院首席科學(xué)家，中國科學(xué)院院士，曾任北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院院長，微電子學(xué)系主任；美國IEEE Fellow、英國IEE Fellow和CIE Fellow，中國信息產(chǎn)業(yè)部科技委常委，《半導(dǎo)體學(xué)報(bào)》和《電子學(xué)報(bào)》副主編，《微電子學(xué)叢書》主編等。50年來，王陽元在開展微電子新器件、新電路結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和新工藝研究等領(lǐng)域取得了一系列創(chuàng)新成果。