微電子學與固體電子學學科簡介

黑龍江大學微電子學與固體電子學學科,是在1972年成立的半導體器件專業(yè)的基礎上發(fā)展起來的,1986年國務院學位辦授予該學科碩士學位授予權。同年,經(jīng)省人事廳批準為省級重點學科,2003年國務院學位委員會授予該學科博士學位授予權。2009年依托該學科獲得了電子科學與技術一級學科博士后流動站。該學科目前具有一支結構合理的梯隊,在19名教師中,博士研究生導師3名,碩士研究生導師8名;教授4名、副教授7名,具有博士學位的教師9人,在讀博士5名。該學科主要研究領域是傳感器微電子機械加工系統(tǒng)(MEMS)、納米材料與納米元器件、傳感器應用電路與系統(tǒng)以及半導體器件與集成電路等方面。1975年研制的2DCM型硅磁敏二極管和3BCM型鍺磁敏三極管獲1978年全國科學大會獎;研制的硅磁敏差分電路獲1983年國家發(fā)明三等獎;1987年完成的硅各向異性腐蝕技術與設備項目獲1990年黑龍江省科技進步三等獎;完成的列車偏載探測項目獲1998年鐵道部科技進步三等獎;已完成國家 “863”、國家自然科學基金、黑龍江省計劃項目和自然科學基金項目等16項,出版學術著作8部;在國內(nèi)外學術刊物上發(fā)表學術論文268篇;申請國家發(fā)明專利6項,其中已經(jīng)獲得專利權2項;其中1項申請的國際專利：納米結構開關憶阻器現(xiàn)已被美國專利局受理。近兩年該學科承擔國家自然科學基金項目1項、國家 “863”計劃項目2項、省部級計劃項目和廳局級項目多項;兩年內(nèi)發(fā)表被SCI、EI檢索和國家一級學報學術論文26篇,其中以第一作者發(fā)表23篇。

本學科有4個明確、穩(wěn)定且有一定特色和優(yōu)勢的研究方向：

1)微機械加工系統(tǒng) (MEMS)。本研究方向的特色是采用MEMS技術研制結型磁敏感器件與力學量傳感器。硅各向異性深槽刻蝕技術1987年達到實用化并轉讓投產(chǎn)。2004年首次采用MEMS技術研制出具有立體結構的磁敏三極管的基礎上,2008年2月又成功的研制出在檢測磁場的同時又能檢測壓力的多功能傳感器：納米硅/單晶硅異質結漏和源的MOSFET壓/磁多功能傳感器,填補了空白。

2)納米元器件研究。我們提出的雙注入納米憶阻器結構具有自主知識產(chǎn)權,致力于鉑納米線陣列和雙注入納米憶阻器的信息獲取和存儲理論及其實現(xiàn)技術探索已經(jīng)有進展,如果在該納米元器件及其非揮發(fā)存儲器研發(fā)上有所突破,相關的理論研究和新型憶阻器的及其非揮發(fā)存儲器研究將處于國際領先水平。

3)功能材料與器件。本研究方向主要從事功能材料與器件、敏感功能材料等方面的研究。在功能材料與器件研究方向上,主要開展了以氣體敏感、形狀記憶合金、壓電陶瓷、光催化等功能材料等方面的研究工作,同時展開以氣體敏感器件、壓電陶瓷驅動微驅動器為內(nèi)容的研究。

4)傳感器應用電路與系統(tǒng)。本研究方向的主要研究內(nèi)容和特色包括：智能化電子技術與系統(tǒng)、將智能化技術應用于多種檢測領域、重點進行虛擬儀器設計開發(fā)、控制軟件開發(fā),加強微處理器、單片機的技術應用,特別在病因診斷與油田井下探測方面的應用。

目前,該學科教學和科研環(huán)境得到了極大的改善,該學科發(fā)展勢頭強勁,已經(jīng)建成具有學士、碩士、博士三級授予權的學科。該學科與信息產(chǎn)業(yè)部第49研究所、哈爾濱鐵路局研究所長期合作為黑龍江省和國家的經(jīng)濟建設和人才培養(yǎng)做出了重大貢獻,有很好的發(fā)展前景。