脊?fàn)畋砻娴臏?zhǔn)LIGA成形技術(shù)及其減阻試驗研究

胡海豹 黃橋高 蔣 雄 宋保維 潘 光

西北工業(yè)大學(xué),西安,710072

0 引言

脊?fàn)畋砻鏈p阻技術(shù)通過在水下航行器表面模擬鯊魚、箭魚等魚類表皮的微觀脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)來達(dá)到減小摩擦阻力的效果。在該項技術(shù)中,脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)的加工成形方法是該技術(shù)能否進(jìn)入工程應(yīng)用的前提。目前國內(nèi)外關(guān)于脊?fàn)畋砻娴闹苽浞椒▓蟮垒^少,研究者主要是通過試驗和數(shù)值仿真的途徑來獲得脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)的形狀、尺寸等因素對減阻效果的影響規(guī)律,以及探索其減阻機(jī)理[1-2]。

傳統(tǒng)的脊?fàn)畋砻嬷苽浞椒ㄖ饕袡C(jī)械加工法、激光微加工法、輥壓法等。機(jī)械加工法的缺點是成形的脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)較為粗糙,容易形成毛刺、熔滴等缺陷,這會為減阻試驗帶來負(fù)面的影響甚至增加阻力。激光微加工法的缺點是加工效率低下,激光剝蝕材料的速度極其有限,致使加工周期很長,同時加工成本也很高,不適用于大面積的脊?fàn)畋砻婕庸?。輥壓法的缺點是容易在板材表面形成加工應(yīng)力,對硬質(zhì)材料的加工較為困難,加工表面缺陷較多,并且很難在回轉(zhuǎn)體表面進(jìn)行加工。由于現(xiàn)有加工技術(shù)存在的不足,本文提出了采用準(zhǔn)LIGA成形技術(shù)制備脊?fàn)畋砻?并對制得的試驗板進(jìn)行風(fēng)洞減阻試驗以驗證該加工技術(shù)的可行性。

1 準(zhǔn)LIGA成形技術(shù)制備脊?fàn)畋砻?/h2>

1.1 成形原理

LIGA成形技術(shù)是X光深度光刻工藝、微電鑄工藝和微復(fù)制工藝的集合,被視為微納米制造技術(shù)中最有生命力、最有前途的加工技術(shù)。但是,該技術(shù)強(qiáng)烈依賴于價值昂貴而稀缺的同步輻射光源,使其難以實現(xiàn)真正意義上的普及。為此,以激光刻蝕技術(shù)、深反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)、厚膠紫外光刻技術(shù)等取代X射線光刻的深度微加工技術(shù)相繼出現(xiàn),它們與微電鑄和微復(fù)制工藝相結(jié)合,雖然不能完全達(dá)到LIGA成形技術(shù)的總體質(zhì)量水平,但是也能夠?qū)崿F(xiàn)一定程度高寬比的微結(jié)構(gòu),被統(tǒng)稱為準(zhǔn)LIGA成形技術(shù)[3-4]。

我們所采用的準(zhǔn)LIGA成形技術(shù),其原理是用紫外線作為曝光光源以代替原有的X光,將感光膠均勻涂敷在樣板表面,通過紫外光曝光、顯影,得到所要的加工圖案,然后進(jìn)行微電鑄和去膠工藝,最終得到脊?fàn)畋砻?整個工藝過程如圖1所示。

1.2 準(zhǔn)LIGA成形技術(shù)制備脊?fàn)畋砻婀に?/h3>

根據(jù)風(fēng)洞試驗要求,試驗板選用 299mm×399mm的LY12鋁合金平板,受準(zhǔn)LIGA成形技術(shù)制備工藝的設(shè)備條件限制,脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)的有效面積為200mm×300mm(圖2),脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)為矩形,其特征尺寸槽深為h,槽寬為s和槽間距為l。

準(zhǔn)LIGA成形技術(shù)制備脊?fàn)畋砻娴木唧w工藝分為以下4步:

(1)印制感光膠。根據(jù)模型尺寸要求,繪制樣品的加工圖紙并制備菲林底片(用于隨后的曝光)。對LY12鋁合金板材表面進(jìn)行除油和清洗,在洗凈后的板材上用120～150T的網(wǎng)板印刷感光膠,此工序在暗室中進(jìn)行,以防止感光膠提前曝光而影響后期的效果。感光膠的刷涂厚度可以根據(jù)要求自行控制,一般一次刷涂厚度為30μ m左右。刷涂方式為刮板在網(wǎng)板表面來回刮涂,感光膠透過網(wǎng)板的孔滲透到板材表面。隨后放入烘箱,在80℃下烘烤10min,如果所涂的感光膠較厚,應(yīng)適當(dāng)延長烘烤時間,確保感光膠干透。取出后檢查感光膠表面質(zhì)量,要求表面平整、無氣泡、無異樣的突起或凹陷。

(2)曝光及顯影。在印制好感光膠的板材表面貼上菲林底片,放入真空曝光設(shè)備,設(shè)備內(nèi)的壓力保持在10—3Pa左右,使菲林底片與感光膠面貼緊無縫隙,以防止空氣滲入而產(chǎn)生散射影響曝光精度。曝光光源采用功率為1000W的鈉燈,產(chǎn)生波長為300～400μ m的紫外線。曝光時間根據(jù)感光膠所的曝光參數(shù)及膠層厚度而定(一般為30～90s不等)。待曝光完成后,取出樣品揭下菲林底片。將樣品放入溫度為30～32℃、碳酸納的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為1%～1.2%溶液,顯影時間為60～80s。沖洗樣品表面,去除顯影后留下的感光膠,露出需要電鑄加工部位的金屬表面。接著放入120℃的熱循環(huán)風(fēng)烘箱,烘烤20～25min,進(jìn)一步加固感光膠與板材表面的結(jié)合力。

(3)表面活化及微電鑄。將樣品浸入組分為硫酸的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為10%、鹽酸的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為1%的混合液中0.5～1.0min,充分活化裸露部分的金屬表面。清水沖洗后將其立即浸入電鑄液,樣品為電極的陰極,溶液為陽極,電鑄過程中不斷攪拌電鑄液。電鑄完成后取出樣品,用清水沖洗表面,去除表面的殘留電鑄液及雜物,其工藝參數(shù)如表1所示。

表1 微電鑄工藝參數(shù)

(4)去膠工藝。將電鑄后的樣品浸入溫度為65℃、氫氧化納的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為5%的溶液中,浸泡3min左右。取出后先用清水沖洗其表面,去除表面的殘留溶液。然后用海綿蘸取少量丙酮溶液輕輕擦拭樣品表面,去除多余的感光膠,露出脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)。如果仍有部分感光膠無法去除,可以反復(fù)浸入氫氧化鈉溶液中,并重復(fù)上述操作,直到表面殘留感光膠全部去除為止。

通過準(zhǔn)LIGA成形技術(shù)制備了2塊矩形脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)試驗板,脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)尺寸分別為s=0.33mm、h=0.055mm 、l=0.1mm(圖 3a)和 s=0.80mm 、h=0.145mm 、l=0.2mm(圖 3b)。

1.3 脊?fàn)畋砻嫖⒂^形貌分析

脊?fàn)畋砻鏈p阻效果的好壞與其微觀形貌的質(zhì)量有直接關(guān)系,因此需要對試件表面的微觀形貌進(jìn)行測試和分析。

特征尺寸為 s=0.33mm、h=0.055mm、l=0.1mm脊?fàn)畋砻娴恼嫖⒂^形貌如圖4所示。從圖4可以看出,采用準(zhǔn)LIGA成形技術(shù)制備的脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)整齊均勻,整個表面呈凹凸?fàn)钆帕?凸起部分即為脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)。該技術(shù)的特點是可以不損壞基體而得到脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu),實現(xiàn)較大高寬比的矩形脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)加工,且加工質(zhì)量較好、工藝簡單、成本低廉、肋條與基體結(jié)合力好、可工業(yè)化大面積生產(chǎn)。另外,該工藝可以在回轉(zhuǎn)體表面加工脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu),為脊?fàn)畋砻鏈p阻技術(shù)在水下航行器上的應(yīng)用提供支持。

2 脊?fàn)畋砻鏈p阻特性風(fēng)洞試驗

2.1 試驗測試儀器及測試方法

試驗在某小型吸式低速風(fēng)洞中完成,風(fēng)洞的布局及總體尺寸如圖5所示。氣流依次經(jīng)過進(jìn)口穩(wěn)定段、收斂段、發(fā)展段、試驗段、彎道、流量調(diào)節(jié)閥、風(fēng)機(jī),然后由風(fēng)機(jī)出口排出。試驗中通過流量調(diào)節(jié)閥的控制可以在試驗段的中心處得到0～15m/s范圍內(nèi)的任意流速。試驗選用了美國TSI公司的恒溫式IFA300智能型熱線風(fēng)速儀對脊?fàn)畋砻嫱牧鬟吔鐚舆M(jìn)行測試[5-7]。

試驗中熱線風(fēng)速儀的具體安裝關(guān)系如圖6所示,坐標(biāo)架置于風(fēng)洞試驗段殼體上方,熱線探針桿頂端固定在坐標(biāo)架上并可隨坐標(biāo)架上下移動,移動精度為0.01mm,熱線探針桿末端通過風(fēng)洞試驗段殼體上方預(yù)留測試孔伸入試驗段內(nèi)。測量點分布在圖6所示的y方向上,跨度范圍從下壁面到中心,共50mm。風(fēng)洞下壁面的試驗板(斜線部分)可調(diào)換。當(dāng)研究光滑平板壁面邊界層時,試驗板為光滑平板;當(dāng)研究脊?fàn)畋砻孢吔鐚訒r試驗板更換為脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)平板。試驗中,采樣頻率取50kHz,采樣時間為60s,第一個測量點在保證不損壞熱線的前提下盡量靠近壁面,且靠近壁面的地方取點較密集,目的是能夠準(zhǔn)確地獲取脊?fàn)畋砻娼诿娴牧鲃有畔?采樣點數(shù)超過30個。

2.2 試驗結(jié)果及分析

圖7～圖9分別為6m/s風(fēng)速下光滑鋁板和脊?fàn)畋砻嫱牧鬟吔鐚拥臅r均速度、雷諾正應(yīng)力、湍流度的分布曲線,其中y+、u+為量綱一處理后的壁面法向高度和法向時均速度。

對比脊?fàn)畋砻媾c相同條件下光滑鋁板沿法線方向的流動參數(shù)分布曲線,可以發(fā)現(xiàn):①脊?fàn)畋砻嫱牧鬟吔鐚拥酿ば缘讓釉龊?、近壁面法向速度梯度降低以及過渡層與對數(shù)律區(qū)上移;②在湍流邊界層的大部分區(qū)域內(nèi),脊?fàn)畋砻娴睦字Z正應(yīng)力明顯小于光滑鋁板;③脊?fàn)畋砻娼趨^(qū)的湍流度比光滑鋁板有明顯降低,在黏性底層內(nèi)尤為明顯;④比較圖7～圖9中不同特征尺寸脊?fàn)畋砻嫱牧鲄?shù)分布曲線,可以初步得出小尺寸的脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)似乎有更好的減阻效果。

深入分析這些差異,我們認(rèn)為脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)的存在抑制了湍流的脈動,阻礙了湍流猝發(fā)過程,降低了湍流猝發(fā)的強(qiáng)度,提高了湍流運動的穩(wěn)定性,最終導(dǎo)致湍流摩擦阻力的降低。

3 結(jié)論

(1)脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)的存在改變了邊界層內(nèi)的流場結(jié)構(gòu),抑制了湍流脈動,具有較好的減阻效果,但尺寸對脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)的減阻會產(chǎn)生一定的影響。

(2)準(zhǔn)LIGA成形技術(shù)制備脊?fàn)畋砻媸强尚械?具有加工精度高、工藝簡單、成本低廉、脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)與基體結(jié)合力好、可實現(xiàn)工業(yè)化大面積生產(chǎn)的優(yōu)點。

(3)較小尺寸的脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)具有更好的減阻效果,若想得到更小尺寸的結(jié)構(gòu),可以通過改良設(shè)備精度和優(yōu)化工藝參數(shù)來實現(xiàn)。

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